研究課題
基盤研究(B)
本研究では、申請者の培ってきた微細加工技術とエピタキシャル成長技術を駆使して、「巨大な圧電性能と機械的強靭さを兼ね備えた革新的な圧電トランスデューサ薄膜」を創出する。学術的な問いは、単結晶は脆く、多結晶は単結晶の持つ特異的性能を発揮できない。このジレンマを克服する手段は存在するか?圧電性と強靭さは、本研究の手段で任意に設計、エンジニアリングできるか?である。これら問いに対する解を見出すとともに、圧電薄膜の性能によって制限されていた圧電MEMSアクチュエータの性能限界を打破し、高付加価値のMEMSデバイスの社会実装と産業的貢献に繋げる。