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超低消費電力システム構築のための2次元トンネルFETの集積化

研究課題

研究課題/領域番号 22H04957
研究種目

基盤研究(S)

配分区分補助金
審査区分 大区分D
研究機関東京大学

研究代表者

長汐 晃輔  東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 教授 (20373441)

研究分担者 上野 啓司  埼玉大学, 理工学研究科, 教授 (40223482)
宮田 耕充  国立研究開発法人物質・材料研究機構, ナノアーキテクトニクス材料研究センター, グループリーダー (80547555)
研究期間 (年度) 2022-04-27 – 2027-03-31
研究課題ステータス 交付 (2025年度)
配分額 *注記
200,070千円 (直接経費: 153,900千円、間接経費: 46,170千円)
2025年度: 18,460千円 (直接経費: 14,200千円、間接経費: 4,260千円)
2024年度: 18,460千円 (直接経費: 14,200千円、間接経費: 4,260千円)
2023年度: 36,400千円 (直接経費: 28,000千円、間接経費: 8,400千円)
2022年度: 108,290千円 (直接経費: 83,300千円、間接経費: 24,990千円)
キーワード2次元材料 / トンネルFET / ドーピング / 超低消費電力動作 / 置換型ドーピング / 超低消費電力
研究開始時の研究の概要

社会基盤のデジタル・トランスフォーメーションだけでなく個人の生活様式の変革が進み,IoTデバイスの爆発的な増加が予想されるが,さらなる普及には電子デバイスの超低消費電力化が本質的なボトルネックである.本研究では,2次元材料をベースとしたトンネルトランジスタを集積化し超低消費電力動作の実証を目指す.これにより,その社会的重要性にもかかわらず見通しの立たなかった超低消費電力デバイス実現に寄与する.

研究実績の概要

IoTセンサーで取得したビッグデータをAl解析し,その情報を利用/反映させた社会活動を行うSociety5.0の実現にはIoTデバイスが身の回りにあることを認識しなくなるほどまでに普及することが必須である.普及の壁となっているのが,有線での電源供給であり,自立電源化が必須である.このためには,「環境発電能力の向上」だけでなく,「電子デバイスの超低消費電力化」により多くのIoTデバイスの自立電源化が可能となる.本研究では,集積デバイスにおけるボトルネックであるトランジスタの超低消費電力動作に対し2次元材料を適応することで克服することを試みる.
本年度は,以下の3項目を集中的に研究を進めた.(1)ドーピングとキャリア数の決定:P型の5%NbドープWSe2及びN型の1%ReドープMoSe2において,Hall測定の結果,どちらもトンネルFETで必要な室温で10^20 cm-3を超えるキャリア数を示す高不純物濃度結晶であることが示された.N/P両方において高濃度ドープ結晶の育成に成功した.
(2)ReドープMoSe2によるトンネルFET特性評価
P型としては高濃度ReドープMoSe2において同一結晶面内構造のFETデバイスを作製した.タイプIIからタイプIIIのバンドアライメントに連続的に変化している様子を観測した.これによりトンネルFETにおけるP型及びN型動作を達成した.
(3)ウエハースケールデバイス特性
膜均一性とスケールアップの両立が可能である有機金属気相成長法において2インチサファイア基板上に製膜されたMoS2において324個のFETを作製し特性評価を行い,典型的な移動度28 cm2/Vs程度を得た.この移動度は,世界的なMOCVD研究でのMoS2と同等であり,今後のウエハースケールでのトンネルFETの集積化の基礎となる.

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

2: おおむね順調に進展している

理由

以下にこれまでに達成した項目を示す.
(1)2次元材料のドーピングと成長:・Nb,Reの置換によりN型P型共に10^20 cm-3以上のキャリア数を達成した.(2)デバイス要素技術:同一結晶面内接合構造の作製技術として,トップダウン手法であるlayer-by-layerの酸化技術の確立,及びボトムアップ手法であるCVD成長による構造作製に成功した.(3)デバイス評価及び集積化:P型及びN型トンネルFET動作を実証した.また,MOCVDによる2インチウエハー上MoS2のデバイス化プロセスを確立した.
上記の結果に対して,投稿論文15報を報告し,60件以上の学会発表を行った(招待講演は25研以上).
これらの結果より,順調に研究が進展しているといえる.

今後の研究の推進方策

(1)不純物置換により原子欠陥の増加問題:高不純物濃度結晶は,トンネルFETに必須であり10^20 cm-3以上のキャリア数を今回の研究で達成したが,Nb置換が起こると10^12 cm-2以上のS欠陥が同時に形成され,逆に,Re置換はS欠陥を減少させることが分かってきた.①最適な含塩素原料の選定,②最適なCVT成長温度条件の探索,③Re,Nb以外の元素の可能性探索等の課題を進め,欠陥との関係を詳細に調べる.
(2)「同一結晶面内接合構造」作製のボトムアップ手法:CVDを利用したTMDC合成技術およびキャリア制御技術の開発,および輸送特性の解明を行う.具体的には,TMDCおよび不純物原料の選定,成長温度,基板,ドープ手法を検討する.作製した試料については,ホール効果によるキャリア密度の測定,電子顕微鏡による不純物観測等の評価を行う.
(3)デバイス評価及び集積化:トンネルFETデバイスにおけるオン電流の向上において,N型と比較してコンタクト形成の困難なP型コンタクト抵抗の低減に取り組む.金属蒸着時の欠陥形成によりFermi level pinning(FLP)が起こりSchottky障壁高さが固定されると考えられ,P型動作が困難である.低融点Biを超高真空中で堆積することで,2次元結晶表面に欠陥形成なくvan der Waals的に原子が揃うような堆積が可能である.Bi上に仕事関数の高いPt(~5.4 eV)を堆積し,アニールにより拡散による入れ替わり偏析を利用して,Ptコンタクトをとることで,P型用の低抵抗コンタクトを実証する.

評価記号
中間評価所見 (区分)

A: 研究領域の設定目的に照らして、期待どおりの進展が認められる

報告書

(5件)
  • 2024 中間評価(所見) ( PDF )
  • 2023 実績報告書
  • 2022 研究概要(採択時) ( PDF )   審査結果の所見   実績報告書
  • 研究成果

    (48件)

すべて 2024 2023 2022 2021 その他

すべて 国際共同研究 (2件) 雑誌論文 (16件) (うち国際共著 7件、 査読あり 16件、 オープンアクセス 9件) 学会発表 (25件) (うち国際学会 17件、 招待講演 25件) 図書 (2件) 備考 (3件)

  • [国際共同研究] TSMC, Taiwan(その他の国・地域)

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  • [国際共同研究] TSMC, Taiwan(その他の国・地域)

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      2022 実績報告書
  • [雑誌論文] A Monolayer MoS2 FET with an EOT of 1.1 nm Achieved by the Direct Formation of a High-k Er2O3 Insulator Through Thermal Evaporation2023

    • 著者名/発表者名
      Uchiyama Haruki、Maruyama Kohei、Chen Edward、Nishimura Tomonori、Nagashio Kosuke
    • 雑誌名

      Small

      巻: 19 号: 15 ページ: 2207394-2207394

    • DOI

      10.1002/smll.202207394

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      2023 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Experimental verification of SO2 and S desorption contributing to defect formation in MoS2 by thermal desorption spectroscopy2023

    • 著者名/発表者名
      Li Shuhong、Nishimura Tomonori、Maruyama Mina、Okada Susumu、Nagashio Kosuke
    • 雑誌名

      Nanoscale Advances

      巻: 5 号: 2 ページ: 405-411

    • DOI

      10.1039/d2na00636g

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      2023 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Multilayer In-Plane Heterostructures Based on Transition Metal Dichalcogenides for Advanced Electronics2023

    • 著者名/発表者名
      Ogura Hiroto、Kawasaki Seiya、Liu Zheng、Endo Takahiko、Maruyama Mina、Gao Yanlin、Nakanishi Yusuke、Lim Hong En、Yanagi Kazuhiro、Irisawa Toshifumi、Ueno Keiji、Okada Susumu、Nagashio Kosuke、Miyata Yasumitsu
    • 雑誌名

      ACS Nano

      巻: 17 号: 7 ページ: 6545-6554

    • DOI

      10.1021/acsnano.2c11927

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      2023 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] From h‐BN to Graphene: Characterizations of Hybrid Carbon‐Doped h‐BN for Applications in Electronic and Optoelectronic Devices2023

    • 著者名/発表者名
      Ngamprapawat Supawan、Kawase Jimpei、Nishimura Tomonori、Watanabe Kenji、Taniguchi Takashi、Nagashio Kosuke
    • 雑誌名

      Advanced Electronic Materials

      巻: 9 号: 8 ページ: 2300083-2300083

    • DOI

      10.1002/aelm.202300083

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      2023 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] p-Type Conversion of WS2 and WSe2 by Position-Selective Oxidation Doping and Its Application in Top Gate Transistors2023

    • 著者名/発表者名
      Kato Ryoichi、Uchiyama Haruki、Nishimura Tomonori、Ueno Keiji、Taniguchi Takashi、Watanabe Kenji、Chen Edward、Nagashio Kosuke
    • 雑誌名

      ACS Applied Materials and Interfaces

      巻: 15 号: 22 ページ: 26977-26984

    • DOI

      10.1021/acsami.3c04052

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Shift‐Current Photovoltaics Based on a Non‐Centrosymmetric Phase in In‐Plane Ferroelectric SnS2023

    • 著者名/発表者名
      Chang Yih‐Ren、Nanae Ryo、Kitamura Satsuki、Nishimura Tomonori、Wang Haonan、Xiang Yubei、Shinokita Keisuke、Matsuda Kazunari、Taniguchi Takashi、Watanabe Kenji、Nagashio Kosuke
    • 雑誌名

      Advanced Materials

      巻: 35 号: 29 ページ: 2301172-2301172

    • DOI

      10.1002/adma.202301172

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Resonant exciton transfer in mixed-dimensional heterostructures for overcoming dimensional restrictions in optical processes2023

    • 著者名/発表者名
      Fang N.、Chang Y. R.、Yamashita D.、Fujii S.、Maruyama M.、Gao Y.、Fong C. F.、Otsuka K.、Nagashio K.、Okada S.、Kato Y. K.
    • 雑誌名

      Nature Communications

      巻: 14 号: 1 ページ: 8152-8159

    • DOI

      10.1038/s41467-023-43928-2

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [雑誌論文] High-throughput dry transfer and excitonic properties of twisted bilayers based on CVD-grown transition metal dichalcogenides2023

    • 著者名/発表者名
      Naito Hibiki、Makino Yasuyuki、Zhang Wenjin、Ogawa Tomoya、Endo Takahiko、Sannomiya Takumi、Kaneda Masahiko、Hashimoto Kazuki、Lim Hong En、Nakanishi Yusuke、Watanabe Kenji、Taniguchi Takashi、Matsuda Kazunari、Miyata Yasumitsu
    • 雑誌名

      Nanoscale Advances

      巻: 5 号: 18 ページ: 5115-5121

    • DOI

      10.1039/d3na00371j

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Wavelength dependence of polarization-resolved second harmonic generation from ferroelectric SnS few layers2022

    • 著者名/発表者名
      Moqbel Redhwan、Chang Yih-Ren、Li Zi-Yi、Kung Sheng-Hsun、Cheng Hao-Yu、Lee Chi-Cheng、Nagashio Kosuke、Lin Kung-Hsuan
    • 雑誌名

      2D Materials

      巻: 10 号: 1 ページ: 015022-015022

    • DOI

      10.1088/2053-1583/acab74

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Science of 2.5 dimensional materials: paradigm shift of materials science toward future social innovation2022

    • 著者名/発表者名
      Ago Hiroki、Okada Susumu、Miyata Yasumitsu、Matsuda Kazunari、Koshino Mikito、Ueno Kosei、Nagashio Kosuke
    • 雑誌名

      Science and Technology of Advanced Materials

      巻: - 号: 1 ページ: 275-299

    • DOI

      10.1080/14686996.2022.2062576

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Performance Enhancement of SnS/{\it h}-BN Heterostructure p-Type FET via the Thermodynamically Predicted Surface Oxide Conversion Method2022

    • 著者名/発表者名
      Chang Yih-Ren、Nishimura Tomonori、Taniguchi Takashi、Watanabe Kenji、Nagashio Kosuke
    • 雑誌名

      ACS Applied Materials & Interfaces

      巻: 14 号: 17 ページ: 19928-19937

    • DOI

      10.1021/acsami.2c05534

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Ultrafast Operation of 2D Heterostructured Nonvolatile Memory Devices Provided by the Strong Short-Time Dielectric Breakdown Strength of h-BN2022

