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均質誘電泳動法の開発と半導体カーボンナノチューブガスセンサへの応用

研究課題

研究課題/領域番号 22K04185
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
審査区分 小区分21050:電気電子材料工学関連
研究機関九州大学

研究代表者

稲葉 優文  九州大学, システム情報科学研究院, 助教 (20732407)

研究期間 (年度) 2022-04-01 – 2025-03-31
研究課題ステータス 交付 (2022年度)
配分額 *注記
4,160千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 960千円)
2024年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2023年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2022年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
キーワード誘電泳動 / 均質性 / ナノダイヤモンド / 蛍光 / ナノアイランド / ナノパターン / カーボンナノチューブ / ガスセンサ
研究開始時の研究の概要

誘電泳動力は不平等電界により発生する駆動力で、微粒子の配向・集積のリアルタイムモニタリングが可能な手法である。申請者のグループでは誘電泳動力により集積した半導体微粒子をセンシング材料としたガスセンサに関する研究を遂行しているが、不平等電界による誘電泳動集積では、微粒子が不均質に集積される問題があった。本研究では、不平等電界によって生じる誘電泳動場を巨視的に均質に制御する“均質誘電泳動集積”技術基盤を構築し、微粒子集積に対する影響を、センサデバイスの特性比較を通して評価することを目的とする。

研究実績の概要

ナノ・マイクロサイズの微粒子の操作は、高度なナノ構造の形成、ナノレベルでの反応場の形成、生体分子の観測・計測などの多岐にわたる領域で重要な基礎技術である。誘電泳動力は、誘電率の異なる溶媒と微粒子に不平等電界が印加されるとき、分極の偏りによってクーロン力が働くことにより発生する駆動力である。誘電泳動では、溶媒に分散・懸濁した微粒子を集積するため、希少・高価なサンプルにも適用しやすく、基板に容易に吸着しにくい半導体微粒子であっても電界の条件等を調整することで必要なときに必要な微粒子を選択的に、必要な量だけ集積させることができる。さらに、誘電泳動中のインピーダンスをモニタリングすることでリアルタイムに集積状況を知ることができるメリットがある。しかし、電界は電極のエッジに集中するため、誘電泳動力は電極エッジに集中して発生し、集積された微粒子による誘電泳動力によりそこを起点に集積が進行する。誘電泳動力をより均質に発生させることができれば、様々な微粒子をより均質に集積・操作しリアルタイムで評価するためのプラットフォームを構築可能である。
本年度は誘電泳動場を広域に形成するために、ナノパターニングの一つとして短時間の蒸着によるナノアイランドを用いることを考え、これに溶媒中で電界を印加した際、ナノアイランド端部に小さい誘電泳動場が形成されることを、COMSOL Multiphysicsを用いた有限要素シミュレーションで確認した。さらに、実際に作製したナノアイランド上に、微小な粒子が集積するかを確認するため、蛍光ナノダイヤモンドの観察系を構築した。

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

2: おおむね順調に進展している

理由

当初予定では、一年目終了時点で、均質誘電泳動の基礎検証を予定しており、概ねその通り進展している。ただし、現在のところ実験的に均質な誘電泳動集積は確認できていないため、今後実現可能性を検討する実験を展開する。

今後の研究の推進方策

現在のところ実験的に均質な誘電泳動集積は確認できていないが、これは印加電圧が不十分でナノアイランド周辺に発生する誘電泳動場の大きさが不十分となったこと、または誘電泳動場が捕集可能な微粒子の大きさが不十分であったことが原因として考えられる。
今後、印加電圧が十分となるように電極系を工夫すること、微粒子が捕集されているかをリアルタイムに観測することに注力して研究を遂行する。

報告書

(1件)
  • 2022 実施状況報告書
  • 研究成果

    (12件)

すべて 2023 2022 その他

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件、 オープンアクセス 1件) 学会発表 (9件) (うち国際学会 1件) 備考 (1件) 産業財産権 (1件)

