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広帯域・高周波ナノ複相構造薄膜の創製と複機能融合物性の解明

研究課題

研究課題/領域番号 23246118
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 構造・機能材料
研究機関東北大学

研究代表者

増本 博  東北大学, 国際高等研究教育機構, 教授 (50209459)

研究分担者 牧野 彰宏  東北大学, 金属材料研究所, 教授 (30315642)
小林 伸聖  公益財団法人電磁材料研究所, 電磁気材料グループ, 主席研究員 (70205475)
横井 敦史  公益財団法人電磁材料研究所, 電磁気材料グループ, 研究員 (60513760)
張 亦文  東北大学, 学際科学国際高等研究センター, 教育研究支援者 (30579959)
連携研究者 大沼 繁弘  公益財団法人電磁材料研究所, 素形材開発グループ, 主席研究員 (50142633)
研究期間 (年度) 2011-04-01 – 2014-03-31
研究課題ステータス 完了 (2013年度)
配分額 *注記
48,360千円 (直接経費: 37,200千円、間接経費: 11,160千円)
2013年度: 7,020千円 (直接経費: 5,400千円、間接経費: 1,620千円)
2012年度: 15,080千円 (直接経費: 11,600千円、間接経費: 3,480千円)
2011年度: 26,260千円 (直接経費: 20,200千円、間接経費: 6,060千円)
キーワードナノ複相構造 / 複機能融合物性 / 磁性体 / 誘電体 / 薄膜
研究概要

次期デバイスのさらなる高集積化、高機能複合化、低エネルギー・省エネルギー化へ向けて、広帯域・高周波で応答する磁気-誘電等の複合機能性を有する、新たな薄膜材料の開発が必要とされてきている。
本研究では、新しく開発したスパッタリング法を用いた複合構造制御により、セラミックスマトリクス中に磁性ナノ金属粒子が分散した構造を持つナノ複相構造薄膜を作製した。全方向で使用することが可能な高周波軟磁性材料、優れた耐熱性をもつ広帯域・高周波電磁波シールド薄膜材料、磁場により高周波帯域で電気特性が変化する複機能融合材料などを創製した。

報告書

(4件)
  • 2013 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2012 実績報告書
  • 2011 実績報告書
  • 研究成果

    (56件)

すべて 2014 2013 2012 2011

すべて 雑誌論文 (12件) (うち査読あり 12件) 学会発表 (44件)

  • [雑誌論文] High frequency magnetoimpedance effects in (Co-Ti-O)/Bi-Ti-O multilayer films2013

    • 著者名/発表者名
      H.Kijima, Y.Zhang, N.Kobayashi, S.Ohnuma, P.Muralt, N.Setter and H.Masumoto
    • 雑誌名

      2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium

      巻: 8 ページ: 56-58

    • DOI

      10.1109/isaf.2013.6748674

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書 2013 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Ba_2NaNb_5O_<15> thin film formed by electron cyclotron resonance plasma sputtering2013

    • 著者名/発表者名
      A.Watazu and H.Masumoto
    • 雑誌名

      Journal of Physics

      巻: 417 ページ: 12066-12066

    • DOI

      10.1088/1742-6596/417/1/012066

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書 2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Structure and high-frequency soft-magnetic properties of Co&ndash;TiN nano-composite films2013

    • 著者名/発表者名
      Y.Zhang, H.Kijima, N.Kobayashi, S.Ohnuma, H.Masumoto
    • 雑誌名

      Journal of the Ceramic Society of Japan

      巻: 121 号: 1409 ページ: 36-39

    • DOI

      10.2109/jcersj2.121.36

    • NAID

      130004950785

    • ISSN
      1348-6535, 1882-0743
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書 2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] (Co-Ti-O)/Bi-Ti-O Multilayer Films with High-Frequency Electromagnetic Response2013

    • 著者名/発表者名
      H.Kijima, Y.Zhang, N.Kobayashi, S.Ohnuma, P.Muralt, N.Setter, and H.Masumoto
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 52 号: 9S1 ページ: 09KA14-09KA14

    • DOI

      10.7567/jjap.52.09ka14

    • NAID

      210000142830

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書 2013 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 高異方性磁界と高比抵抗を兼ね備えるCoPd-CaF2ナノグラニュラー軟磁性膜の基礎検討2013

    • 著者名/発表者名
      直江正幸、大沼繁弘、小林伸聖、岩佐忠義、石田今朝男、荒井賢一、増本博
    • 雑誌名

      電気学会マグネティックス研究会

      巻: MAG-13

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] FMR周波数がSHF帯に及ぶ高電気抵抗CoFePd‐CaF2ナノグラニュラー軟磁性薄膜の作製2013

