| 研究課題/領域番号 |
23241043
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| 研究種目 |
基盤研究(A)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
マイクロ・ナノデバイス
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| 研究機関 | 独立行政法人物質・材料研究機構 |
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研究代表者 |
トラベルサ エンリコ (TRAVERSA Enrico) 独立行政法人物質・材料研究機構, その他部局等, 研究員 (70543255)
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| 研究分担者 |
ペルゴレシ ダニエレ 独立行政法人物質・材料研究機構, 国際ナノアーキテクトニクス研究拠点, MANA研究者 (10543259)
ファッブッリ エミルアーナ 独立行政法人物質・材料研究機構, 国際ナノアーキテクトニクス研究拠点, MANA研究者 (80542175)
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| 研究期間 (年度) |
2011-04-01 – 2013-03-31
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| 研究課題ステータス |
採択後辞退 (2012年度)
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| 配分額 *注記 |
41,470千円 (直接経費: 31,900千円、間接経費: 9,570千円)
2012年度: 23,530千円 (直接経費: 18,100千円、間接経費: 5,430千円)
2011年度: 17,940千円 (直接経費: 13,800千円、間接経費: 4,140千円)
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| キーワード | ナノ構造 / 薄膜 / マイクロ合成 / 酸素-イオン電導 / Siミクロマシン |
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| 研究概要 |
昨年の3月におこった東日本大震災およびそれに伴う福島第一原子力発電所の事故によって、本研究に関するいくつかの必要な研究装置が損傷を受けた。そのため、本年度に実際に行うべき研究は大きく影響を受けた。
当研究の実施機関であるNIMS(物質・材料研究機構)、参加した研究者、およびすでにNIMSを去ったポスドク研究員から研究に対する大いなる協力が得られたことは、大変感謝するものである。しかし、MIMS研究環境が大きく変わり、外国人研究者にとって安全でなく、また好ましいものではなくなった。
研究グループは、2011年に28本の論文を発表し、非常に創造的であったが、当人はNIMSの理事長から雇用契約の中断を受けた。文部科学省が本研究を委託し、推進のための資金を与えてくれたことに対して非常に感謝するものである。しかし、このような事情で、NIMSの運営により、研究の継続に同意が得られなかったことは残念である。
そのため、本年度におこなった研究の成果はいくぶん限られたものになった。平成23年度の研究計画は、固体燃料電池に適合する基盤になりうる(サポートする)材料の開発に目的を絞って研究を行った。
研究では、支持基盤(substrate)の材料として(001)方向に配向するSiウェファーを選んだ。バッファレイヤーとしてTiNを選択した。TiNを電解質によく適合する結晶層にすることができた。Siの層間相互の拡散を防ぐこともでき、電解質膜の製造に必須である湿式エッチングプロセスができた。最終的にはSi-TiN-MgO-YSZのヘテロ構造をエピタキシャル合成することが目的である。
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