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大気中常温接合の新手法

研究課題

研究課題/領域番号 23246125
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 材料加工・処理
研究機関東京大学

研究代表者

須賀 唯知  東京大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (40175401)

研究分担者 島津 武仁  東北大学, 学際科学フロンティア研究所, 教授 (50206182)
日暮 栄治 (日暮 英治)  東京大学, 先端科学技術研究センター, 准教授 (60372405)
研究期間 (年度) 2011-04-01 – 2014-03-31
研究課題ステータス 完了 (2013年度)
配分額 *注記
47,580千円 (直接経費: 36,600千円、間接経費: 10,980千円)
2013年度: 8,580千円 (直接経費: 6,600千円、間接経費: 1,980千円)
2012年度: 29,640千円 (直接経費: 22,800千円、間接経費: 6,840千円)
2011年度: 9,360千円 (直接経費: 7,200千円、間接経費: 2,160千円)
キーワード接合 / 実装 / 集積化 / 常温接合 / 表面活性化
研究概要

本研究は、我国が先行する常温接合を世界に先駆けて実用化・量産化に結びつけるための新しい視点として、大気中での常温接合を実現することを目的としている。
そのため、従来の常温接合の基礎技術を体系化し、Arイオン衝撃とSiのナノ密着層の組み合わせ、原子拡散接合、大気圧プラズマ照射、水素ラジカル処理などの新しいプロセス、およびその複合プロセスを提案した。
またこの過程で、当初予定していなかったSi-Feナノ密着層を適用することで、ポリマーとガラスや、SiCなどの接合が可能であることが判明した。これらの結果を応用し、光マイクロシステムの集積化やデバイス封止技術へ適用可能であることを示した。

報告書

(4件)
  • 2013 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2012 実績報告書
  • 2011 実績報告書
  • 研究成果

    (106件)

すべて 2014 2013 2012 2011 その他

すべて 雑誌論文 (39件) (うち査読あり 18件) 学会発表 (64件) 図書 (2件) 産業財産権 (1件)

  • [雑誌論文] Au薄膜を用いた大気中のウエハ室温接合における大気暴露時間と接合性能2014

    • 著者名/発表者名
      今一恵,魚本幸,島津武仁
    • 雑誌名

      エレクトロニクス実装学会誌

      巻: vol.17 (in press)

    • NAID

      40020180227

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [雑誌論文] 高機能光マイクロシステム・センサを実現する低温接合技術2014

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治
    • 雑誌名

      電子情報通信学会2014年総合大会講演論文集

      巻: なし

    • NAID

      130003385019

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [雑誌論文] Miniaturized polarization sensors integrated with wire-grid polarizers2014

    • 著者名/発表者名
      山本道貴、日暮栄治、須賀唯知、澤田廉士
    • 雑誌名

      Proceeding of 2014 International Conference on Electronics Packaging (ICEP)

      巻: なし ページ: 376-379

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [雑誌論文] 原子拡散接合法を用いたウエハの室温接合とデバイス応用2013

    • 著者名/発表者名
      島津武仁,魚本幸
    • 雑誌名

      精密工学会誌(解説)

      巻: vol.79 ページ: 710-713

    • NAID

      130003385017

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [雑誌論文] 低温接合技術に基づく異種材料集積技術と三次元構造光マイクロシステムへの応用2013

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治、澤田廉士、須賀唯知
    • 雑誌名

      光技術コンタクト

      巻: 51 ページ: 24-31

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [雑誌論文] 総論―低温接合技術とその応用2013

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治
    • 雑誌名

      OPTRONICS

      巻: 32 ページ: 72-77

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [雑誌論文] 高機能光マイクロシステム・センサを実現する低温接合技術2013

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治、須賀唯知、澤田廉士
    • 雑誌名

      精密工学会誌

      巻: 79 ページ: 719-724

    • NAID

      130003385019

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [雑誌論文] シリコン/ゲルマニウム常温接合界面の特性評価2013

    • 著者名/発表者名
      佐々木優太・日暮栄治・須賀唯知
    • 雑誌名

      2013年度精密工学春季大会学術講演会講演論文集

      巻: なし ページ: 159-160

    • NAID

      130005031647

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [雑誌論文] ワイヤグリッド偏光子を集積した小型偏光センサ2013

    • 著者名/発表者名
      山本道貴、日暮栄治、北島和典、須賀唯知、小口寿明
    • 雑誌名

      第23回マイクロエレクトロニクスシンポジウム(MES 2013)

      巻: なし ページ: 65-68

    • NAID

      130007887274

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [雑誌論文] 窒素大気圧プラズで活性化したAuバンプによる半導体レーザ素子の低温接合2013