    • 著者名/発表者名
      直江正幸、大沼繁弘、小林伸聖、岩佐忠義、石田今朝男、荒井賢一、増本博
    • 雑誌名

      電気学会マグネティックス研究会

      巻: MAG-13

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] タンデム法で作製したナノグラニュラー軟磁性薄膜の異方性の要因2013

    • 著者名/発表者名
      直江 正幸,大沼 繁弘,小林 伸聖,岩佐 忠義,石田 今朝男,荒井 賢一,増本 博
    • 雑誌名

      電気学会マグネティックス研究会

      巻: MAG-13

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effect of Perpendicular Magnetic Anisotropy on the High Frequency Soft Magnetic Properties of Co-Al-N Films2012

    • 著者名/発表者名
      H.Kijima, S.Ohnuma and H.Masumoto
    • 雑誌名

      Journal of the Magnetics Society of Japan

      巻: 36 号: 4 ページ: 287-292

    • DOI

      10.3379/msjmag.1206R007

    • NAID

      130004502820

    • ISSN
      1882-2924, 1882-2932
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書 2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] High Frequency Soft Magnetic Performance on Magnetically Isotropic Co-Al-N Films in External Bias Field2012

    • 著者名/発表者名
      H.Kijima, Y.Zhang, N.Kobayashi, S.Ohnuma and H.Masumoto
    • 雑誌名

      IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS

      巻: 48 号: 11 ページ: 2910-2913

    • DOI

      10.1109/tmag.2012.2196683

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書 2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Properties and Structure of High Frequency Soft Magnetic Nano-composite Films2011

    • 著者名/発表者名
      S.Ohnuma and H.Masumoto
    • 雑誌名

      J. of Magnetics

      巻: 16 号: 4 ページ: 403-407

    • DOI

      10.4283/jmag.2011.16.4.403

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Soft Magnetic Co-(TiN)Composite Films Realized within a Wide-Range of Cobalt Content2011

    • 著者名/発表者名
      Yiwen Zhang, Shigehiro Ohnuma and Hiroshi Masumoto
    • 雑誌名

      IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS

      巻: Vol.47 号: 10 ページ: 3795-3798

    • DOI

      10.1109/tmag.2011.2156763

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書 2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] High-Frequency Soft Magnetic Properties of Isotropic Co-Al-N Films2011

    • 著者名/発表者名
      H.Kijima, S.Ohnuma and H.Masumoto
    • 雑誌名

      IEEE Trans. on Magnetics

      巻: 47 号: 10 ページ: 3928-3931

    • DOI

      10.1109/tmag.2011.2154302

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書 2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] MgF_2-Co 系ナノ複相薄膜の作製と磁気特性2014

    • 著者名/発表者名
      増本博, 加藤茉奈弥, 張亦文, 小林伸聖, 大沼繁弘
    • 学会等名
      日本セラミックス協会2014年会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2014-03-17
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] CoPd-CaF2ナノグラニュラー軟磁性膜の磁気特性とナノ構造との関係2014

    • 著者名/発表者名
      直江正幸、大沼繁弘、小林伸聖、岩佐忠義、荒井賢一、増本 博、山上朋彦、橋本佳男、村上祐貴彦、枦 修一郎、石山和志
    • 学会等名
      平成26年度電気学会全国大会
    • 発表場所
      愛媛大学
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] MgF2-Co系ナノ複相薄膜の作製と磁気特性2014

    • 著者名/発表者名
      増本博・加藤茉奈弥・張亦文・小林伸聖・大沼繁弘
    • 学会等名
      日本セラミックス協会2014年年会
    • 発表場所
      慶応大学
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Soft Magnetic Properties of CoPd-SrTiO3 Nano-composite Films Deposited by Tandem Sputtering Method2014

    • 著者名/発表者名
      Y. Zhang・H. Kijima・H. Masumoto・.N. Kobayashi・S. Ohnuma
    • 学会等名
      日本セラミックス協会2014年年会
    • 発表場所
      慶応大学
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] タンデム法によるCoPd-SrTiO3薄膜の構造と磁気特性2014

    • 著者名/発表者名
      張亦文, 福士翔祐, 大沼繁弘, 増本博
    • 学会等名
      日本金属学会2014年春期大会
    • 発表場所
      東京工業大学
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] (Co, CoTiO_2) -Bi_4Ti_3O_<12> 積層膜の高周波磁気インピーダンス効果2013