  • [雑誌論文] Comparison between modulations of contact and channel potential in nitrogen dioxide gas response of ambipolar carbon nanotube field-effect transistors2022

    • 著者名/発表者名
      Nakahara Shota、Morita Takahiro、Omachi Haruka、Inaba Masafumi、Nakano Michihiko、Suehiro Junya
    • 雑誌名

      AIP Advances

      巻: 12 号: 12 ページ: 125302-125302

    • DOI

      10.1063/5.0124891

    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [学会発表] Nitrogen dioxide gas response rate at contact and channel in ambipolar carbon nanotube field-effect transistors2023

    • 著者名/発表者名
      Masafumi Inaba, Shota Nakahara, Haruka Omachi, Michihiko Nakano, Junya Suehiro
    • 学会等名
      第 64 回 フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] Effects of amount and metal/semiconducting ratio of CNT on ambipolar CNT-FET gas sensor response to NO22023

    • 著者名/発表者名
      Kaito Yagi, Shota Nakahara, Naoki Asano, Haruka Omachi, Masafumi Inaba, Michihiko Nakano, Junya Suehiro
    • 学会等名
      第 64 回 フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] A proposal to measure diamond particle conductance using dielectrophoresis2022

    • 著者名/発表者名
      Masafumi Inaba, Michihiko Nakano, Junya Suehiro
    • 学会等名
      15th International Conference on New Diamond and Nano Carbons (NDNC) 2022
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] CNT-FETのNO2応答にCNTの半導体・金属比率が与える影響2022

    • 著者名/発表者名
      八木凱斗, 中原正太, 大町遼, 稲葉優文, 中野道彦, 末廣純也
    • 学会等名
      2022年度(第75回) 電気・情報関係学会九州支部連合大会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] 誘電泳動集積法を用いて作製したCNT-FETガスセンサの正孔や電子伝導とNO2応答速度の関係2022

    • 著者名/発表者名
      中原正太, 八木凱斗, 大町遼, 稲葉優文, 中野道彦, 末廣純也
    • 学会等名
      2022年度(第75回) 電気・情報関係学会九州支部連合大会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] CNTの半導体・金属比率とCNT-FETのNO2ガス応答の関係2022

    • 著者名/発表者名
      八木凱斗, 中原正太, 大町遼, 稲葉優文, 中野道彦, 末廣純也
    • 学会等名
      2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] CNT-FET型ガスセンサ応答のゲート電圧スイープ方向依存性2022

    • 著者名/発表者名
      中原正太, 八木凱斗, 大町遼, 稲葉優文, 中野道彦, 末廣純也
    • 学会等名
      2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] Mechanism of NO2 detection of ambipolar carbon nanotube field-effect transistors fabricated by dielectrophoretic assembly2022

    • 著者名/発表者名
      S. Nakahara, K. Yagi, H. Omachi, M. Inaba, M. Nakano, J. Suehiro
    • 学会等名
      第 41 回電子材料シンポジウム
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] 誘電泳動集積を用いて作製した両極性CNT-FETガスセンサの電子伝導領域におけるNO2高速応答2022

    • 著者名/発表者名
      中原正太, 八木凱斗, 大町遼, 稲葉優文, 中野道彦, 末廣純也
    • 学会等名
      第36回ダイヤモンドシンポジウム
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [備考] 稲葉優文のホームページ

    • URL

      https://masafumi-inaba.jimdofree.com/

    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [産業財産権] 伝熱シートおよび伝熱シートの製造方法2022

    • 発明者名
      大曲新矢,稲葉優文,清家清弥,陳映晨,末廣純也,中野道彦
    • 権利者名
      大曲新矢,稲葉優文,清家清弥,陳映晨,末廣純也,中野道彦
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2022-170278
    • 出願年月日
      2022
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書

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公開日: 2022-04-19   更新日: 2023-12-25  

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