| 研究課題/領域番号 |
23246012
|
|---|
| 研究種目 |
基盤研究(A)
|
| 配分区分 | 補助金 |
|---|
| 応募区分 | 一般 |
|---|
| 研究分野 |
薄膜・表面界面物性
|
|---|
| 研究機関 | 京都大学 |
|---|
研究代表者 |
松尾 二郎 京都大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (40263123)
|
|---|
| 研究分担者 |
青木 学聡 京都大学, 工学研究科, 講師 (90402974)
瀬木 利夫 京都大学, 工学研究科, 講師 (00402975)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2011-04-01 – 2014-03-31
|
| 研究課題ステータス |
完了 (2013年度)
|
| 配分額 *注記 |
49,140千円 (直接経費: 37,800千円、間接経費: 11,340千円)
2013年度: 12,350千円 (直接経費: 9,500千円、間接経費: 2,850千円)
2012年度: 16,380千円 (直接経費: 12,600千円、間接経費: 3,780千円)
2011年度: 20,410千円 (直接経費: 15,700千円、間接経費: 4,710千円)
|
|---|
| キーワード | SIMS / クラスターイオン / 分析 / バイオ / 高分子 / クラスター / イオン / 二次イオン |
|---|
| 研究概要 |
大きなサイズのArクラスターイオンは有機材料を低ダメージにスパッタリングできるため、SIMS法やXPS法での実用化が始まった。クラスターイオン銃を供えた表面分析装置が市販され、クラスターイオンが有機材料分析のデファクトスタンダードとなった。深さ方向分析だけでなくAｒクラスターイオンを収束し、SIMS法の1次イオンとして用いることにより、質量イメージングを実現した。これまで、Arクラスターイオンを収束させることは困難であると考えられてきたが、約１ミクロンに収束させることに成功した。これにより、収束Arクラスターイオンビームを使った分子イメージング法への道が開拓できた。
|