    • 著者名/発表者名
      木嶌英恵,張亦文,小林伸聖,大沼繁弘,P.Muralt,N.Setter,増本博
    • 学会等名
      第37回日本磁気学会学術講演会
    • 発表場所
      北海道
    • 年月日
      2013-09-03
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] High frequency magnetoimpedance effects in (Co-Ti-O)/Bi-Ti-O multilayer films2013

    • 著者名/発表者名
      H.Kijima, S.Ohnuma, Y.Zhang, N.Kobayashi, P.Muralt, N.Setter and H.Masumoto
    • 学会等名
      2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium, ISAF-SPC10
    • 発表場所
      チェコPrague
    • 年月日
      2013-07-21
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] CoTiO_2-Bi_4Ti_3O_<12> 積層膜の高周波電気-磁気応答性2013

    • 著者名/発表者名
      木嶌英恵, 張亦文, 小林伸聖, 大沼繁弘, Paul Muralt, Nava Setter, 増本博
    • 学会等名
      強誘電体応用会議
    • 発表場所
      京都
    • 年月日
      2013-05-22
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Nano-granular Soft Magnetic Thin Films Having Both Ultra-high Resistivity and Magnetization more2013

    • 著者名/発表者名
      M. Naoe, N. Kobayashi, S. Ohnuma, T. Iwasa, K. Ishida, H. Masumoto, K. Arai
    • 学会等名
      11th International Conference on Ferrites
    • 発表場所
      那覇市
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] CoTiO2-Bi4Ti3O12積層膜の高周波電気-磁気応答性2013

    • 著者名/発表者名
      木嶌英恵, 張亦文, 小林伸聖, 大沼繁弘, Paul Muralt, Nava Setter, 増本博
    • 学会等名
      強誘電体応用会議
    • 発表場所
      京都
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] FMR周波数がSHF帯に及ぶ高電気抵抗CoFePd-CaF2ナノグラニュラー軟磁性薄膜の作製2013

    • 著者名/発表者名
      直江 正幸,大沼 繁弘,小林 伸聖,岩佐 忠義,石田 今朝男,荒井 賢一,増本 博
    • 学会等名
      電気学会マグネティックス研究会
    • 発表場所
      松島町
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] 高異方性磁界と高比抵抗を兼ね備えるCoPd-CaF2ナノグラニュラー軟磁性膜の基礎検討2013

    • 著者名/発表者名
      直江 正幸,大沼 繁弘,小林 伸聖,岩佐 忠義,石田 今朝男,荒井 賢一,増本 博
    • 学会等名
      電気学会マグネティックス研究会
    • 発表場所
      松島町
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] High frequency magneto-impedance effects in (Co-Ti-O)/Bi-Ti-O multilayer films2013

    • 著者名/発表者名
      16. H. Kijima, S. Ohnuma, Y. Zhang, N. Kobayashi, P. Muralt, N. Setter and H. Masumoto
    • 学会等名
      2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium, ISAF-SPC10
    • 発表場所
      プラハ、チェコ
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] 超高電気抵抗率を有するフッ化物系ナノグラニュラー強磁性薄膜2013

    • 著者名/発表者名
      小林 伸聖,直江 正幸,岩佐 忠義,石田 今朝男,増本 博
    • 学会等名
      電気学会マグネティックス研究会
    • 発表場所
      名古屋市
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] タンデム法で作製したCo(Fe)Pd-CaF2ナノグラニュラー軟磁性膜の巨大異方性磁2013

    • 著者名/発表者名
      直江 正幸,小林 伸聖,大沼 繁弘,岩佐 忠義,石田 今朝男,増本 博,金田 安司,荒井 賢一
    • 学会等名
      第37回 日本磁気学会学術講演会
    • 発表場所
      北海道
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] (Co,CoTiO2)-Bi4Ti3O12積層膜の高周波磁気インピーダンス効果2013

    • 著者名/発表者名
      木嶌英恵,張 亦文,小林伸聖,大沼繁弘,P. Muralt,N. Setter,増本 博
    • 学会等名
      第37回 日本磁気学会学術講演会
    • 発表場所
      北海道
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Magnetic Property and Thermal Stability of CoPd-SrTiO3 Nano-composite Films2013

    • 著者名/発表者名
      Y. Zhang, S. Fukushi, H. Kijima, N. Kobayashi, S. Ohnuma and H. Masumoto
    • 学会等名
      日本セラミックス協会第26回秋季シンポジウム
    • 発表場所
      長野市
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Soft-magnetic Properties of Co-Pd-SrTiO3 Nano-composite Films2013

    • 著者名/発表者名
      Y. Zhang, S. Fukushi, H. Kijima, N. Kobayashi, S. Ohnuma and H. Masumoto
    • 学会等名
      日本金属学会2013年秋期大会
    • 発表場所
      金沢市
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] 高電気抵抗率を有するMgF2-Co薄膜の作製とその特性2013

    • 著者名/発表者名
      加藤 茉奈弥、張 亦文、小林 伸聖、大沼 繁弘、増本 博
    • 学会等名
      平成25年度日本セラミックス協会東北北海道支部研究発表会
    • 発表場所
      長岡市
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] タンデム法で作製したナノグラニュラー軟磁性薄膜の異方性の要因2013

    • 著者名/発表者名
      直江 正幸,大沼 繁弘,小林 伸聖,岩佐 忠義,石田 今朝男,荒井 賢一,増本 博
    • 学会等名
      電気学会マグネティックス研究会
    • 発表場所
      信州大学
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Structure and Soft-magnetic Properties of Co-TiN Nano-composite Films2013

    • 著者名/発表者名
      Yiwen Zhang・Hanae Kijima・Nobukiyo Kobayashi・Shigehiro Ohnuma・Hiroshi Masumoto
    • 学会等名
      第51回セラミックス基礎科学討論会
    • 発表場所
      仙台
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] CoPd-SrTiO3 系ナノ複相薄膜の作製と磁気特性2013

    • 著者名/発表者名
      増本博・福士翔祐・張亦文・小林伸聖・大沼繁弘
    • 学会等名
      日本セラミックス協会2013年年会
    • 発表場所
      東京
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] 超高電気抵抗FeCo-CaF ナノグラニュラー膜の磁気特性2013

    • 著者名/発表者名
      小林 伸聖、岩佐 忠義、石田 今朝男、直江 正幸、大沼 繁弘、増本 博、荒井 賢一
    • 学会等名
      日本金属学会2013年春期大会
    • 発表場所
      東京
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] 高異方性CoPd-CaF2ナノグラニュラー軟磁性薄膜の磁気特性と電気抵抗率2013

    • 著者名/発表者名
      直江 正幸、大沼 繁弘、小林 伸聖、岩佐 忠義、石田 今朝男、荒井 賢一、増本 博
    • 学会等名
      日本金属学会2013年春期大会
    • 発表場所
      東京
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] High Frequency Soft Magnetic Performance on Magnetically Isotropic Co-Al-N Films in External Bias Field2012

    • 著者名/発表者名
      H.Kijima, Y.Zhang, N.Kobayashi, S.Ohnuma and H.Masumoto
    • 学会等名
      IEEE International Magnetics Conference
    • 発表場所
      カナダVancouver
    • 年月日
      2012-05-07
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Integrated functional thin films by interface control2012

    • 著者名/発表者名
      H.Masumoto
    • 学会等名
      Progress and Innovation of Smart Materials and Related Technology 2012
    • 発表場所
      Hirosaki
    • 年月日
      2012-04-24
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書 2012 実績報告書
  • [学会発表] Effects of magnetic field annealing on ferromagnetic resonance frequency of Co-TiN nanocomposite films2012

    • 著者名/発表者名
      Y.Zhang, H.Kijima, N.Kobayashi, S.Ohnuma, H.Masumoto
    • 学会等名
      Progress and Innovation of Smart Materials and Related Technology 2012
    • 発表場所
      Hirosaki
    • 年月日
      2012-04-24
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] FeCo-MgF ナノ粒子複合膜の誘電特性2012

    • 著者名/発表者名
      小林信聖, 岩佐忠義, 石田今朝男, 横井敦史, 大沼繁弘, 増本博
    • 学会等名
      日本金属学会2012年春期大会
    • 発表場所
      横浜
    • 年月日
      2012-03-29
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] High-frequency Magnetic Loss Effect of Co-TiN Nano-composite2012

    • 著者名/発表者名
      張亦文、木嶌英恵、小林伸聖、大沼繁弘、増本博
    • 学会等名
      日本金属学会2012年春期大会
    • 発表場所
      横浜
    • 年月日
      2012-03-07
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] FeCo-MgFナノ粒子複合膜の誘電特性2012

    • 著者名/発表者名
      小林信聖、岩佐忠義、石田今朝男、横井敦史、大沼繁弘、増本博
    • 学会等名
      日本金属学会2012年春期大会
    • 発表場所
      横浜
    • 年月日
      2012-03-07
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Effects of magnetic field annealing on ferromagnetic resonance frequency of Co-TiN nano-composite films2012

    • 著者名/発表者名
      Y.W. Zhang, H. Kijima, N. Kobayashi, S. Ohnuma, H. Masumoto
    • 学会等名
      Progress and Innovation of Smart Materials and Related Technology 2012
    • 発表場所
      Hirosaki
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] High frequency soft magnetic performance on Co-Al-N films2012

    • 著者名/発表者名
      H. Kijima, Y.W. Zhang, N. Kobayashi, S. Ohnuma, H. Masumoto
    • 学会等名
      Progress and Innovation of Smart Materials and Related Technology 2012
    • 発表場所
      Hirosaki
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] High Frequency Soft Magnetic Performance on Magnetically Isotropic Co-Al-N Films in External Bias Field2012

    • 著者名/発表者名
      H. Kijima, Y. Zhang, N. Kobayashi, S. Ohnuma and H. Masumoto
    • 学会等名
      IEEE International Magnetics Conference
    • 発表場所
      Vancouver, Canada
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Ferromagnetic Properties of Co-Pd-SrTiO3 Alloy Films with High Magnetic Anisotropy2012

    • 著者名/発表者名
      Yiwen Zhang, Syousuke Fukushi, Hanae Kijima, Nobukiyo Kobayashi, Atsushi Yokoi, Shigehiro Ohnuma and Hiroshi Masumoto
    • 学会等名
      The 19th International Conference on Magnetism with SCES
    • 発表場所
      Seoul, Korea
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] CoPd-SrTiO3 系ナノ複相薄膜の構造と磁気特性2012

    • 著者名/発表者名
      福士 翔祐、張 亦文、木大沼 繁弘、増本 博
    • 学会等名
      日本金属学会2012年秋期大会
    • 発表場所
      愛媛
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] High-frequency soft-magnetic property of Co-TiN nano-composite films2012

    • 著者名/発表者名
      Yiwen Zhang・Hanae Kijima・Hiroshi Masumoto・Nobukiyo Kobayashi・Shigehiro Ohnuma
    • 学会等名
      日本セラミックス協会第25回秋季シンポジウム
    • 発表場所
      名古屋
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] High-frequency Soft-magnetic Properties and Magnetic Loss Absorption of Co-TiN Nano-composite Films2012

    • 著者名/発表者名
      Yiwen Zhang, Hanae Kijima, Hiroshi Masumoto, Nobukiyo Kobayashi and Shigehiro Ohnuma
    • 学会等名
      The Fifth China-Korea-Japan Joint Workshop on Advanced Inorganic Materials
    • 発表場所
      Shanghai, China
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Integrated functional materials by interface control2011

    • 著者名/発表者名
      H.Masumoto
    • 学会等名
      The 2nd Joint workshop on Advanced Materials Research & Application
    • 発表場所
      中国,Dalian
    • 年月日
      2011-11-24
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Ba_2NaNb_5O_<15> Thin Film Formed by Electron Cyclotron Resonance Plasma Sputtering2011

    • 著者名/発表者名
      A.Watadu, H.Masumoto
    • 学会等名
      15th International Conference on Thin Films
    • 発表場所
      日本、Kyoto
    • 年月日
      2011-11-10
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 垂直磁気異方性を有するCo-AlN高周波軟磁性膜の静磁界中熱処理の影響2011

    • 著者名/発表者名
      木嶌英恵、張亦文、小林伸聖、大沼繁弘、増本博
    • 学会等名
      日本金属学会2011年秋期大会
    • 発表場所
      沖縄
    • 年月日
      2011-11-07
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Thermal stability and magnetic damping effect of soft magnetic Co-TiN nano-composite films2011

    • 著者名/発表者名
      張亦文、木嶌英恵、小林伸聖、大沼繁弘、増本博
    • 学会等名
      日本金属学会2011年秋期大会
    • 発表場所
      沖縄
    • 年月日
      2011-11-07
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] New functional materials by interface control2011

    • 著者名/発表者名
      H.Masumoto
    • 学会等名
      Functional Materials Workshop at CUG
    • 発表場所
      中国,Wuhan
    • 年月日
      2011-11-03
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Soft-magnetic Co-TiN composite films realized within a wide-range of Cobalt content2011

    • 著者名/発表者名
      Y.Zhang, S.Ohnuma, H.Masumoto
    • 学会等名
      IEEE Intermational Magnetics Conference
    • 発表場所
      台湾,Taipei
    • 年月日
      2011-04-28
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] High frequency soft magnetic properties of magnetically isotropic Co-Al-N film2011

    • 著者名/発表者名
      H.Kijima, S.Ohnuma, H.Masumoto
    • 学会等名
      IEEE Intermational Magnetics Conference
    • 発表場所
      台湾,Taipei
    • 年月日
      2011-04-28
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書

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公開日: 2011-04-06   更新日: 2019-07-29  

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