| 研究課題/領域番号 |
23246065
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| 研究種目 |
基盤研究(A)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
電子デバイス・電子機器
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| 研究機関 | 静岡大学 |
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研究代表者 |
三村 秀典 静岡大学, 電子工学研究所, 教授 (90144055)
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| 研究分担者 |
根尾 陽一郎 静岡大学, 電子工学研究所, 准教授 (50312674)
長尾 正善 (長尾 昌善) 独立行政法人産業技術総合研究所, 研究員 (80357607)
吉田 知也 独立行政法人産業技術総合研究所, 研究員 (80462844)
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| 研究期間 (年度) |
2011-04-01 – 2014-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2013年度)
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| 配分額 *注記 |
48,230千円 (直接経費: 37,100千円、間接経費: 11,130千円)
2013年度: 14,560千円 (直接経費: 11,200千円、間接経費: 3,360千円)
2012年度: 16,380千円 (直接経費: 12,600千円、間接経費: 3,780千円)
2011年度: 17,290千円 (直接経費: 13,300千円、間接経費: 3,990千円)
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| キーワード | 多段ゲート微小電子源 / マイクロカラム / 電子ビーム / ビーム収束 / 収差 / 電子銃 / 静電レンズ / 多段ゲート電界放出電子源 / ビーム集束 |
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| 研究概要 |
多段ゲート電界放出微小電子源を用いて電子顕微鏡に利用できるマイクロカラムを開発した。マイクロカラムを設計し、実際に製作し、そのビーム特性を測定した。その結果、ほぼ設計通りの機能を持つマイクロカラムを製作できた。しかし、試作したマイクロカラムを電子顕微鏡に応用するには、エミッタティップから放出される電子ビームの初期角度をさらに狭くする必要があることがわかった。そこで、ウエネルト電極の効果を調べた。その結果、開発したマイクロカラムにウエネルト電極を導入することにより、電子顕微鏡等に利用できるマイクロカラムを実現できることがわかった。
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