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自己集束を利用した光吸収性媒質の超短パルスレーザによる内部加工と加工現象の解析

研究課題

研究課題/領域番号 23246029
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 生産工学・加工学
研究機関大阪大学

研究代表者

大村 悦二  大阪大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (90144435)

研究期間 (年度) 2011-11-18 – 2014-03-31
研究課題ステータス 完了 (2013年度)
配分額 *注記
5,980千円 (直接経費: 4,600千円、間接経費: 1,380千円)
2013年度: 2,990千円 (直接経費: 2,300千円、間接経費: 690千円)
2012年度: 2,990千円 (直接経費: 2,300千円、間接経費: 690千円)
キーワード超短パルスレーザ / 光吸収性媒質 / 内部加工 / 溶接 / 非線形光学 / 自己集束
研究概要

透明媒質内を伝播する超短パルスレーザのビーム径、ビームプロファイルおよび透過率を測定した。一方で、光吸収性カー媒質中の超短パルスレーザの伝播、自己集束、非線形光吸収の光学解析を行った。実験結果と比較することで、BK7と溶融石英の非線形吸収係数を算出した。さらに、超短パルスレーザによるガラスの内部加工と重ね溶接の実験を行うとともに、ガラス内部での吸収率を測定して熱伝導解析を行い、加工メカニズムの解明を行った。

報告書

(4件)
  • 2013 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2012 実績報告書
  • 2011 実績報告書
  • 研究成果

    (37件)

すべて 2014 2013 2012

すべて 雑誌論文 (13件) (うち査読あり 9件) 学会発表 (24件) (うち招待講演 3件)

  • [雑誌論文] Laser-induced structural modifications inside glass using a femtosecond laser and a CO_2 laser2014

    • 著者名/発表者名
      Takuto Asada, Takayuki Tamaki, Masaya Nakazumi, Etsuji Ohmura, and Kazuyoshi Itoh
    • 雑誌名

      Journal of Laser Micro/Nanoengineering

      巻: Vol.9(掲載予定)

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] ガラスのレーザスクライブにおける適正加工条件の推定と亀裂進展解析2014

    • 著者名/発表者名
      八幡恵輔、大村悦二、清水政二、村上政直
    • 雑誌名

      レーザ加工学会誌

      巻: Vol.21, No.1 ページ: 46-53

    • NAID

      40020099610

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Internal Processing of Glass by Ultrashort Pulse Laser and Analysis of Its Processing Phenomena2013

    • 著者名/発表者名
      Nobuaki Komatsubara and Etsuji Ohmura
    • 雑誌名

      Proceedings of the International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)

    • NAID

      130004661136

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Analysis of internal processing phenomena of glass by repetitive irradiation of ultrashort pulse laser2013

    • 著者名/発表者名
      T.Murakami and E.Ohmura
    • 雑誌名

      On-line Proceedings of the 6th International Congress on Laser Advanced Materials Processing (LAMP2013)

      巻: #13-031

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Analyses of self-focusing phenomenon and temperature rise in light absorption medium by ultrashort pulse laser irradiation2013

    • 著者名/発表者名
      Etsuji Ohmura
    • 雑誌名

      Materials Science and Engineering Technology

      巻: Vol.44、No.5 ページ: 472-480

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Analyses of Self-Focusing Phenomenon and Temperature Rise in Fused Silica by Ultrashort Pulse Laser Irradiation2013

    • 著者名/発表者名
      Etsuji Ohmura
    • 雑誌名

      Procedia CIRP

      巻: Vol.5 ページ: 7-12

    • DOI

      10.1016/j.procir.2013.01.002

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [雑誌論文] ガラスのレーザスクライブにおける亀裂湾曲メカニズムの解明と亀裂形状の推定2013

    • 著者名/発表者名
      八幡恵輔、大村悦二、清水政二、村上政直
    • 雑誌名

      レーザ加工学会誌

      巻: Vol.20, No.1 ページ: 46-53

    • NAID

      40019765215

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Boundary Element Analysis of Crack Propagation in Laser Scribing of Glass2013

    • 著者名/発表者名
      Keisuke Yahata, Etsuji Ohmura, Seiji Shimizu and Masanao Murakami
    • 雑誌名

      Journal of Laser Micro/Nanoengineering

      巻: Vol.8、No.1 ページ: 102-109

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Analyses of self-focusing phenomenon and temperature rise in light absorption medium by ultrashort pulse laser irradiation2013

    • 著者名/発表者名
      Etsuji Ohmura
    • 雑誌名

      Analyses of self-focusing phenomenon and temperature rise in light absorption medium by ultrashort pulse laser irradiation

      巻: 5 号: 5 ページ: 472-480

    • DOI

      10.1002/mawe.201300152

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書 2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] ガラスのレーザスクライブにおける亀裂湾曲メカニズムの解明と亀裂形状の推定2013

    • 著者名/発表者名
      八幡恵輔
    • 雑誌名

      レーザ加工学会誌

      巻: 20 ページ: 46-53

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Boundary Element Analysis of Crack Propagation in Laser Scribing of Glass2013

    • 著者名/発表者名
      K. Yahata
    • 雑誌名

      Journal of Laser Micro/Nanoengineering

      巻: 3 号: 1 ページ: 102-109

    • DOI

      10.2961/jlmn.2013.01.0020

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Suitable Processing Conditions Determined from the Standpoint of Residual Strain in Laser Scribing of Glass2012

    • 著者名/発表者名
      Keisuke Yahata, Etsuji Ohmura, Seiji Shimizu and Masanao Murakami
    • 雑誌名

      Proceedings of the 31st International Congress on Application of Laser and Electro-Optics (ICALEO2012)

      ページ: 1281-1288

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [雑誌論文] ステルスダイシングの加工原理2012

    • 著者名/発表者名
      大村悦二
    • 雑誌名

      光アライアンス

      巻: Vol.23, No.7 ページ: 27-31

    • NAID

      40019366354

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Effects of Pulse Duration on NL-Absorption Process in Microwelding of Glass Using USLP2014

    • 著者名/発表者名
      Isamu Miyamoto、 Kazuhiro Maeda、Etsuji Ohmura
    • 学会等名
      The 15th International Symposium on Laser Precision Microfabrication (LPM2014)
    • 発表場所
      Vilnius
    • 年月日
      2014-06-19
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Principle of the Stealth Dicing2014

    • 著者名/発表者名
      Etsuji OHMURA
    • 学会等名
      9th International Laser Processing and Systems Conference (LPC 2014)
    • 発表場所
      Shanghai
    • 年月日
      2014-03-19
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] nternal Processing of Glass by Ultra short Pulse Laser and Analysis of Its Processing Phenomena2013

    • 著者名/発表者名
      Nobuaki Komatsubara and Etsuji OHMURA
    • 学会等名
      International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
    • 発表場所
      松島
    • 年月日
      2013-11-07
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Estimation of Crack Depth in Laser Scribing of Glass by Analyses with FEM and BEM2013

    • 著者名/発表者名
      Etsuji Ohmura、Keisuke Yahata, Takahiro Hirano and Seiji Shimizu
    • 学会等名
      The 32nd International Congress on Application of Laser and Electro-Optics 2013 (ICALEO 2013)
    • 発表場所
      Miami
    • 年月日
      2013-10-10
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Quasi-steady crack propagation analysis with few repetition steps in laser scribing of glass2013

    • 著者名/発表者名
      Keisuke Yahata, Seoji Shimizu, Masanao Murakami and Etsuji Ohmura
    • 学会等名
      The 6th International Congress on Laser Advanced Materials Processing (LAMP2013)
    • 発表場所
      Niigata
    • 年月日
      2013-07-25
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Analysis of internal processing phenomena of glass by repetitive irradiation of ultrashort pulse laser2013

    • 著者名/発表者名
      Tomoaki Murakami and Etsuji Ohmura
    • 学会等名
      The 6th International Congress on Laser Advanced Materials Processing (LAMP2013)
    • 発表場所
      Niigata
    • 年月日
      2013-07-24
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Laser-induced structural modifications in glass using a femtosecond laser and a CO_2 laser2013

    • 著者名/発表者名
      Takuto Asada, Masaya Nakazumi, Takayuki Tamaki, Etsuji Ohmura and Kazuyoshi Itoh
    • 学会等名
      The 6th International Congress on Laser Advanced Materials Processing (LAMP2013)
    • 発表場所
      Niigata
    • 年月日
      2013-07-23
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Experimental Verification of Self-focusing Phenomena in Transparent Materials by Ultrashort Pulse Laser and Application to Internal Processing2013

    • 著者名/発表者名
      Etsuji Ohmura, Kosuke Matsumoto, Tomoaki Murakami
    • 学会等名
      7th International Conference on Advanced Computational Engineering and Experimenting (ACE-X 2013)
    • 発表場所
      Madrid
    • 年月日
      2013-07-04
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Analyses of Self-focusing Phenomenon and Temperature Rise in Light Absorption Medium by Ultrashort Pulse Laser Irradiation2013

    • 著者名/発表者名
      Etsuji Ohmura
    • 学会等名
      BIT's 2nd Annual World Congress of Advanced Materials-2013 (WCAM-2013)
    • 発表場所
      Suzhou
    • 年月日
      2013-06-05
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] ガラスのレーザスクライブにおける境界要素法を用いた亀裂進展解析2013

    • 著者名/発表者名
      八幡恵輔・清水政二・村上正直・大村悦二
    • 学会等名
      第79回レーザ加工学会講演会
    • 発表場所
      吹田
    • 年月日
      2013-05-07
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Analyses of Self-Focusing Phenomenon and Temperature Rise in Fused Silica by Ultrashort Pulse Laser Irradiation2013

