• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

ベイズ最適化を活用した物理蒸着法によるMOF薄膜合成

研究課題

研究課題/領域番号 22K14692
研究種目

若手研究

配分区分基金
審査区分 小区分34010:無機・錯体化学関連
研究機関東京大学

研究代表者

中山 亮  東京大学, 大学院理学系研究科(理学部), 特任助教 (20833974)

研究期間 (年度) 2022-04-01 – 2025-03-31
研究課題ステータス 交付 (2023年度)
配分額 *注記
4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円)
2024年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2023年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2022年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
キーワードベイズ最適化 / 金属有機構造体(MOF) / 薄膜 / 物理蒸着法 / 金属有機構造体 / 物理蒸着 / MOF
研究開始時の研究の概要

金属有機構造体(Metal-Organic Framework, MOF)は、1) 細孔内への分子導入、2) 化学修飾による電子物性の制御、といった従来の電子材料にはない性質を持つ。MOFのデバイス応用に向けて、溶媒を使用しない物理蒸着法(PVD)による薄膜合成が望まれているが、PVDによるMOF薄膜合成の条件最適化は困難である。
そこで本研究では、機械学習の一種であるベイズ最適化を活用して、物理蒸着法によるMOF薄膜合成を行う。ベイズ最適化を活用することで、複数の合成パラメータ(基板温度やH2O分圧、金属塩層と架橋配位子層の膜厚など)を人間が行うよりも効率よく最適化することが可能となる。

研究実績の概要

金属有機構造体(Metal-Organic Framework, MOF)は金属イオンと架橋配位子の自己集合によって得られる多孔性物質である。MOFは、1) 細孔内への分子導入、2) 化学修飾による電子物性の制御、といった従来の電子材料にはない性質を持つ。MOFのデバイス応用に向けて、溶媒を使用しない物理蒸着法(PVD)による薄膜合成が望まれているが、PVDによるMOF薄膜合成は困難である。本研究は、ベイズ最適化を活用したPVDによるMOF薄膜合成を目的としている。R4年度は、1) 物理蒸着法による金属塩と有機配位子の交互積層、2) 溶媒蒸気雰囲気でのアニール処理という二段階の成膜プロセスにより、ガラス基板上に(111)配向したHKUST-1薄膜を合成することに成功した。R5年度は、HKUST-1と同様の二段階の成膜プロセスで、ピリジン蒸気アニールを行うことで、電気伝導性MOFであるCu3(HHTP)2 (HHTP = 2,3,6,7,10,11-hexahydroxytriphenylene)の配向膜合成に成功した。また、水と酢酸の混合溶媒を用いた蒸気アニールにより、熱的・化学的安定性の高いZr系MOFであるUiO-66の多結晶薄膜の合成にも成功した。以上より、開発した成膜手法により、多彩なMOF薄膜が合成可能であることを見出した。これまでに行ったMOF薄膜合成及びベイズ最適化のシミュレーションに関して、現在論文執筆を進めている状況である。

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

1: 当初の計画以上に進展している

理由

R4年度は1) 金属塩と有機配位子の交互積層、2) 溶媒蒸気雰囲気でのアニール処理という気相法によるMOF成膜プロセスを開発し、MOFの一種であるHKUST-1の配向膜合成を行った。
R5年度は開発した成膜手法を用いて、電気伝導性MOFであるCu3(HHTP)2及びZr系MOFであるUiO-66の薄膜合成を行った。その結果、サファイア基板上にCu3(HHTP)2 (001)配向膜、ガラス基板上にUiO-66の多結晶薄膜を得ることに成功した。これらのプロセスにおいては、溶媒蒸気アニールに用いる溶媒の種類の選択が重要であるが、ベイズ最適化はそのようなカテゴリ変数の最適化にはあまり向いていない最適化手法である。一方で、薄膜の表面平坦性の向上は今後の課題の一つであり、そのためにはアニール温度やアニール時間の最適化が不可欠であり、ベイズ最適化はその効率化に有効だと期待される。以上の理由より、これまでの研究はおおむね順調に進展しているといえる。

今後の研究の推進方策

R5年度は、これまでに開発した成膜手法を用いて、電気伝導性MOFであるCu3(HHTP)2の配向膜合成やZr系MOFであるUiO-66の薄膜合成を行った。つまり、開発した成膜手法は多彩なMOF薄膜の合成に適用であることを示した。以上より、本研究は当初の計画以上に進展していると考えており、R6年度にはベイズ最適化を用いた薄膜の表面平坦性の向上、単結晶基板を用いたMOFエピタキシャル薄膜の合成、作製したMOF薄膜のデバイス応用に取り組む予定である。

報告書

(2件)
  • 2023 実施状況報告書
  • 2022 実施状況報告書
  • 研究成果

    (16件)

すべて 2024 2023 2022

すべて 雑誌論文 (4件) (うち国際共著 1件、 査読あり 4件、 オープンアクセス 2件) 学会発表 (11件) (うち国際学会 2件、 招待講演 1件) 産業財産権 (1件) (うち外国 1件)

  • [雑誌論文] Tuning Bayesian optimization for materials synthesis: simulating two- and three-dimensional cases2023

    • 著者名/発表者名
      Han Xu, Ryo Nakayama, Takefumi Kimura, Ryota Shimizu, Yasunobu Ando, Shigeru Kobayashi, Nobuaki Yasuo, Masakazu Sekijima, Taro Hitosugi
    • 雑誌名

