| 研究課題/領域番号 |
22K20425
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| 研究種目 |
研究活動スタート支援
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| 配分区分 | 基金 |
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| 審査区分 |
0302:電気電子工学およびその関連分野
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| 研究機関 | 東京大学 |
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研究代表者 |
山本 道貴 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 助教 (10963225)
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| 研究期間 (年度) |
2022-08-31 – 2024-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2023年度)
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| 配分額 *注記 |
2,860千円 (直接経費: 2,200千円、間接経費: 660千円)
2023年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2022年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
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| キーワード | ストレッチャブルエレクトロニクス / ストレッチャブル配線 / コルゲート加工 / センサ集積化 / 伸縮性配線 / 実装技術 |
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| 研究開始時の研究の概要 |
本研究では，高密度に配線できる微細なストレッチャブル配線の実現のため，垂直方向に波状に加工した金属箔の上に，絶縁層を介して微細な電気配線を形成した新規構造を提案する．従来の金属伸縮性配線では，金属部分に伸縮性と電気配線という2つの役割を担わせてきたため，配線の微細化が難しかった．提案構造であれば金属箔部分に伸縮性の実現という役割のみを負わせ，配線部分を別途形成することが可能になるため，微細な伸縮性配線が実現できると期待される．提案構造の実現のため，パターン付き積層膜へのマイクロコルゲーションプロセスの力学的メカニズムの解明，ならびに波状構造を有する配線上への新規チップ実装方法の開発を行う．
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| 研究成果の概要 |
本研究では，高密度に集積可能な微細なストレッチャブル配線の実現のため，垂直方向に波状に加工した金属箔の上に，絶縁層を介して微細な電気配線を形成した新規ストレッチャブル構造を提案した．また同構造を実現するため，金属基板上に絶縁膜・微細配線を形成した後，コルゲート加工(歯車による連続曲げ加工)によって伸縮性を有する縦波構造を付与するプロセスを検討し，50%程度の伸張性を備えた，線幅100 μm程度の微細配線の形成に成功した．また同構造の応用として，センサの集積化についての検討も行った．
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
本研究では，微細なパターンの形成・パターンのコントロールが難しかった縦波構造型のストレッチャブル配線に対して，数10～数100μm程度の任意形状パターンの形成が可能な新たなプロセスを提案した．今回確立した作製プロセスは，今後のストレッチャブルデバイスにおける高密度集積化に資する期待される．
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