次世代透明導電膜スパッタリングプロセスにおける気相・薄膜表面反応過程の解明

• 研究課題/領域番号: 22760561
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 材料加工・処理
• 研究機関: 名城大学 (2011); 和歌山大学 (2010)
• 研究代表者: 太田 貴之 名城大学, 理工学部, 准教授 (10379612)
• 研究期間 (年度): 2010 – 2011
• 研究課題ステータス: 完了 (2011年度)
• 配分額: 3,510千円 (直接経費: 2,700千円、間接経費: 810千円); 2011年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円); 2010年度: 2,340千円 (直接経費: 1,800千円、間接経費: 540千円)
• キーワード: プラズマ / スパッタリング / 透明導電膜 / 吸収分光 / 表面反応

研究概要

スパッタプロセスは,非常に幅広い薄膜プロセスに用いられている.本研究では,透明導電膜としてIndium-zinc-oxide(IZO)膜とGallium doped zinc-oxide(GZO)に着目し,プロセスの気相と薄膜表面反応過程の解明を行うことを目指した. IZOスパッタプラズマ中のInとZn原子密度の同時モニタリングを行い,気相中のラジカル組成と薄膜の組成,抵抗率,キャリヤ密度,移動度などの電気特性との相関を明らかにした.

研究成果

• [雑誌論文] Line-Profiles and Translational Temperatures of Pb Atoms in Multi-micro Hollow Cathode Lamp Measured by Diode Laser Absorption Spectroscopy (2012)
  • 著者名/発表者名: Mari Inoue, Takayuki Ohta, Naoki Takota, Shigeki Tsuchitani, Masafumi Ito, Seigo Takashima, Hiroyuki Kano, Koji Yamakawa, Keigo Takeda, and Masaru Hori
  • 雑誌名: Jpn. J, Appl. Phys 巻: (印刷中)
  • NAID: 40019395537
  • 査読あり
• [雑誌論文] Line-Profiles and Translational Temperatures of Pb Atoms in Multi-micro Hollow Cathode Lamp Measured by Diode Laser Absorption Spectroscopy (2012)
  • 著者名/発表者名: Mari Inoue, Takayuki Ohta, Naoki Takota, Shigeki Tsuchitani, Masafumi Ito, Seigo Takashima, Hiroyuki Kano, Koji Yamakawa, Keigo Takeda, Masaru Hori
  • 雑誌名: Jpn.J.Appl.Phys. 巻: 51 号: 8R ページ: 086301-086301
  • DOI: 10.1143/jjap.51.086301
  • NAID: 40019395537
  • 査読あり
• [雑誌論文] マイクロホローカソード放電による吸収分光用光源を用いたプラズマプロセス中の金属元素密度の (2010)
  • 著者名/発表者名: 太田貴之, 伊藤昌文
  • 雑誌名: モニタリング電気学会論文誌A 巻: vol.130 ページ: 972-976
  • URL: http://dx.doi.org/10.1541/ieejfms.130.972
  • 査読あり
• [雑誌論文] マイクロホローカソード放電による吸収分光用光源を用いたプラズマプロセス中の金属元素密度のモニタリング (2010)
  • 著者名/発表者名: 太田貴之, 伊藤昌文
  • 雑誌名: 電気学会論文誌A 巻: 130 ページ: 972-976
  • 査読あり
• [学会発表] Characteristics of Indium-zinc-oxide Films Formed by Magnetron Sputtering Based on Gas Phase Monitoring (2012)
  • 著者名/発表者名: M. Inoue, T. Ohta, M. Ito, and M. Hori
  • 学会等名: The 5th International Conference on PLAsma-NanoTechnology & Science(IC-PLANTS 2012)
  • 発表場所: Inuyama International Sightseeing Center, Aichi, Japan
• [学会発表] Formation of indium-zinc-oxide film using RF magnetron sputtering diagnosed by ultra violet absorption spectroscopy (2012)
  • 著者名/発表者名: M. Inoue, T. Ohta, N. Takota, M. Ito, M. Hori
  • 学会等名: 4th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials(ISPlasma2012)
  • 発表場所: Chubu University, Aichi, Japan
• [学会発表] Characteristics of Indium-zinc-oxide Films Formed by Magnetron Sputtering Based on Gas Phase Monitoring (2012)
  • 著者名/発表者名: M.Inoue, T.Ohta, M.Ito, M.Hori
  • 学会等名: The 5th International Conference on PLAsma-NanoTechnology & Science (IC-PLANTS 2012)
  • 発表場所: 犬山国際観光センター「フロイデ」
• [学会発表] Formation of indium-zinc-oxide film using RF magnetron sputtering diagnosed by ultra violet absorption spectroscopy (2012)
  • 著者名/発表者名: M.Inoue, T.Ohta, N.Takota, M.Ito, M.Hori
  • 学会等名: 4th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma2012)
  • 発表場所: 中部大学
• [学会発表] レーザ吸収分光法を用いたマイクロホローカソード放電中の準安定He原子密度と温度測定 (2011)
  • 著者名/発表者名: 井上真理, 太田貴之, 家苗毅司, 堤隆嘉, 菊地邦友, 土谷茂樹, 伊藤昌文, 堀勝
  • 学会等名: 第72回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 山形大学小白川キャンパス
• [学会発表] Kinetics of metastable He atom middle pressure in micro hollow cathode discharge (2011)
  • 著者名/発表者名: M. Inoue, T. Ohta, T. Kanae, M. Ito, M. Hori
  • 学会等名: 64^<th> Annual Gaseous electronics Conference
  • 発表場所: Salt Lake City, USA
• [学会発表] Behaviors of metastable He atoms in the multi-Micro Hollow Cathode Lamp measured by laser absorption spectroscopy (2011)
  • 著者名/発表者名: M. Inoue, T. Ohta, T. Kanae, M. Ito, M. Hori