    • 著者名/発表者名
      山本道貴、日暮栄治、須賀唯知、澤田廉士
    • 雑誌名

      第5回「集積化MEMSシンポジウム」(応用物理学会集積化MEMS技術研究会主催)

      巻: なし ページ: 1-4

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [雑誌論文] 大気圧プラズマを用いた低温固相接合による偏光検出器の開発2013

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治、北島和典、山本道貴、須賀唯知、小口寿明
    • 雑誌名

      2013年度精密工学秋季大会学術講演会講演論文集

      巻: なし ページ: 515-516

    • NAID

      130004661274

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [雑誌論文] 低温接合技術で作製したワイヤグリッド偏光子集積型偏光センサ2013

    • 著者名/発表者名
      池田颯、日暮栄治、須賀唯知、小口寿明
    • 雑誌名

      第28回エレクトロニクス実装学会春季講演大会講演論文集

      巻: なし ページ: 277-278

    • NAID

      130007430015

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [雑誌論文] 低温接合技術に基づく異種材料集積技術とフォトニクス応用2013

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治
    • 雑誌名

      第28回エレクトロニクス実装学会春季講演大会講演論文集

      巻: なし ページ: 360-361

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [雑誌論文] Au薄膜を用いた大気中のウエハ室温接合における大気暴露時間と接合性能2013

    • 著者名/発表者名
      今 一恵,魚本 幸,島津武仁
    • 雑誌名

      第27回 エレクトロニクス実装学会春季講演大会 発表論文集

      巻: なし ページ: 266-268

    • NAID

      40020180227

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [雑誌論文] Low-Temperature Bonding Technologies for Photonics Applications2013

    • 著者名/発表者名
      Eiji Higurashi
    • 雑誌名

      ECS Transactions, Semiconductor Wafer Bonding 12: Science, Technology, and Applications

      巻: vol.50, no. 7 ページ: 351-362

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Surface Activated Bonding of Laser Diode Chips Using N2 Atmospheric-Pressure Plasma2013

    • 著者名/発表者名
      Michitaka Yamamoto, Eiji Higurashi, Tadatomo Suga, and Renshi Sawada
    • 雑誌名

      Proceedings of International Conference on Electronics Packaging (ICEP 2013)

      巻: なし ページ: 60-63

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Room-Temperature Direct Bonding of GaAs and SiC Wafers for Improved Heat Dissipation in High-Power Semiconductor Lasers2013

    • 著者名/発表者名
      Eiji Higurashi, Kaori Nakasuji, and Tadatomo Suga
    • 雑誌名

      Proceedings of International Conference on Electronics Packaging (ICEP 2013)

      巻: なし ページ: 350-354

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 大気圧プラズマで活性化したAuスタッドバンプによる半導体光素子の低温接合と光マイクロセンサ応用2013

    • 著者名/発表者名
      山本道貴、日暮栄治、須賀唯知、澤田廉士
    • 雑誌名

      Proceedings of 19th Symposium on “Microjoining and Assembly Technology in electronics”

      巻: なし ページ: 425-430

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [雑誌論文] GaAs/SiC常温直接ウェハ接合を用いた高出力レーザの高放熱構造に関する研究2013

    • 著者名/発表者名
      中筋香織、日暮栄治、須賀唯知
    • 雑誌名

      第27回エレクトロニクス実装学会春季講演大会論文集

      巻: なし ページ: 252-253

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [雑誌論文] N2大気圧プラズマによる表面活性化を用いた光素子の低温接合2013

    • 著者名/発表者名
      山本道貴、日暮栄治、須賀唯知、澤田廉士
    • 雑誌名

      2013年度精密工学春季大会学術講演会講演論文集

      巻: なし ページ: 161-162

    • NAID

      130005031648

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [雑誌論文]2012

    • 著者名/発表者名
      E.Higurashi, T.Fukunaga, and T.Suga
    • 雑誌名

      IEEE Journal of Quantum Electronics

      巻: vol.48, no.2 ページ: 182-186

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文]2012

    • 著者名/発表者名
      S.Yamamoto, E.Higurashi, T.Suga, and R.Sawada, J.Micromech
    • 雑誌名

      Microeng

      巻: vol.22, no.5 ページ: 55026-55026

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Investigation of fluorine containing plasma activation for room-temperature bonding of Si-based materials2012

    • 著者名/発表者名
      Wang, Chenxi; Suga, Tadatomo
    • 雑誌名

      Microelectronics Reliability

      巻: Volume: 52 Issue: 2 ページ: 347-351

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Nanoadhesion layer for enhanced Si-Si and Si-SiN wafer bonding2012