    • 著者名/発表者名
      T. Sasaki, K. Ueno, T. Taniguchi, K. Watanabe, T. Nishimura, and K. Nagashio
    • 雑誌名

      ACS Appl. Mater. Interfaces

      巻: 14 号: 22 ページ: 25659-25669

    • DOI

      10.1021/acsami.2c03198

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Current Injection into Single-Crystalline Carbon-Dope h-BN toward Electronic and Optoelectronic Applications2022

    • 著者名/発表者名
      Ngamprapawat Supawan、Nishimura Tomonori、Watanabe Kenji、Taniguchi Takashi、Nagashio Kosuke
    • 雑誌名

      ACS Applied Materials and Interfaces

      巻: 14 号: 22 ページ: 25731-25740

    • DOI

      10.1021/acsami.2c04544

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Quantization of Mode Shifts in Nanocavities Integrated with Atomically Thin Sheets2022

    • 著者名/発表者名
      Fang Nan、Yamashita Daiki、Fujii Shun、Otsuka Keigo、Taniguchi Takashi、Watanabe Kenji、Nagashio Kosuke、Kato Yuichiro K.
    • 雑誌名

      Advanced Optical Materials

      巻: 10 号: 19 ページ: 2200538-2200538

    • DOI

      10.1002/adom.202200538

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [雑誌論文] Is band gap of bulk PdSe2 located really in far infrared region? Determination by Fourier Transform Photocurrent Spectroscopy2022

    • 著者名/発表者名
      W. Nishiyama, T. Nishimura, M. Nishioka, K. Ueno, S. Iwamoto, and K. Nagashio
    • 雑誌名

      Adv. Photonics Res.

      巻: 3 号: 11 ページ: 231-232

    • DOI

      10.1002/adpr.202200231

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Quantitative determination of contradictory bandgap values of bulk PdSe2 from electrical transport properties2021

    • 著者名/発表者名
      Nishiyama Wataru、Nishimura Tomonori、Ueno Keiji、Taniguchi Takashi、Watanabe Kenji、Nagashio Kosuke
    • 雑誌名

      Advanced Functional Materials

      巻: 32 号: 9 ページ: 2108061-2108061

    • DOI

      10.1002/adfm.202108061

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [学会発表] " 2次元層状材料トランジスタの発表から約10年 ー課題と将来展望ー",2024

    • 著者名/発表者名
      長汐晃輔
    • 学会等名
      日本学術振興会 R031 ハイブリッド量子ナノ技術委員会第14回研究会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] " 2次元層状強誘電SnSにおけるバルク光起電力効果",2024

    • 著者名/発表者名
      長汐晃輔
    • 学会等名
      Physics and Applications of Spin-related Phenomena in Semiconductors (PASPS-27)
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Low-dimensional nanostructures of Janus TMDs2024

    • 著者名/発表者名
      Y. Miyata
    • 学会等名
      International Workshop on Science of 2.5 Dimensional Materials
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] 遷移金属ダイカルコゲナイドヘテロ構造の作製と評価2024

    • 著者名/発表者名
      宮田耕充
    • 学会等名
      応用物理学会応用電子物性分科会主催 応用電子物性分科会 研究例会 2次元層状物質研究の最前線
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Growth and Characterization of 1D Transition Metal Chalcogenides2024

    • 著者名/発表者名
      Y. Miyata
    • 学会等名
      International Winterschool on Electronic Properties of Novel Materials 2024
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] “Inversion Symmetry Broken Bulk SnS Formed by Step-edge-induced Spiral Growth for Energy Harvesting”2023

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Nagashio
    • 学会等名
      3rd Nucleation and Growth Research Conference (NGRC)
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] “2D layered semiconductors: Challenge & Perspective”2023

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Nagashio
    • 学会等名
      36th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC)
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] “Shift current photovoltaics in ferroelectric SnS”2023

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Nagashio
    • 学会等名
      International Conference on Materials and Systems for Sustainability 2023(ICMaSS)
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] 1D nanostructures based on transition metal chalcogenides2023

    • 著者名/発表者名
      Y. Miyata
    • 学会等名
      6th EU‐Japan Workshop on Graphene and Related 2D Materials
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] 1D Transition Metal Chalcogenides: Growth, Structures, and Properties2023

