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微小機械式可変メタマテリアルのプラズモン共鳴変調機構の解明と超高速THz波制御

研究課題

研究課題/領域番号 22KJ0238
補助金の研究課題番号 22J11158 (2022)
研究種目

特別研究員奨励費

配分区分基金 (2023)
補助金 (2022)
応募区分国内
審査区分 小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連
研究機関東北大学

研究代表者

HUANG YING  東北大学, 工学研究科, 特別研究員(PD)

研究期間 (年度) 2023-03-08 – 2024-03-31
研究課題ステータス 完了 (2023年度)
配分額 *注記
1,700千円 (直接経費: 1,700千円)
2023年度: 800千円 (直接経費: 800千円)
2022年度: 900千円 (直接経費: 900千円)
キーワードTHz waves / MEMS metamaterials / Plasmonics / MEMS / Metamaterials
研究開始時の研究の概要

1. The design of the MEMS-based THz device will be conducted via finite element method;
2. The fabrication will be conducted by surface micromachining technics;
3. The measurement will be conducted via THz time-domain spectrometer.

研究実績の概要

The dynamic reconfigurable metamaterials based on ultra-small microelectromechanical systems cantilevers have been improved in terms of mechanical resonant frequency and repeatability. The device has been designed, calculated, fabricated, and evaluated. Part of the results have been reported in the 36th International Microprocesses and Nanotechnology Conference and the 84th Japanese Journal of Applied Physics Autumn meeting by oral presentation, and reported in the 7th A3 Metamaterial Forum by poster presentation. Part of the results have been published in a journal paper on Opt.Express.

報告書

(2件)
  • 2023 実績報告書
  • 2022 実績報告書
  • 研究成果

    (8件)

すべて 2023 2022

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件、 オープンアクセス 2件) 学会発表 (6件) (うち国際学会 3件、 招待講演 1件)

  • [雑誌論文] Reconfigurable THz metamaterial based on microelectromechanical cantilever switches with a dimpled tip2023

    • 著者名/発表者名
      Huang Ying、Okatani Taiyu、Inomata Naoki、Kanamori Yoshiaki
    • 雑誌名

      Optics Express

      巻: 31 号: 18 ページ: 29744-29754

    • DOI

      10.1364/oe.497514

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] A reconfigurable ladder-shaped THz metamaterial integrated with a microelectromechanical cantilever array2023

    • 著者名/発表者名
      Huang Ying、Okatani Taiyu、Inomata Naoki、Kanamori Yoshiaki
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 122 号: 5 ページ: 051705-051705

    • DOI

      10.1063/5.0124601

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [学会発表] An electromechanical cantilever actuator with a dimpled tip used for reconfigurable THz metamaterials2023

    • 著者名/発表者名
      HUANG YING
    • 学会等名
      The 36th International Microprocesses and Nanotechnology Conference
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Transparent electrodes for electromechanically reconfigurable THz metamaterials2023

    • 著者名/発表者名
      HUANG YING
    • 学会等名
      The 7th A3 Metamaterial Forum
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] An electromechanical cantilever actuator with a high mechanical resonant frequency exceeding 1.5 MHz used for THz metamaterials2023

    • 著者名/発表者名
      HUANG YING
    • 学会等名
      The 84th Japanese Journal of Applied Physics Autumn meeting
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] A reconfigurable H-shaped THz metamaterial based on an ultra-small micromechanical cantilever array2023

    • 著者名/発表者名
      HUANG YING
    • 学会等名
      The 70th Japan Society of Applied Physics spring meeting
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] An H-shaped metamaterial-based MEMS device with a high mechanical resonant frequency for THz waves2022

    • 著者名/発表者名
      HUANG YING
    • 学会等名
      The 83rd Japan Society of Applied Physics autumn meeting
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] A switchable THz filter by integrating an H-shaped metamaterial and ultra-small MEMS switches2022

    • 著者名/発表者名
      HUANG YING
    • 学会等名
      The 15th Pacific Rim Conference on Lasers and Electro-Optics
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会

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公開日: 2022-04-28   更新日: 2024-12-25  

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