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本研究の概要は、線幅10nmの金パラジウム合金ナノワイヤガスセンサを電子線リソグラフィと無電解金めっきにより作製し、0.005%の低い検出限界を保持しつつ、高速応答と高耐久性を実現することである。本研究では、Au/Pd合金ナノワイヤガスセンサを作製し、水素ガスに対する応答特性と耐久性を、Pdナノワイヤガスセンサと比較しつつ検討する研究である。
また、水素ガスに対し繰り返し耐久性10万サイクルを目標値とし、応答特性と耐久性について、ナノワイヤの線幅、膜厚、ELGP条件依存性を最適化することにより、目標値の達成を行う研究である。
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