研究課題
若手研究
本研究は、同軸でヘテロダイン干渉させた光波をさらに2光束に分離した後に軸外干渉させた4光束ダブルヘテロダイン干渉を用いて、厚さがサブ波長から数mmオーダーの広い範囲の測定対象の厚さを、1つの単一波長光源および1つの光学系を用いるのみで、非接触かつ高速に光学測定可能な新しい計測手法の確立を目的とする。現状で提案されている様々な光計測手法においては、測定可能な厚さの範囲が限定されるために、測定対象に応じた測定機器の使い分けが必要となる。本研究のように、薄膜から厚膜までの様々な測定対象の厚さを、1つの装置で測定可能な汎用的手法を確立することができれば、産業応用上、大きな意義がある。