      Science and Technology of Advanced Materials: Methods

      巻: 3 号: 1 ページ: 2210251-2210251

    • DOI

      10.1080/27660400.2023.2210251

    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Orientation Control of a Two-Dimensional Conductive Metal-Organic Framework Thin Film by a Pyridine Vapor-Assisted Dry Process2023

    • 著者名/発表者名
      Seoungmin Chon, Ryo Nakayama, Shunta Iwamoto, Shigeru Kobayashi, Ryota Shimizu, Taro Hitosugi
    • 雑誌名

      ACS Appl. Mater. Interfaces

      巻: 15 号: 48 ページ: 56057-56063

    • DOI

      10.1021/acsami.3c14401

    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Tuning of Bayesian optimization for materials synthesis: simulation of the one-dimensional case2022

    • 著者名/発表者名
      Nakayama Ryo、Shimizu Ryota、Haga Taishi、Kimura Takefumi、Ando Yasunobu、Kobayashi Shigeru、Yasuo Nobuaki、Sekijima Masakazu、Hitosugi Taro
    • 雑誌名

      Science and Technology of Advanced Materials: Methods

      巻: 2 号: 1 ページ: 119-128

    • DOI

      10.1080/27660400.2022.2066489

    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Fabrication and Growth Orientation Control of NaBH<sub>4</sub> Epitaxial Thin Films Using Infrared Pulsed-Laser Deposition2022

    • 著者名/発表者名
      Nakayama Ryo、Kawaguchi Yuto、Shimizu Ryota、Nishio Kazunori、Oguchi Hiroyuki、Kim Sangryun、Orimo Shin-ichi、Hitosugi Taro
    • 雑誌名

      Crystal Growth &amp; Design

      巻: 22 号: 11 ページ: 6616-6621

    • DOI

      10.1021/acs.cgd.2c00813

    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [学会発表] Solvent vapor annealing effects on thin film synthesis of conductive metal&-organic framework using physical vapor deposition2024

    • 著者名/発表者名
      Ryo NAKAYAMA, Seoungmin CHON, Shunta IWAMOTO, Shigeru KOBAYASHI, Ryota SHIMIZU, Taro HITOSUGI
    • 学会等名
      104th CSJ Annual Meeting
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
  • [学会発表] α-Al2O3 (0001)基板上での金属有機構造体のエピタキシャル成長2024

    • 著者名/発表者名
      岩本 俊太、中山 亮、Seoungmin CHON、清水 亮太、一杉 太郎
    • 学会等名
      日本化学会 第104春季年会
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
  • [学会発表] 物理蒸着と溶媒蒸気加熱による金属有機構造体HKUST-1の配向膜合成2024

    • 著者名/発表者名
      岩本 俊太、中山 亮、Seoungmin CHON、清水 亮太、一杉 太郎
    • 学会等名
      第6回固体化学フォーラム研究会
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
  • [学会発表] (111)-Oriented Thin Film Fabrication of Metal&-Organic Framework HKUST-1 on Insulating Glass Substrates by Combining Vacuum Deposition and Solvent Vapor Annealing2023

    • 著者名/発表者名
      Shunta Iwamoto, Ryo Nakayama, Seoungmin Chon, Ryota Shimizu, and Taro Hitosugi
    • 学会等名
      2023 MRS Fall Meeting & Exhibit
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] ミスト化学気相成長法による金属有機構造体の薄膜合成2023

    • 著者名/発表者名
      野島 槙人、中山 亮、岩本 俊太、Chon Seoungmin、簾 智仁、清水 亮太、一杉 太郎
    • 学会等名
      日本化学会第103春季年会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] Fabrication of oriented conductive metal-organic framework thin film by dry process2023

    • 著者名/発表者名
      Seoungmin Chon, Ryo Nakayama, Shunta Iwamoto, Shigeru Kobayashi, Ryota Shimizu, Taro Hitosugi
    • 学会等名
      日本化学会第103春季年会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] スパース推定を用いたベイズ最適化による実験計画アルゴリズムと 添加剤最適化に向けた展望2022

    • 著者名/発表者名
      増井 隆治、Lee Unseo、中山 亮、一杉 太郎
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] NaBH4エピタキシャル薄膜の合成と成長方位制御2022

    • 著者名/発表者名
      中山 亮、河口 祐飛、清水 亮太、西尾 和記、大口 裕之、金 相侖、折茂 慎一、一杉 太郎
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] 物理蒸着法と酢酸雰囲気での加熱処理によるMOF配向膜の合成2022

    • 著者名/発表者名
      岩本 俊太、中山 亮、Chon Seoungmin、清水 亮太、一杉 太郎
    • 学会等名
      第12回CSJ化学フェスタ
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] Fabrication of conductive metal-organic framework thin film on insulating substrate by physical vapor deposition2022

    • 著者名/発表者名
      CHON Seoungmin、中山 亮、岩本 俊太、小林 成、清水 亮太、一杉 太郎
    • 学会等名
      第12回CSJ化学フェスタ
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] Physical vapor deposition of conductive two-dimensional metal-organic framework thin film2022

    • 著者名/発表者名
      Seoungmin Chon, Ryo Nakayama, Shunta Iwamoto, Shigeru Kobayashi, Ryota Shimizu, and Taro Hitosugi
    • 学会等名
      2022 MRS Fall Meeting
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [産業財産権] MOF EPITAXIAL THIN FILMS ON SINGLE CRYSTAL SAPPHIRE SUBSTRATE2024

    • 発明者名
      中山亮、岩本俊太、一杉太郎
    • 権利者名
      中山亮、岩本俊太、一杉太郎
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2024
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
    • 外国

URL: 

公開日: 2022-04-19   更新日: 2024-12-25  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi