| 研究課題/領域番号 |
23310068
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
ナノ構造科学
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| 研究機関 | 独立行政法人物質・材料研究機構 |
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研究代表者 |
CUSTANCE Oscar 独立行政法人物質・材料研究機構, 極限計測ユニット, グループリーダー (00444555)
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| 研究期間 (年度) |
2011-04-01 – 2014-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2013年度)
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| 配分額 *注記 |
19,890千円 (直接経費: 15,300千円、間接経費: 4,590千円)
2013年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2012年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2011年度: 18,590千円 (直接経費: 14,300千円、間接経費: 4,290千円)
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| キーワード | ナノプローブ / 走査型熱顕微鏡 / 原子分解能原子間力顕微鏡 / 原子間力顕微鏡 |
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| 研究概要 |
走査型熱顕微鏡（SThM）は、熱カンチレバーをプローブとした原子間力顕微鏡（AFM）の一種である。カンチレバーで発生した熱は、ナノスケールでの表面及び熱抵抗を観測、ならびに半導体基板のパターニングとデバイスファブリケーションのプロトタイプのための数ナノメートルハーフピッチのマスクの製造に使用することができる。
このプロジェクトの主な目標であった「ミリピードプロジェクト」用にIBMが開発した加熱カンチレバープローブ技術を我々の専門と組み合わせ、SThMの分解能の限界をプッシュする原子分解能AFMを開発することに成功した。
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