  • 学会等名: 30th International Conference on Phenomena in Ionized Gases
  • 発表場所: Belfast, United kingdom
• [学会発表] レーザ吸収分光法を用いたマイクロホローカソード放電中の準安定He原子の挙動 (2011)
  • 著者名/発表者名: 井上真里, 太田貴之, 家苗毅司, 伊藤昌文, 加納浩之, 山川晃司, 堀勝
  • 学会等名: 第58回応用物理学会関係連合講演会
  • 発表場所: 神奈川工科大学
• [学会発表] Behavior of Atomic Species in the Multi-Micro Hollow Cathode Lamp Measured by Laser Absorption Spectroscopy (2011)
  • 著者名/発表者名: M. Inoue, T. Ohta, T. Kanae, N. Takota, M. Ito, H. Kano, K. Yamakawa, and M. Hori
  • 学会等名: The 4th International Conference on PLAsma NanoTechnology & Science
  • 発表場所: Takayama Public Cultural Hall, gifu
• [学会発表] Behavior of Metastable He Atom in the Multi-Micro Hollow Cathode Lamp Measured by Laser Absorption Spectroscopy (2011)
  • 著者名/発表者名: M. Inoue, T. Ohta, T. Kanae, M. Ito, K. Yamakawa, M. Hori
  • 学会等名: 3rd international symposium on advanced plasma science and its application for nitrides and nanomaterials
  • 発表場所: Nagoya
• [学会発表] Behaviors of Pb Atom in the Multi-Micro Hollow Cathode Lamp Measured by Diode Laser Absorption Spectroscopy (2011)
  • 著者名/発表者名: M. Inoue, T. Ohta, N. Takota, M. Ito, H. Kano, K. Yamakawa, and M. Hori
  • 学会等名: 3^<rd> international symposium on advanced plasma science and its application for nitrides and nanomaterials
  • 発表場所: Nagoya
• [学会発表] Behaviors of metastable He atoms in the multi-Micro Hollow Cathode Lamp measured by laser absorption spectroscopy (2011)
  • 著者名/発表者名: M.Inoue, T.Ohta, T.Kanae, M.Ito, M.Hori
  • 学会等名: 30th International Conference on Phenomena in Ionized Gases
  • 発表場所: イギリス、ベルファスト
• [学会発表] Kinetics of metastable He atom middle pressure in micro hollow cathode discharge (2011)
  • 著者名/発表者名: M.Inoue, T.Ohta, T.Kanae, M.Ito, M.Hori
  • 学会等名: 64^<th> Annual Gaseous electronics Conference
  • 発表場所: アメリカ、ソルトレイクシティ
• [学会発表] Behavior of Metastable He Atom in the Multi-Micro Hollow Cathode Lamp Measured by Laser Absorption Spectroscopy (2011)
  • 著者名/発表者名: M.Inoue, T.Ohta, T.Kanae, M.Ito, K.Yamakawa, M.Hori
  • 学会等名: 3rd International Symposium on Advanced Plasma Scfence and its Applications for Nitrides and Nanomaterials
  • 発表場所: 名古屋工業大学
• [学会発表] Behavior of Atomic Species in the Multi-Micro Hollow Cathode Lamp Measured by Laser Absorption Spectroscopy (2011)
  • 著者名/発表者名: M.Inoue, T.Ohta, T.kanae, N.Takota, M.Ito, H.Kano, K.Yamakawa, M.Hori
  • 学会等名: The 4th International Conference on Plasma NanoTechnology & Science
  • 発表場所: 高山市民文化会館(岐阜県)
• [学会発表] レーザ吸収分光法を用いたマイクロホローカソード放電中の準安定He原子の挙動 (2011)
  • 著者名/発表者名: 井上真里, 太田貴之, 家苗毅司, 伊藤昌文, 加納浩之, 山川晃司, 堀勝
  • 学会等名: 第58回 応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 神奈川工科大学
• [学会発表] プラズマプロセスにおけるモニタリング技術 (2010)
  • 著者名/発表者名: 太田貴之
  • 学会等名: 新無機膜研究会 第62回研究会
  • 発表場所: 和歌山大学
  • 年月日: 2010-09-22
• [学会発表] Formation mechanism of indium-zinc-oxide film using RF magnetron sputtering based on optical diagnostics of gas phase (2010)
  • 著者名/発表者名: T. Ohta, M. Inoue, N. Takota, M. Ito, and M. Hori
  • 学会等名: 63rd Gaseous Electronics Conference and 7th International Conference on Reactive Plasmas
  • 発表場所: Paris, France
• [学会発表] 狭帯域レーザ吸収分光法を用いたマイクロホロカソード放電中のPb原子密度と温度測定 (2010)
  • 著者名/発表者名: 井上真里, 太田貴之, 田子多直樹, 伊藤昌文, 加納浩之, 山川晃司, 堀勝
  • 学会等名: 第71回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 長崎大学
• [学会発表] Optical diagnostics of plasma processing (2010)
  • 著者名/発表者名: T. Ohta
  • 学会等名: 1st international workshop on plasma scientech for all something
  • 発表場所: Beijing, China
• [学会発表] Formation mechanism of indium-zinc-oxide film using RF magnetron sputtering based on optical diagnostics of gas phase (2010)
  • 著者名/発表者名: T.Ohta, M.Inoue, N.Takota, M.Ito, M.Hori
  • 学会等名: 63rd Gaseous Electronics Conference and 7th International Conference on Reactive Plasmas
  • 発表場所: フランス,パリ