研究概要 |
本研究では,超音速フリージェットPVD法を用いてアルミニウム基板上にナノ結晶Fe基軟磁性膜の形成を試みた.本法は,超音速ガス流により加速させたナノ粒子を基材に堆積させることで皮膜を形成させるコーティング技術であり,厚膜の形成が可能な手法である.本法を用いて緻密なナノ結晶Fe膜の形成に成功した.形成させたFe膜は保磁力Hc=32.6.132A/m,飽和磁束密度Bs=2.1.2.2Tであり,優れた軟磁気特性を有すること,軟磁気特性を決定する支配因子は膜中の結晶粒径であることを明らかとした.
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