    • 著者名/発表者名
      Kondou, Ryuichi; Wang, Chenxi; Shigetou, Akitsu; et al.
    • 雑誌名

      Microelectronics Reliability

      巻: Volume: 52 Issue: 2 ページ: 342-346

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Vapor-Assisted Surface Activation Method for Homo- and Heterogeneous Bonding of Cu, SiO2, and Polyimide at 150 degrees C and Atmospheric Pressure2012

    • 著者名/発表者名
      Shigetou, Akitsu; Suga, Tadatomo
    • 雑誌名

      Journal of Electronic Materials

      巻: Volume: 41 Issue: 8 ページ: 2274-2280

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Atomic diffusion bonding of wafers in air with thin Au films and its application to optical devices fabrication2012

    • 著者名/発表者名
      T. Shimatsu, M. Uomoto, K. Oba, and Y. Furukata
    • 雑誌名

      Proceedings of 3rd IEEE International Workshop on Low Temperature Bondig for 3D Integration

      巻: なし ページ: 103-103

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Atomic diffusion bonding with thin nanocrystalline metal films in vacuum and in an inert gas2012

    • 著者名/発表者名
      T. Shimatsu, and M. Uomoto
    • 雑誌名

      Proceedings of 3rd IEEE International Workshop on Low Temperature Bondig for 3D Integration

      巻: なし ページ: 155-155

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Low-temperature bonding of laser diode chips using atmospheric-pressure plasma activation of flat topped Au stud bumps with smooth surfaces2012

    • 著者名/発表者名
      Michitaka Yamamoto, Takeshi Sato, Eiji Higurashi, Tadatomo Suga, and Renshi Sawada
    • 雑誌名

      Proceedings of IEEE CPMT (Components, Packaging, and Manufacturing Technology) Symposium Japan

      巻: なし ページ: 35-38

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 大気圧プラズマで活性化したAuスタッドバンプによる半導体レーザ素子の低温接合2012

    • 著者名/発表者名
      山本道貴,佐藤丈史,日暮栄治,須賀唯知,澤田廉士
    • 雑誌名

      2012年度精密工学秋季大会学術講演会講演論文集

      巻: なし ページ: 759-760

    • NAID

      130004660912

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [雑誌論文] 低温接合技術と高機能センサへの応用2012

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治
    • 雑誌名

      第196回有機エレクトロニクス材料研究会講演要旨集

      巻: なし ページ: 1-8

    • NAID

      10030922078

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [雑誌論文] Nanoadhesion layer for enhanced Si-Si and Si-SiN wafer bonding2012

    • 著者名/発表者名
      Ryuichi Kondou, Chenxi Wang, Akitsu Shigetou, Tadatomo Suga
    • 雑誌名

      Microelectronics Reliability

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Investigation of Fluorine Containing Plasma Activation for Room-Temperature Bonding of Si-based Materials2012

    • 著者名/発表者名
      Chenxi Wang, Tadatomo Suga
    • 雑誌名

      Microelectronics Reliability

      巻: 52 ページ: 347-351

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Low-Temperature Direct Bonding of Glass Nanofluidic Chips Using a Two-step Plasma Surface Activation2012

    • 著者名/発表者名
      Yan,Xu, Chenxi Wang, Yiyang Dong, Lixiao Li, Kihoon Jang, Kazuma Mawatari, Yo Tanaka, Tadatomo Suga, Takehiko Kitamori
    • 雑誌名

      Analytical and Bioanalytical Chemistry

      巻: 402 ページ: 1011-1018

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Low-temperature bonding of GaN on Si using a nonalloyed metal Ohmic contact layer for GaN based heterogeneous devices2012

    • 著者名/発表者名
      Eiji Higurashi, Toru Fukunaga, Tadatomo Suga
    • 雑誌名

      IEEE Journal of Quantum Electronics

      巻: 48 号: 2 ページ: 182-186

    • DOI

      10.1109/jqe.2011.2170211

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Low-temperature hermetic packaging for microsystems using Au-Au surface-activated bonding at atmospheric pressure environment2012

    • 著者名/発表者名
      Shin-ichi Yamamoto, Eiji Higurashi, Tadatomo Suga, Renshi Sawada
    • 雑誌名

      Journal of Micromechanics and Microengineering

      巻: 22 号: 5 ページ: 055026-055026

    • DOI

      10.1088/0960-1317/22/5/055026

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Si nanoadhesion layer for enhanced SiO2-SiN wafer bonding2011

    • 著者名/発表者名
      R.Kondou, T.Suga
    • 雑誌名

      Scripta Materialia

      巻: vol.65 ページ: 320-322

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Room Temperature Direct Bonding Using Fluorine Containing Plasma Activation2011

    • 著者名/発表者名
      C.Wang and T.Suga
    • 雑誌名

      Journal of The Electrochemical Society

      巻: vol.158 ページ: 525-529

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Si nanoadhesion layer for enhanced SiO2-SiN wafer bonding2011

    • 著者名/発表者名
      Ryuichi Kondou, Tadatomo Suga
    • 雑誌名

      Scripta Materialia

      巻: 65 ページ: 320-322

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Room-Temperature Direct Bonding Using Fluorine Containing Plasma Activation2011

    • 著者名/発表者名
      Chenxi Wang, Tadatomo Suga
    • 雑誌名

      Journal of The Electrochemical Society

      巻: 158

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 高分子材料における生体適合性向上を目的としたドライプロセスの効果の比較検討2014

    • 著者名/発表者名
      中本茉里,藤野真久,須賀唯知
    • 学会等名
      エレクトロニクス実装学会春季講演大会
    • 発表場所
      拓殖大学(文京キャンパス) 東京
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] 生体適合性向上を目的とした高分子材料表面へのイオンビームおよびプラズマ照射 の比較検討2014

    • 著者名/発表者名
      中本茉里,藤野真久,須賀唯知
    • 学会等名
      精密工学会春季大会
    • 発表場所
      東京大学(本郷キャンパス) 東京
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Miniaturized polarization sensors integrated with wire-grid polarizers2014

    • 著者名/発表者名
      So Ikeda, Eiji Higurashi, Tadatomo Suga, Toshiaki Oguchi
    • 学会等名
      2014 International Conference on Electronics Packaging (ICEP)
    • 発表場所
      富山国際会場 富山
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] 低温接合技術で作製したワイヤグリッド偏光子集積型偏光センサ2014

    • 著者名/発表者名
      池田颯、日暮栄治、須賀唯知、小口寿明
    • 学会等名
      第28回エレクトロニクス実装学会春季講演大会
    • 発表場所
      拓殖大学  文京キャンパス 東京
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] 水素ラジカル処理したSnAgCuはんだのフラックスレス低温固相接合技術2014

    • 著者名/発表者名
      川合紘夢、日暮栄治、須賀唯知、岡田咲枝、萩原泰三
    • 学会等名
      第28回エレクトロニクス実装学会春季講演大会
    • 発表場所
      拓殖大学  文京キャンパス 東京
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] 低温接合技術に基づく異種材料集積技術とフォトニクス応用2014

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治
    • 学会等名
      第28回エレクトロニクス実装学会春季講演大会
    • 発表場所
      拓殖大学  文京キャンパス 東京
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] 大気圧プラズマによる表面活性化を用いたAu-Au常温接合2014

    • 著者名/発表者名
      山本道貴、日暮栄治、須賀唯知、澤田廉士
    • 学会等名
      2014年度精密工学春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東京大学本郷キャンパス 東京
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] 高機能光マイクロシステム・センサを実現する低温接合技術2014

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治
    • 学会等名
      電子情報通信学会2014年総合大会
    • 発表場所
      新潟大学五十嵐キャンパス, 新潟
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Takashi Matsumae, Masahisa Fujino, Akitsu Shigetou, Yoshiie Matsumoto, and Tadatomo Suga2013

    • 著者名/発表者名
      Takashi Matsumae, Masahisa Fujino, Akitsu Shigetou, Yoshiie Matsumoto, and Tadatomo Suga
    • 学会等名
      WaferBond'13
    • 発表場所
      Shockholm, Sweden
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Direct Bonding of PEN at Room Temperature by Means of Surface Activated Bonding method using Nano-adhesion Layer2013

    • 著者名/発表者名
      Takashi Matsumae, Masahisa Fujino, and Tadatomo Suga
    • 学会等名
      International Conference of Science Japan 2013 (ICSJ 2013)
    • 発表場所
      京都大学 京都
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Room Temperature Bonding of Polymer/Polymer and Polymer/Glass using modified Surface Activated Bonding Method2013

    • 著者名/発表者名
      Takashi Matsumae, Masahisa Fujino, Akitsu Shigetou, Yoshiie Matsumoto, and Tadatomo Suga.
    • 学会等名
      International Conference on Electronics Packaging 2013 (ICEP 2013)
    • 発表場所
      大阪国際会議場 大阪
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] ワイヤグリッド偏光子を集積した小型偏光センサ2013

    • 著者名/発表者名
      山本道貴、日暮栄治、北島和典、須賀唯知、小口寿明
    • 学会等名
      第23回マイクロエレクトロニクスシンポジウム(MES 2013)
    • 発表場所
      大阪大学 吹田キャンパス、 大阪
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] 大気圧プラズマを用いた低温固相接合による偏光検出器の開発2013

