研究課題
基盤研究(B)
卓上型で高い空間分解を有する真空仕様の3次元蛍光X線分析装置の開発に成功した。薄膜標準試料を作成し、空間分解能のエネルギー依存性を評価した結果、Au L線の蛍光X線エネルギーにおいて約11ミクロンであり、世界最高レベルの性能が実現できた。この装置の特徴は非破壊的に試料内部の元素分布情報が得られることである。そこで、いくつかの層状構造を有する鑑識試料(例えば、自動車事故現場に残された自動車塗装片など)に応用し、非破壊的に深さ方向の元素分布プロファイルを得ることに成功した。
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