• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

珪藻土由来ポーラスSi生成を実現するダイオード整流多電極アーク源の創成

研究課題

研究課題/領域番号 22K03587
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
審査区分 小区分14030:プラズマ応用科学関連
研究機関九州大学

研究代表者

田中 学  九州大学, 工学研究院, 准教授 (10707152)

研究分担者 渡辺 隆行  九州大学, 工学研究院, 教授 (40191770)
茂田 正哉  東北大学, 工学研究科, 教授 (30431521)
研究期間 (年度) 2022-04-01 – 2025-03-31
研究課題ステータス 交付 (2023年度)
配分額 *注記
4,160千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 960千円)
2024年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2023年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
2022年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
キーワード熱プラズマ / プレーナージェット / アーク放電 / 多電極 / 交流アーク / ポーラスシリコン / 変動 / 珪藻土 / ダイオード整流 / ポーラスSi
研究開始時の研究の概要

ダイオード整流多電極アーク源を用いた平板状(プレーナー)熱プラズマ流を発生・制御し,還元性ラジカルを高速照射することで,珪藻土由来のポーラスSiの大量合成手法確立を目指す.周波数変調交流を基としたダイオード整流多電極アーク源を開発し,プレーナー熱プラズマ流を生成・制御することで,再結合による活性ラジカルの不活化を抑制し,低温基板への超高速ラジカル照射を達成する.変調周波数に対応可能な高速度可視化システムを用いた(i)プラズマ物理量(温度,ラジカル濃度)の精密計測.(ii)流れ場の可視化に加えて,(iii)数値流体解析を併用することで,新規なプラズマ流の理解・制御を行なう.

研究実績の概要

ダイオード整流多電極アーク源を用いた平板状熱プラズマ流を発生・制御し,還元性ラジカルを高速照射することで,珪藻土由来のポーラスSiの大量合成手法確立を目指す.周波数変調交流を基としたダイオード整流多電極アーク源を開発し,プレーナー熱プラズマ流を生成・制御し,再結合による活性ラジカルの不活化を抑制し,低温基板への超高速ラジカル照射を達成する.変調周波数に対応可能な高速度可視化システムを用いた(i)プラズマ物理量(温度,ラジカル濃度)の精密計測.(ii)流れ場の可視化に加えて,(iii)数値流体解析を併用することで,新規なプラズマ流の理解・制御を行なう.
サブテーマI(つくる):熱プラズマ発生装置にインバータ制御による駆動周波数変調を行い,アーク変動現象およびプラズマジェット流に及ぼす駆動周波数の影響を明らかにした.さらに,多相交流回路の電極配置によるプラズマ制御について調査している.
サブテーマII(みる):上述の通り駆動周波数の影響について,特にアーク変動に着目した可視化・解析を行っている. 電圧変動解析については,解析手法の構築が完了した.アーク画像の解析について,現在構築中である.
サブテーマIII(つかう): 基板への照射については,試験的に行った.まずシリコンベースに樹脂等が塗布されたシリコン系基板に対する照射効果を調査中である.
以上のように確立した革新的熱プラズマ源を用いることで,珪藻土由来のポーラスSiの大量製造手法を確立し,リチウムイオン電池への応用展開を目指す.

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

2: おおむね順調に進展している

理由

本研究は概ね順調に進行している.2023年度については,サブテーマIインバータの施行についても完了し,駆動周波数評価が可能となった.サブテーマIIは前年度の引き続き想定以上に順調に進行している.サブテーマIIIは現在は想定のペースで,Si系基板処理の実施に着手していることなどの全体進捗を鑑み,概ね順調に進展していると判断できる.

今後の研究の推進方策

残り2つのサブテーマに基づき研究を進める.
完了)サブテーマI:周波数変調インバータを組み込み,プレーナー熱プラズマ流における駆動周波数の影響を評価する.
実施中)サブテーマII:光学的計測に基づくプラズマ場の可視化・解析を進めることで,適切なプラズマ生成条件,材料処理条件の検討を進める.その際,サブテーマIIIの応用研究とも相互に結果・知見をフィードバックすることで,適切な処理条件の模索につなげる.
実施中)サブテーマIII:サブテーマI,IIの知見を鑑みSi系材料の生成条件の検討を進める.

報告書

(2件)
  • 2023 実施状況報告書
  • 2022 実施状況報告書
  • 研究成果

    (9件)

すべて 2023 2022 その他

すべて 学会発表 (8件) (うち国際学会 5件、 招待講演 3件) 備考 (1件)

  • [学会発表] Nanoparticle Formation Mechanism of Li-Mn Composite Oxides by Mutiphase AC Arc2023

    • 著者名/発表者名
      Manabu Tanaka, Aika Tamae, Aori Ichini, Takayuki Watanabe, Takafumi Okuma, Hisao Nagai, Taiki Maruyama
    • 学会等名
      25th International Symposium on Plasma Chemistry
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Characteristics of Planar Thermal Plasma Jet by Diode-Rectified AC Arc2023

    • 著者名/発表者名
      Ryo Takenaka, Yuta Sogo, Manabu Tanaka, Takayuki Watanabe, Masaya Shigeta, Tsuguo Matsuura
    • 学会等名
      25th International Symposium on Plasma Chemistry
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Fluctuation Analysis of Diode-Rectified AC Arc by High-Speed Visualization2023

    • 著者名/発表者名
      Yuta Sogo, Ryo Takenaka, Manabu Tanaka, Takayuki Watanabe, Masaya Shigeta, Tsuguo Matsuura
    • 学会等名
      25th International Symposium on Plasma Chemistry
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Development of Thermal Plasma Sourves with Diode-Rectification and Their Applications to Nanomaterial Fabrication2023

    • 著者名/発表者名
      Manabu Tanaka, Ryo Takenaka, Takafumi Okuma, Takayuki Watanabe
    • 学会等名
      24th Symposium on Application of Plasma Processes
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] 熱プラズマ診断に基づく革新的熱プラズマ発生とその応用2023

    • 著者名/発表者名
      田中学,渡辺隆行
    • 学会等名
      プラズマエレクトロニクス分科会第40回プラズマ新領域研究会
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Innovative Thermal Plasma Generation with Diode-Rectified AC Arc System and Its Applications2022

    • 著者名/発表者名
      Manabu Tanaka, Ryo Takenaka, Yuta Sogo, Aika Tamae, Takafumi Okuma, Takayuki Watanabe, Tsugio Matsuura, Juan-Pablo Trelles, Masaya Shigeta
    • 学会等名
      5th Asia-Pacific Conference on Plasma Physics
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] ダイオード整流型交流アークにおけるプレーナー熱プラズマジェットの特性評価2022

    • 著者名/発表者名
      竹中凌, 田中学, 渡辺隆行
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部第26回支部大会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] 高速度カメラを用いたダイオード整流型交流放電におけるアーク挙動の解析2022

    • 著者名/発表者名
      十河優太, 竹中凌, 田中学, 渡辺隆行, 茂田正哉, 松浦次雄
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部第26回支部大会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [備考] 研究室の研究業績

    • URL

      https://www.chem-eng.kyushu-u.ac.jp/lab5/Pages/result.html

    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書

URL: 

公開日: 2022-04-19   更新日: 2024-12-25  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi