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大気圧プラズマを用いた表面処理における活性種の表面反応計測およびモデリング

研究課題

研究課題/領域番号 22K18789
研究種目

挑戦的研究(萌芽)

配分区分基金
審査区分 中区分21:電気電子工学およびその関連分野
研究機関東京大学

研究代表者

小野 亮  東京大学, 大学院新領域創成科学研究科, 教授 (90323443)

研究期間 (年度) 2022-06-30 – 2024-03-31
研究課題ステータス 完了 (2023年度)
配分額 *注記
6,370千円 (直接経費: 4,900千円、間接経費: 1,470千円)
2023年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
2022年度: 4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円)
キーワード活性種 / 大気圧プラズマ / 表面処理 / ポリマー / 表面反応 / プラズマ / 選択的供給 / モデリング / VUV法
研究開始時の研究の概要

大気圧プラズマを用いた固体、液体、生体等の表面処理では、プラズマで生成された活性種の表面反応が重要である。しかし、活性種の表面反応は計測が困難なため、その反応機構はよく分かっていない。本研究では、これまで困難であった活性種の表面反応計測を、申請者が開発した独自の手法で行い、さらにその計測結果をもとに表面反応モデルを構築する。

研究成果の概要

本研究では、大気圧プラズマを用いた材料表面処理で重要な、OHやOなどの活性種を選択的に試料表面に照射する独自技術、真空紫外光解離活性種供給(VUV PRS)法を用いて、ポリプロピレン表面の活性種表面反応を定量的に計測した。OHやOの表面反応速度の定量的な計測に成功した他に、活性種の過剰な供給による反応の飽和、あるいは表面改質が退化する逆方向の反応の存在を示した。また本測定結果をもとに、量子化学計算や分子動力学計算も援用して、活性種表面反応のシミュレーションモデルを構築した。

研究成果の学術的意義や社会的意義

大気圧プラズマによる材料表面処理は、産業界で広く使われている。これら表面処理では活性種の表面反応が最も重要だが、その計測は困難でこれまで例がなかった。本研究では独自の技術を用いてこの計測を可能とし、ポリマー表面のOおよびOHの反応を計測した。また、この計測結果に基づく表面反応モデルの構築も行った。これまで経験則に頼らざるを得なかった大気圧プラズマ表面処理に、計測および反応モデルを導入した本研究の意義は大きい。また、大気圧プラズマは液面や生体への照射も行われており、本研究手法は将来的にこれらの表面反応解明にもつながる点でも意義は大きい。

報告書

(3件)
  • 2023 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2022 実施状況報告書
  • 研究成果

    (12件)

すべて 2024 2023 2022

すべて 雑誌論文 (5件) (うち査読あり 5件) 学会発表 (7件) (うち国際学会 2件)

  • [雑誌論文] Mechanism behind polypropylene surface modifications by OH radicals: An experimental study2024

    • 著者名/発表者名
      Du Hao、Komuro Atsushi、Seki Yuichi、Kobayashi Masaki、Ono Ryo
    • 雑誌名

      Applied Surface Science

      巻: 648 ページ: 159086-159086

    • DOI

      10.1016/j.apsusc.2023.159086

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Theoretical Prediction of the Reaction Probabilities of H, O, and OH Radicals on the Polypropylene Surface2024

    • 著者名/発表者名
      Du Hao、Sato Masahiro、Komuro Atsushi、Ono Ryo
    • 雑誌名

      The Journal of Physical Chemistry A

      巻: 128 号: 6 ページ: 1041-1048

    • DOI

      10.1021/acs.jpca.3c07531

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Theoretical mechanism behind the higher efficiency of O than OH radicals in polypropylene surface modification: a molecular dynamics study2024

    • 著者名/発表者名
      Du Hao、Sato Masahiro、Komuro Atsushi、Ono Ryo
    • 雑誌名

      Plasma Sources Science and Technology

      巻: 33 号: 2 ページ: 025009-025009

    • DOI

      10.1088/1361-6595/ad2118

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Quantitative and selective study of the effect of O radicals on polypropylene surface treatment2023

    • 著者名/発表者名
      Du Hao、Komuro Atsushi、Ono Ryo
    • 雑誌名

      Plasma Sources Science and Technology

      巻: 32 号: 7 ページ: 075013-075013

    • DOI

      10.1088/1361-6595/ace5d3

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Selective supply of atomic oxygen to a surface placed in room air using vacuum ultraviolet photolysis of carbon dioxide2023

    • 著者名/発表者名
      Ono Ryo、Battulga Tuguldur、Du Hao、Komuro Atsushi
    • 雑誌名

      Plasma Sources Science and Technology

      巻: 32 号: 3 ページ: 035004-035004

    • DOI

      10.1088/1361-6595/acc131

    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] CO2-VUV法のシミュレーションの検証およびO原子のポリマー表面反応計測への応用2024

    • 著者名/発表者名
      木全 悠人, 小室 淳史, 小野 亮
    • 学会等名
      2024年度静電気学会春期講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] Quantitative measurements of the effects of OH, O, and O3 on surface treatments of polymers using VUV photodissociation method2023

    • 著者名/発表者名
      R. Ono, H. Du, and A. Komuro
    • 学会等名
      35th International Conference on Phenomena in Ionized Gases
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Synergistic effects of oxygen radicals and ozone on surface treatment of polypropylene measured by newly developed VUV photodissociation method2023

    • 著者名/発表者名
      H. Du, A. Komuro, and R. Ono
    • 学会等名
      25th International Symposium on Plasma Chemistry
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Surface modification of polypropylene by oxygen radicals: A molecular dynamic simulation study2023

    • 著者名/発表者名
      H. Du, M. Sato, A. Komuro, and R. Ono
    • 学会等名
      第47回静電気学会全国大会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] CO2-VUV法のシミュレーションの検証およびO原子のポリマー表面反応計測への応用2023

    • 著者名/発表者名
      木全 悠人, 小室 淳史, 小野 亮
    • 学会等名
      第47回静電気学会全国大会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] Based on VUV photodissociation method to treat polypropylene surface: The synergistic effects between oxygen radicals and ozone2023

    • 著者名/発表者名
      H. Du, A. Komuro, R. Ono
    • 学会等名
      2023年度静電気学会春期講演会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] Quantum chemical calculation for surface reaction probabilities of OH and O with polypropylene2022

    • 著者名/発表者名
      H. Du, M. Sato, A. Komuro, R. Ono
    • 学会等名
      第46回静電気学会全国大会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書

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公開日: 2022-07-05   更新日: 2025-01-30  

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