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治、北島和典、山本道貴、須賀唯知、小口寿明
    • 学会等名
      2013年度精密工学秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      関西大学千里山キャンパス 大阪
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] 窒素大気圧プラズで活性化したAuバンプによる半導体レーザ素子の低温接合2013

    • 著者名/発表者名
      山本道貴、日暮栄治、須賀唯知、澤田廉士
    • 学会等名
      第5回「集積化MEMSシンポジウム」(応用物理学会集積化MEMS技術研究会主催)
    • 発表場所
      仙台国際センター 宮城県
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Low-temperature solid-state solder bonding process using hydrogen radicals for MEMS packaging application2013

    • 著者名/発表者名
      Hiromu Kawai, Eiji Higurashi, and Tadatomo Suga
    • 学会等名
      The 4th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS (JCK MEMS/NEMS 2013)
    • 発表場所
      東北大学 宮城県
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] 表面活性化接合法における垂直配向カーボンナノチューブと金属薄膜の接触抵抗に 関する考察2013

    • 著者名/発表者名
      Masahisa Fujino, Hidenori Terasaka, Tadatomo Suga, Ikuo Soga, Daiyu Kondo, Yoshikatsu Ishizuki, and Taisuke Iwai
    • 学会等名
      第27回エレクトロニクス実装学会春季講演大会
    • 発表場所
      東北大学川内北キャンパス 宮城県
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] ナノ構造を持つめっき表面の低温接合2013

    • 著者名/発表者名
      Yasutaka Eida, Wenjing Zhang, Masahisa Fujino, Yinghui Wang, Ming Li, and Tadatomo Suga
    • 学会等名
      第27回エレクトロニクス実装学会春季講演大会
    • 発表場所
      東北大学川内北キャンパス 宮城県
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] abrication and evaluation of vertically aligned carbon nanotubes for vias for flexible substrates2013

    • 著者名/発表者名
      Hidenori Terasaka, Masahisa Fujino, Tadatomo Suga, Ikuo Soga, Daiyu Kondo, Yoshikatsu Ishizuki, and Taisuke Iwai
    • 学会等名
      第27回エレクトロニクス実装学会春季講演大会
    • 発表場所
      東北大学川内北キャンパス 宮城県
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Fe ナノ密着層の 接合機構に関する研究2013

    • 著者名/発表者名
      Yuki Mizuno, Masahisa Fujino, and Tadatomo Suga
    • 学会等名
      第27回エレクトロニクス実装学会春季講演大会
    • 発表場所
      東北大学川内北キャンパス 宮城県
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Alスパッタ中間層をもちいた表面活性化手法によるポリマー常温接合2013

    • 著者名/発表者名
      松前貴司,藤野真久,須賀唯知
    • 学会等名
      第27回エレクトロニクス実装学会春季講演大会
    • 発表場所
      東北大学川内北キャンパス 宮城県
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Au薄膜を用いた大気中のウエハ室温接合における大気暴露時間と接合性能2013

    • 著者名/発表者名
      今 一恵,魚本 幸,島津武仁
    • 学会等名
      第27回 エレクトロニクス実装学会春季講演大会
    • 発表場所
      東北大学 川内北キャンパス、宮城県
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Surface Activated Bonding of Laser Diode Chips Using N2 Atmospheric-Pressure Plasma2013

    • 著者名/発表者名
      Michitaka Yamamoto, Eiji Higurashi, Tadatomo Suga, and Renshi Sawada
    • 学会等名
      International Conference on Electronics Packaging (ICEP 2013)
    • 発表場所
      大阪国際会議場 大阪
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Room-Temperature Direct Bonding of GaAs and SiC Wafers for Improved Heat Dissipation in High-Power Semiconductor Lasers2013

    • 著者名/発表者名
      Eiji Higurashi, Kaori Nakasuji, and Tadatomo Suga
    • 学会等名
      International Conference on Electronics Packaging (ICEP 2013)
    • 発表場所
      大阪国際会議場 大阪
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] 大気圧プラズマで活性化したAuスタッドバンプによる半導体光素子の低温接合と光マイクロセンサ応用2013

    • 著者名/発表者名
      山本道貴、日暮栄治、須賀唯知、澤田廉士
    • 学会等名
      19回「エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術」シンポジウム (Mate 2013)
    • 発表場所
      パシフィコ横浜 神奈川県
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] GaAs/SiC常温直接ウェハ接合を用いた高出力レーザの高放熱構造に関する研究2013

