| 研究課題/領域番号 |
23246038
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| 研究種目 |
基盤研究(A)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
機械力学・制御
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
高木 敏行 東北大学, 流体科学研究所, 教授 (20197065)
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| 研究分担者 |
三木 寛之 東北大学, 学際科学フロンティア研究所, 准教授 (80325943)
竹野 貴法 東北大学, 工学研究科, 助教 (00451617)
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| 連携研究者 |
松本 康司 独立行政法人宇宙航空研究開発機構, 総合技術研究本部, 主任研究員 (10470072)
伊藤 耕祐 日本大学, 工学部, 准教授 (40420004)
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| 研究期間 (年度) |
2011-04-01 – 2015-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2014年度)
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| 配分額 *注記 |
47,580千円 (直接経費: 36,600千円、間接経費: 10,980千円)
2014年度: 4,810千円 (直接経費: 3,700千円、間接経費: 1,110千円)
2013年度: 5,200千円 (直接経費: 4,000千円、間接経費: 1,200千円)
2012年度: 16,770千円 (直接経費: 12,900千円、間接経費: 3,870千円)
2011年度: 20,800千円 (直接経費: 16,000千円、間接経費: 4,800千円)
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| キーワード | 導電性硬質炭素膜 / 先端機能デバイス / 機能性コーティング / モニタリング |
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| 研究成果の概要 |
本研究では、導電性硬質炭素膜の電気的特性、機械的特性、膜組織構造の繰り返し曲げに伴う経時変化を系統的に評価した。
はじめに、導電性硬質炭素膜の電気的特性への繰り返し曲げの影響と膜の疲労感受性を明らかにした。次に、振動前後における膜の微細構造を観察し、導電性硬質炭素膜の構造特性を詳述した。
その結果、導電性硬質炭素膜の疲労過程を非破壊的な手法で定量化することに成功し、金属を含む非晶質炭素膜の疲労センサとしての有用性を示すことが出来た。
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