４光束ダブルヘテロダイン干渉による高ダイナミックレンジ厚さ測定

研究課題

研究課題/領域番号	22K14622
研究種目	若手研究
配分区分	基金
審査区分	小区分30020:光工学および光量子科学関連
研究機関	神戸市立工業高等専門学校
研究代表者	河合孝太郎神戸市立工業高等専門学校, その他部局等, 准教授 (00816332)
研究期間 (年度)	2022-04-01 – 2025-03-31
研究課題ステータス	交付 (2022年度)
配分額 *注記	4,160千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 960千円) 2024年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円) 2023年度: 130千円 (直接経費: 100千円、間接経費: 30千円) 2022年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)
キーワード	ダブルヘテロダイン干渉 / 光計測 / 偏光
研究開始時の研究の概要	本研究は、同軸でヘテロダイン干渉させた光波をさらに２光束に分離した後に軸外干渉させた４光束ダブルヘテロダイン干渉を用いて、厚さがサブ波長から数mmオーダーの広い範囲の測定対象の厚さを、１つの単一波長光源および１つの光学系を用いるのみで、非接触かつ高速に光学測定可能な新しい計測手法の確立を目的とする。現状で提案されている様々な光計測手法においては、測定可能な厚さの範囲が限定されるために、測定対象に応じた測定機器の使い分けが必要となる。本研究のように、薄膜から厚膜までの様々な測定対象の厚さを、１つの装置で測定可能な汎用的手法を確立することができれば、産業応用上、大きな意義がある。