    • 著者名/発表者名
      中筋香織、日暮栄治、須賀唯知
    • 学会等名
      第27回エレクトロニクス実装学会春季講演大会
    • 発表場所
      東北大学 川内北キャンパス 宮城県
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] N2大気圧プラズマによる表面活性化を用いた光素子の低温接合2013

    • 著者名/発表者名
      山本道貴、日暮栄治、須賀唯知、澤田廉士
    • 学会等名
      2013年度精密工学春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学 東京都
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] 表面活性化接合の現状と展望2012

    • 著者名/発表者名
      須賀唯知
    • 学会等名
      日本溶射学会第94回(2011年度秋季)全国講演大会
    • 発表場所
      名古屋(招待講演)
    • 年月日
      2012-11-14
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 大気圧Au-Au表面活性化接合を用いた光マイクロシステムの低温気密パッケージング2012

    • 著者名/発表者名
      山本真一、日暮栄治、須賀唯知、澤田廉士
    • 学会等名
      第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • 発表場所
      東京・タワーホール船堀
    • 年月日
      2012-09-27
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 垂直配向カーボンナノチューブの圧縮における挙動と摩擦の関係2012

    • 著者名/発表者名
      寺坂英矩, 藤野真久, 須賀唯知, 曽我育夫, 近藤大雄, 石月義克, 岩井大介
    • 学会等名
      第26回エレクトロニクス実装学術講演会
    • 発表場所
      東京・中央大学後楽園キャンパス
    • 年月日
      2012-03-07
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Auスパッタ膜を介した表面活性化接合を用いた垂直配向カーボンナノチューブとAu薄膜の接合と転写2012

    • 著者名/発表者名
      藤野真久, 寺坂英矩, 須賀唯知, 曽我育夫, 近藤大雄, 石月義克, 岩井大介
    • 学会等名
      第26回エレクトロニクス実装学術講演会
    • 発表場所
      東京・中央大学後楽園キャンパス
    • 年月日
      2012-03-07
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 表面活性化接合のためのパワースペクトル密度関数を用いた表面形状評価と接合性の関係2012

    • 著者名/発表者名
      近村学、塚本圭、須賀唯知
    • 学会等名
      第26回エレクトロニクス実装学会春季講演大会プログラム
    • 発表場所
      東京(中央大学)
    • 年月日
      2012-03-07
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Siナノ中間層を用いた表面活性化接合による室温でのInP-Si接合2012

    • 著者名/発表者名
      松前貴司、須賀唯知
    • 学会等名
      第26回エレクトロニクス実装学会春季講演大会
    • 発表場所
      東京・中央大学後楽園キャンパス
    • 年月日
      2012-03-07
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Low temperature bonding for 3D interconnects2012

    • 著者名/発表者名
      T.Suga, R.Kondou
    • 学会等名
      IEEE International 3D System Integration Conference 2011-3DIC2011
    • 発表場所
      大阪
    • 年月日
      2012-01-31
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Low temperature bonding for 3D integration―A review of the surface activated bonding (SAB)2012

    • 著者名/発表者名
      Suga, Tadatomo
    • 学会等名
      Low Temperature Bonding for 3D Integration (LTB-3D), 2012 3rd IEEE International Workshop on
    • 発表場所
      東京大学農学部、東京
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Low temperature Cu/Cu direct bonding using formic gas in-situ treatment2012

    • 著者名/発表者名
      Yang, Wenhua; Akaike, Masatake; Suga, Tadatomo
    • 学会等名
      Low Temperature Bonding for 3D Integration (LTB-3D), 3rd IEEE International Workshop on
    • 発表場所
      東京大学農学部、東京
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Room Temperature Bonding of Polymer to Glass Wafers using Surface Activated Bonding (SAB) Method2012

    • 著者名/発表者名
      Takashi Matsumae, Masashi Nakano, Yoshiie Matsumoto, Ryuichi Kondo, and Tadatomo Suga.
    • 学会等名
      Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid-State Science 2012 (PRiME 2012)
    • 発表場所
      ホノルル ハワイ USA
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Direct Bonding of Polymer to Glass Wafers using Surface Activated Bonding (SAB) Method at Room Temperature2012

    • 著者名/発表者名
      Tadatomo Suga, Takashi Matsumae, Yoshiie Matsumoto and Masashi Nakano.
    • 学会等名
      2012 3rd IEEE International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration
    • 発表場所
      東京大学農学部、東京
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Atomic diffusion bonding of wafers in air with thin Au films and its application to optical devices fabrication2012

    • 著者名/発表者名
      T. Shimatsu, M. Uomoto, K. Oba, and Y. Furukata
    • 学会等名
      3rd IEEE International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration, LTB-3D 2012
    • 発表場所
      東京大学農学部、東京
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Atomic diffusion bonding with thin nanocrystalline metal films in vacuum and in an inert gas2012

