有機膜直接蒸着法を用いた液体機能デバイスの研究

• 研究課題/領域番号: 23310089
• 研究種目: 基盤研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: マイクロ・ナノデバイス
• 研究機関: 東京大学
• 研究代表者: 松本 潔 東京大学, IRT研究機構, 教授 (10282675)
• 研究期間 (年度): 2011-04-01 – 2014-03-31
• 研究課題ステータス: 完了 (2013年度)
• 配分額: 18,590千円 (直接経費: 14,300千円、間接経費: 4,290千円); 2013年度: 5,070千円 (直接経費: 3,900千円、間接経費: 1,170千円); 2012年度: 5,850千円 (直接経費: 4,500千円、間接経費: 1,350千円); 2011年度: 7,670千円 (直接経費: 5,900千円、間接経費: 1,770千円)
• キーワード: マイクロファブリケーション / 液体デバイス / マイクロ情報デバイス / 流体デバイス

研究概要

本研究では、液体上に有機膜を直接蒸着し封止する手法を用いて、液体を機能要素として持つマイクロデバイスの研究開発を行った。封止技術の確立に関して、有機膜の厚さにより物質の透過性を制御する手法、また振動場を用いて液体含浸ビーズ上に有機膜を蒸着する手法を開発した。また機能性デバイスとして、微小環境計測用機能性マイクロビーズ、イオン液体ゲートトランジスタガスセンサ、熱音響水中超音波発信デバイスの研究開発を行った。

研究成果

• [雑誌論文] Ratiometric optical temperature sensor using two fluorescent dyes dissolved in an ionic liquid encapsulated by Parylene film (2013)
  • 著者名/発表者名: T. Kan, H. Aoki, N. Binh-Khiem, K. Matsumoto, and I. Shimoyama
  • 雑誌名: Sensors 巻: vol.13, no.4 ページ: 4138-4145
  • URL: http://www.mdpi.com/1424-8220/13/4/4138
  • 査読あり
• [雑誌論文] Ratiometric optical temperature sensor using two fluorescent dyes dissolved in an ionic liquid encapsulated by Parylene film (2013)
  • 著者名/発表者名: Tetsuo Kan, Hironori Aoki, Nguyen Binh-Khiem, Kiyoshi Matsumoto, and Isao Shimoyama
  • 雑誌名: Sensors 巻: 13巻 ページ: 4138-4145
  • 査読あり
• [学会発表] MULTI-AXIS FORCE SENSOR WITH DYNAMIC RANGE UP TOULTRASONIC (2014)
  • 著者名/発表者名: P. Quang-Khang, N. Minh-Dung, N. Binh-Khiem, H. Phuong Phan, K. Matsumoto, and I. Shimoyama
  • 学会等名: The 27th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS '14)
  • 発表場所: San Francisco, USA
  • 年月日: 2014-01-26
• [学会発表] MICRO LIQUID-BASED THERMO-ACOUSTIC TRANSMITTER FOR EMITTING ULTRASOUND IN LIQUID MEDIUM (2014)
  • 著者名/発表者名: D. Hoang-Giang, N. Thanh-Vinh, K. Noda, P. Hoang-Phuong, N. Binh-Khiem, T. Takahata, K. Matsumoto, and I. Shimoyama
  • 学会等名: The 27th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS '14)
  • 発表場所: San Francisco, USA
  • 年月日: 2014-01-26
• [学会発表] IONIC LIQUID-GATED GRAPHENE FET ARRAY WITH ENHANCED SELECTIVITY FOR ELECTRONIC NOSE (2014)
  • 著者名/発表者名: A. Inaba, Y. Takei, K. Matsumoto, and I. Shimoyama
  • 学会等名: The 27th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS '14)
  • 発表場所: San Francisco, USA
  • 年月日: 2014-01-26
• [学会発表] MULTI-AXIS FORCE SENSOR WITH DYNAMIC RANGE UP TOULTRASONIC (2014)
  • 著者名/発表者名: Pham Quang-Khang
  • 学会等名: MEMS2014
  • 発表場所: San Francisco, USA
• [学会発表] MICRO LIQUID-BASED THERMO-ACOUSTIC TRANSMITTER FOR EMITTING ULTRASOUND IN LIQUID MEDIUM (2014)
  • 著者名/発表者名: Dinh Hoang-Giang
  • 学会等名: MEMS2014
  • 発表場所: San Francisco, USA
• [学会発表] IONIC LIQUID-GATED GRAPHENE FET ARRAY WITH ENHANCED SELECTIVITY FOR ELECTRONIC NOSE (2014)
  • 著者名/発表者名: Akira Inaba
  • 学会等名: MEMS2014
  • 発表場所: San Francisco, USA
• [学会発表] THREE-DIMENSIONAL TACTILE SENSOR WITH A CAVITY UNDERNEATH PIEZORESISTIVE CANTILERVERS FOR SENSITIVITY ENHANCEMENT (2013)
  • 著者名/発表者名: N. Thanh-Vinh, K. Matsumoto, I. Shimoyama
  • 学会等名: センサ・マイクロマシンと応用システム
  • 発表場所: 仙台国際センター ,宮城
  • 年月日: 2013-11-05
• [学会発表] A GRAPHENE FET GAS SENSOR GATED BY IONIC LIQUID (2013)
  • 著者名/発表者名: A. Inaba, G. Yoo, Y. Takei, K. Matsumoto, and I. Shimoyama
  • 学会等名: The 26th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS '13)
  • 発表場所: Taipei, Republic of China
  • 年月日: 2013-01-20
• [学会発表] THREE-DIMENSIONAL TACTILE SENSOR WITH A CAVITY UNDERNEATH PIEZORESISTIVE CANTILERVERS FOR SENSITIVITY ENHANCEMENT (2013)
  • 著者名/発表者名: Nguyen Thanh-Vinh
  • 学会等名: センサ・マイクロマシンと応用システム
  • 発表場所: 仙台国際センター、宮城
• [学会発表] A GRAPHENE FET GAS SENSOR GATED BY IONIC LIQUID (2013)
  • 著者名/発表者名: A. Inaba, G. Yoo, Y. Takei, K. Matsumoto, and I. Shimoyama (A. Inaba)
  • 学会等名: The 26th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS '13)
  • 発表場所: 台北（中華民国）
• [学会発表] FUNCTIONALIZED MICRO BEAD WITH LIQUID-CORE PARYLENE-SHELL STRUCTURE (2012)
  • 著者名/発表者名: H. Aoki, N. Binh-Khiem, T. Kan, K. Matsumoto, and I. Shimoyama
  • 学会等名: The 25th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS '12)
  • 発表場所: Paris, France
  • 年月日: 2012-02-02
• [学会発表] SHEAR FORCE SENSOR USING A CANTILEVER WITH LIQUID-EMBEDDED HINGES (2012)
  • 著者名/発表者名: K. Sato, N. Binh-Khiem, M. Hosono, K. Matsumoto, and I. Shimoyama
  • 学会等名: The 25th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS '12)
  • 発表場所: Paris, France
  • 年月日: 2012-02-02
• [備考]
  • URL: http://www.leopard.t.u-tokyo.ac.jp/
• [備考]
  • URL: http://www.leopard.t.u-tokyo.ac.jp/research.html
• [産業財産権] 液体アクチュエータ (2013)
  • 発明者名: 下山勲、松本潔、野田堅太郎、グェンビンキェム、ディンホアンジャン
  • 権利者名: 東京大学
  • 産業財産権種類: 特許
  • 出願年月日: 2013-02-21
• [産業財産権] 液体アクチュエータ (2013)
  • 発明者名: 下山勲、他
  • 権利者名: 東京大学
  • 産業財産権種類: 特許
  • 産業財産権番号: 2013-032004
  • 出願年月日: 2013-02-21