| 研究課題/領域番号 |
23340178
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
プラズマ科学
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| 研究機関 | 神戸大学 |
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研究代表者 |
八坂 保能 神戸大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (30109037)
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| 研究分担者 |
竹野 裕正 神戸大学, 大学院・工学研究科, 教授 (90216929)
中本 聡 神戸大学, 工学(系)研究科(研究院), 助手 (10198260)
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| 連携研究者 |
中本 聡 神戸大学, 大学院・工学研究科, 助手 (10198260)
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| 研究期間 (年度) |
2011-04-01 – 2014-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2013年度)
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| 配分額 *注記 |
12,220千円 (直接経費: 9,400千円、間接経費: 2,820千円)
2013年度: 2,340千円 (直接経費: 1,800千円、間接経費: 540千円)
2012年度: 4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2011年度: 5,200千円 (直接経費: 4,000千円、間接経費: 1,200千円)
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| キーワード | プラズマ / マイクロ波 / シミュレーション / 分布制御 |
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| 研究概要 |
半導体製造においてプラズマプロセッシングは基幹技術であり、プラズマ源として大口径、低電子温度、高均一性が求められている。本研究では、これらの要求を満たし得るマイクロ波励起プラズマについて、均一性制御に関する課題に着目している。そのために二つの新しい技術、すなわち、マイクロ波放射電界の径方向分布を調整可能なアンテナ、および目標とする径方向密度分布を得るために必要なマイクロ波電力吸収分布を計算するハイパーシミュレータ、を導入した。これらを含む制御システムを構築し、生成プラズマの分布制御に有効であることを実証した。
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