    • 著者名/発表者名
      T. Shimatsu, and M. Uomoto
    • 学会等名
      3rd IEEE International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration, LTB-3D 2012
    • 発表場所
      東京大学農学部 東京
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Low-Temperature Bonding Technologies for Photonics Applications2012

    • 著者名/発表者名
      Eiji Higurashi
    • 学会等名
      12th International Symposium on Semiconductor Wafer Bonding: Science, Technology and Applications, 222th Electrochemical Society Fall Meeting
    • 発表場所
      Honolulu, Hawaii, USA
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Low-temperature bonding of laser diode chips using atmospheric-pressure plasma activation of flat topped Au stud bumps with smooth surfaces2012

    • 著者名/発表者名
      Michitaka Yamamoto, Takeshi Sato, Eiji Higurashi, Tadatomo Suga, and Renshi Sawada
    • 学会等名
      IEEE CPMT (Components, Packaging, and Manufacturing Technology) Symposium Japan
    • 発表場所
      都メッセ、京都
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Low-temperature bonding of laser diode chips using atmospheric-pressure plasma activation of flat topped Au stud bumps with smooth surfaces2012

    • 著者名/発表者名
      Michitaka Yamamoto, Takeshi Sato, Eiji Higurashi, Tadatomo Suga, and Renshi Sawada
    • 学会等名
      IEEE CPMT (Components, Packaging, and Manufacturing Technology) Symposium Japan
    • 発表場所
      都メッセ、 京都
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] 大気圧プラズマで活性化したAuスタッドバンプによる半導体レーザ素子の低温接合2012

    • 著者名/発表者名
      山本道貴,佐藤丈史,日暮栄治,須賀唯知,澤田廉士
    • 学会等名
      2012年度精密工学秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      九州工業大学 北九州市
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Room temperature bonding of wafers in an inert gas with thin nanocrystalline metal films2011

    • 著者名/発表者名
      T.Shimatsu, M.Uomoto
    • 学会等名
      Conference on Wafer Bonding for Microsystems and Wafer Level Integration
    • 発表場所
      Chemnitz, Germany
    • 年月日
      2011-12-07
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Reduction of non-uniformity in stress distribution on the bonded interface caused by solid state bonding2011

    • 著者名/発表者名
      Keisuke Goto, Masahisa Fujino, Yinghni Wang, Tadatomo Suga
    • 学会等名
      ECO-MATES 2011-International Symposium on Material Science-Eco-materials and Eco-innovation for Global Sustainability-
    • 発表場所
      大阪・ホテル阪急エキスポパーク
    • 年月日
      2011-11-29
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Low temperature Cu/Cu direct bonding using formic acid vapor treatment2011

    • 著者名/発表者名
      Wenhua Yang, M.Akaike, T.Suga
    • 学会等名
      ECO-MATES 2011-International Symposium on Material Science-ECO-materials and Eco-innovation for Global Sustainability-
    • 発表場所
      大阪・ホテル阪急エキスポパーク
    • 年月日
      2011-11-29
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 低温接合技術とマイクロセンサのチップサイズパケージングへの応用技術2011

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治
    • 学会等名
      センシング技術応用研究会第177回研究会例会
    • 発表場所
      オムロン野洲事業所(滋賀県野洲市)
    • 年月日
      2011-11-18
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 低温接合と光マイクロデバイス応用2011

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治
    • 学会等名
      第190回有機エレクトロニクス材料研究会
    • 発表場所
      早稲田大学(東京都新宿区西早稲田)
    • 年月日
      2011-10-14
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 低温接合による異種材料集積技術と光マイクロセンサへの応用2011

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治、須賀唯知、澤田廉士
    • 学会等名
      2011年電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ大会
    • 発表場所
      北海道大学(北海道札幌市)
    • 年月日
      2011-09-15
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 表面活性化接合による異種基板の低温直接接合2011

    • 著者名/発表者名
      須賀唯知、近藤龍一
    • 学会等名
      電磁情報通信学会2011ソサイエティ大会講演論文集
    • 発表場所
      札幌(北大)(招待講演)
    • 年月日
      2011-09-15
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 低温接合からみた環境対応技術2011

    • 著者名/発表者名
      須賀唯知
    • 学会等名
      第21回マイクロエレクトロニクスシンポジウム(MES2011)
    • 発表場所
      大阪(関西大学)(招待講演)
    • 年月日
      2011-09-08
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Surface Activated Bonding As Nano-Packaging Technology2011