    • 著者名/発表者名
      Etsuji Ohmura
    • 学会等名
      The First CIRP Conference on BioManufacturing (CIRP-BioM 2013)
    • 発表場所
      Tokyo
    • 年月日
      2013-03-04
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Analyses of self-focusing phenomenon and temperature rise in light absorption medium by ultrashort pulse laser irradiation2013

    • 著者名/発表者名
      Analyses of self-focusing phenomenon and temperature rise in light absorption medium by ultrashort pulse laser irradiation
    • 学会等名
      The 6th International Congress on Laser Advanced Materials Processing (LAMP2013)
    • 発表場所
      Niigata, Japan
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Internal Processing of Glass by Ultrashort Pulse Laser and Analysis of Its Processing Phenomena2013

    • 著者名/発表者名
      Nobuaki Komatsubara and Etsuji Ohmura
    • 学会等名
      the International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
    • 発表場所
      Matsushima, Japan
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Etsuji Ohmura, Kosuke Matsumoto and Tomoaki Murakami2013

    • 著者名/発表者名
      Etsuji Ohmura, Kosuke Matsumoto and Tomoaki Murakami
    • 学会等名
      7th International Conference on Advanced Computational Engineering and Experimenting (ACE-X 2013)
    • 発表場所
      Madrid, Spain
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Etsuji Ohmura: Analyses of Self-focusing Phenomenon and Temperature Rise in Light Absorption Medium by Ultrashort Pulse Laser Irradiation2013

    • 著者名/発表者名
      Etsuji Ohmura
    • 学会等名
      BIT's 2nd Annual World Congress of Advanced Materials-2013 (WCAM-2013)
    • 発表場所
      Suzhou, China
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Analyses of Self-Focusing Phenomenon and Temperature Rise in Fused Silica by Ultrashort Pulse Laser Irra-diation2013

    • 著者名/発表者名
      Etsuji Ohmura
    • 学会等名
      CIRP BioManufacturing 2013
    • 発表場所
      Tokyo, Japan
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Analyses of Self-focusing Phenomenon and Temperature Rise in Light Absorption Medium by Ultrashort Pulse Laser Irradiation2013

    • 著者名/発表者名
      Etsuji Ohmura
    • 学会等名
      WCAM-2013
    • 発表場所
      Suzhou, China
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Experimental Verification of Self-Focusing Phenomena in Transparent Materials by Ultrashort Pulse Laser and Application to Internal Processing2013

    • 著者名/発表者名
      Etsuji Ohmura
    • 学会等名
      ACE-X 2013
    • 発表場所
      Madrid, Spain
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Suitable Processing Conditions Determined from the Standpoint of Residual Strain in Laser Scribing of Glass2012

    • 著者名/発表者名
      Keisuke YAHATA, Etsuji OHMURA, Seiji SHIMIZU and Masanao MURAKAMI
    • 学会等名
      The 31nd International Congress on Application of Laser and Electro-Optics 2012 (ICALEO 2012)
    • 発表場所
      Anaheim
    • 年月日
      2012-09-25
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Analyses of Self-Focusing Phenomenon and Temperature Rise in Light Absorption Medium By Ultrashort Pulse Laser Irradiation2012

    • 著者名/発表者名
      Etsuji Ohmura
    • 学会等名
      6th International Conference on Advanced Computational Engineering and Experimenting (ACE-X 2012)
    • 発表場所
      Istanbul
    • 年月日
      2012-07-02
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Boundary Element Analysis of Crack Propagation in Laser Scribing of Glass2012

    • 著者名/発表者名
      Keisuke Yahata, Etsuji Ohmura, Seiji Shimizu and Masanao Murakami
    • 学会等名
      The 13th International Symposium on Laser Precision Microfabrication (LPM2012)
    • 発表場所
      Wasington DC
    • 年月日
      2012-06-13
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Suitable Processing Conditions Determined from the Standpoint of Residual Strain in Laser Scribing of Glass2012

    • 著者名/発表者名
      K. Yahata
    • 学会等名
      ICALEO 2012
    • 発表場所
      Anaheim, USA
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Analyses of Self-Focusing Phenomenon and Temperature Rise in Fused Silica by Ultrashort Pulse Laser Irra-diation2012

    • 著者名/発表者名
      Etsuji Ohmura
    • 学会等名
      ACE-X 2012
    • 発表場所
      Istanbul, Turkey
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Boundary Element Analysis of Crack Propagation in Laser Scribing of Glass2012

    • 著者名/発表者名
      K. Yahata
    • 学会等名
      LPM 2012
    • 発表場所
      Washingotn DC, USA
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書

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公開日: 2013-05-15   更新日: 2019-07-29  

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