    • 著者名/発表者名
      Y. Miyata
    • 学会等名
      NT23
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] 1D nanostructures based on transition metal chalcogenides2023

    • 著者名/発表者名
      Y. Miyata
    • 学会等名
      2DTMDCs
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Low-dimensional nanostructures of Janus transition metal dichalcogenides2023

    • 著者名/発表者名
      Y. Miyata
    • 学会等名
      13th A3 Symposium on Emerging Materials
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] 遷移金属ダイカルコゲナイドの合成と機能2023

    • 著者名/発表者名
      宮田耕充
    • 学会等名
      化学工学会CVD反応分科会 第39回シンポジウム「二次元材料の合成と応用の最新動向と展望」
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Growth and Characterization of 1D Transition Metal Chalcogenides2023

    • 著者名/発表者名
      Y. Miyata
    • 学会等名
      Mini-Workshop at NTNU-Physics
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Device Technology for 2D Layered Semiconductor FETs: Challenge & Perspective2023

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Nagashio
    • 学会等名
      2023 Symposia on VLSI Technology and Circuits
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] “50 Ns Ultrafast Memory Operation in 2D Heterostructured Non-Volatile Memory Device”2022

    • 著者名/発表者名
      K. Nagashio,
    • 学会等名
      241st ECS Meeting
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] “Ultrafast Memory Operation in 2D Heterostructured Non-Volatile Memory Device”,2022

    • 著者名/発表者名
      K. Nagashio,
    • 学会等名
      The 22nd Int. Conf. on Sci & Appl. of Nanotubes and Low-dimensional Materials (NT22)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] “Novel high-k insulator deposition on 2D materials for future electronics”,2022

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Nagashio,
    • 学会等名
      International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] “Consider the S vacancy formation in MoS2”,2022

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Nagashio,
    • 学会等名
      A3 Foresight International Symposium 2022
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] 一次元遷移金属カルコゲナイドの成長と評価2022

    • 著者名/発表者名
      宮田耕充
    • 学会等名
      ナノ科学シンポジウム 2022
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Growth of one-dimensional transition metal chalcogenides2022

    • 著者名/発表者名
      Yasumitsu Miyata
    • 学会等名
      2th A3 Symposium on Emerging Materials
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] 2次元層状SnSの強誘電特性と自発起電力発電への展開2022

    • 著者名/発表者名
      長汐晃輔
    • 学会等名
      日本セラミックス協会第35回秋季シンポジウム
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 超高速 2D フラッシュメモリーの実証2022

    • 著者名/発表者名
      長汐晃輔
    • 学会等名
      第86回半導体・集積回路技術シンポジウム
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 2次元層状物質の新機能デバイスへの展開2022

    • 著者名/発表者名
      長汐晃輔
    • 学会等名
      光電相互変換第125委員会第260回研究会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] MoS2 FETから10年:何が解決して何が未解決なのか?2022

    • 著者名/発表者名
      長汐晃輔
    • 学会等名
      2022年第69回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 招待講演
  • [図書] 遷移金属ダイカルコゲナイドの基礎と最新動向2023

    • 著者名/発表者名
      宮田耕充、吾郷浩樹、松田一成、長汐晃輔
    • 総ページ数
      120
    • 出版者
      シーエムシー出版
    • ISBN
      9784781317588
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [図書] 固体物理2023

    • 著者名/発表者名
      越野幹人,松田一成,岩佐義宏,谷口尚,町田友樹,長汐晃輔,末永和知,佐藤宇史,中野匡規,花栗哲郎,島崎佑也,笹川崇男,山本倫久,斎藤優
    • 総ページ数
      204
    • 出版者
      アグネ技術センター
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [備考] 長汐研@東大

    • URL

      https://webpark1753.sakura.ne.jp/nagashio_lab/

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書 2022 実績報告書
  • [備考] 宮田研@都立大

    • URL

      https://nanotube.fpark.tmu.ac.jp/index.html

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書 2022 実績報告書
  • [備考] 上野研@埼玉大

    • URL

      https://surface-www.chem.saitama-u.ac.jp/

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書 2022 実績報告書

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公開日: 2022-04-28   更新日: 2025-06-20  

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