    • 著者名/発表者名
      T.Suga, M.Fujino, R.Kondoh
    • 学会等名
      Proc.11th International Conference on Nanotechnology IEEE NANO 2011
    • 発表場所
      Portland, USA
    • 年月日
      2011-08-16
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] A New Approach Towards Nano-packaging Technology2011

    • 著者名/発表者名
      Tadatomo Suga
    • 学会等名
      Proc.2011 Int.Conf.on Electronic Packaging Technology & High Density Packaging (ICEPT-HDP 2011)
    • 発表場所
      上海、中国(招待講演)
    • 年月日
      2011-08-09
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Nanoprecison Aligned Wafer Bonding and Its Outlook2011

    • 著者名/発表者名
      Chenxi Wang, Tadatomo Suga
    • 学会等名
      12th International Conference on Electronic Packaging Technology & High Density Packaging (ICEPT-HDP 2011)
    • 発表場所
      中国・上海
    • 年月日
      2011-08-08
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Room temperature SiO2 wafer bonding by adhesion layer method2011

    • 著者名/発表者名
      Ryuichi Kondou, Tadatomo Suga
    • 学会等名
      2011 IEEE 61st Electronic Components and Technology Conference ECTC
    • 発表場所
      アメリカ合衆国・フロリダ州
    • 年月日
      2011-06-03
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] A Novel Biocompatible Direct Bonding for Glass Microdevices2011

    • 著者名/発表者名
      Chenxi Wang, Yan Xu, Yiyang Dong, Kazuma Mawatari, Takehiko Kitamori, Tadatomo Suga
    • 学会等名
      International Conference on Electronics Packaging 2011 (ICEP2011)
    • 発表場所
      奈良・奈良県新公会堂
    • 年月日
      2011-04-13
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] SURFACE ACTIVATED BONDING VIA NANO-ADHESION LAYER2011

    • 著者名/発表者名
      T.Suga, R.Kondou
    • 学会等名
      The International Conference on Wafer Bonding WaferBond '11
    • 発表場所
      Chemnitz、Germany
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 金属薄膜と CNT バンプの接合

    • 著者名/発表者名
      Masahisa Fujino
    • 学会等名
      エレクトロニクス実装学会ワークショップ
    • 発表場所
      ラフォーレ修善寺, 神奈川
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] 表面活性化接合法による垂直配向カーボンナノチューブと金属薄膜の接合

    • 著者名/発表者名
      Masahisa Fujino
    • 学会等名
      エレクトロニクス実装学会環境調和型実装技術委員会公開研究会
    • 発表場所
      回路会館, 東京
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] マイクロシステムにおける接合・実装技術の最新動向

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治
    • 学会等名
      精密工学会中国四国支部(香川地区)講習会
    • 発表場所
      香川大学工学部 香川県
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] 高機能光マイクロシステム・センサを実現する低温接合技術

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治
    • 学会等名
      日本学術振興会科学研究費「特別推進研究」終了報告シンポジウム「MEMSと実時間TEM観察によるナノメカニカル特性評価と応用展開」
    • 発表場所
      東京大学生産技術研究所,東京
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] 低温接合に基づく異種材料集積技術と三次元構造光マイクロシステムへの応用

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治
    • 学会等名
      社団法人日本オプトメカトロニクス協会光センシング技術部会平成24年度第1回技術部会
    • 発表場所
      (社)日本オプトメカトロニクス協会 東京都
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] 低温接合技術と高機能センサへの応用

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治
    • 学会等名
      マイクロマシン/MEMS展 第4回MEMS実装・パッケージングフォーラム(財団法人マイクロマシンセンター)
    • 発表場所
      東京ビックサイト 東京都
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] 低温接合技術と高機能センサへの応用

    • 著者名/発表者名
      日暮栄治
    • 学会等名
      第196回有機エレクトロニクス材料研究会
    • 発表場所
      早稲田大学 東京都
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [図書] Microelectronics Reliability- Low Temperature Processing for Microelectronics and Microsystems Packaging2012

    • 著者名/発表者名
      Suga, Tadatomo; Song, Jenn-Ming; Lai, Yi-Shao
    • 総ページ数
      160
    • 出版者
      Elsevier limited
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [図書] Microelectronics Reliability, Volume 52, Issue 5, ISSN : 0026-27142012

    • 著者名/発表者名
      Tadatomo Suga (Editor)
    • 総ページ数
      260
    • 出版者
      Elsevier B.V.
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [産業財産権] 接合装置、接合方法、半導体デバイスおよびMEMSデバイス2012

    • 発明者名
      須賀・山内
    • 権利者名
      須賀・ボンドテック
    • 産業財産権番号
      2012-004710
    • 出願年月日
      2012-01-13
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書

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公開日: 2011-04-06   更新日: 2019-07-29  

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