| 研究課題/領域番号 |
23360009
|
|---|
| 研究種目 |
基盤研究(B)
|
| 配分区分 | 補助金 |
|---|
| 応募区分 | 一般 |
|---|
| 研究分野 |
応用物性・結晶工学
|
|---|
| 研究機関 | 名古屋大学 |
|---|
研究代表者 |
田渕 雅夫 名古屋大学, シンクロトロン光研究センター, 特任教授 (90222124)
|
|---|
| 連携研究者 |
竹田 美和 名古屋大学, 工学研究科, 名誉教授 (20111932)
宇治原 徹 名古屋大学, 工学研究科, 教授 (60312641)
奥田 浩司 京都大学, 工学研究科, 准教授 (50214060)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2011-04-01 – 2014-03-31
|
| 研究課題ステータス |
完了 (2013年度)
|
| 配分額 *注記 |
20,410千円 (直接経費: 15,700千円、間接経費: 4,710千円)
2013年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)
2012年度: 8,190千円 (直接経費: 6,300千円、間接経費: 1,890千円)
2011年度: 9,490千円 (直接経費: 7,300千円、間接経費: 2,190千円)
|
|---|
| キーワード | X線回折測定 / その場観察 / 結晶成長 / 分光集光結晶 / 回転機構排除 / X線集光光学系 / X線回折 / X線散乱 / その場測定 / X線反射率測定 / ヨハンソン分光結晶 / 稼動部のない測定 |
|---|
| 研究概要 |
半導体結晶を利用したデバイスでは、表界面の構造を原子層程度の精度で制御する必要があり、作製された表界面の真の構造を調べる手段が重要になる。本研究では、集光分光結晶と2次元検出器を組み合わせることで、X線源、検出器、測定試料の全てを固定したままX線回折／散乱測定を行う測定系の開発を目指した。これにより、既存の結晶成長装置と組み合わせて、その場表界面観察装置が実現できると期待した。ヨハンソン結晶を2枚使用することで目的の性能を持ったその場観察装置の光学系を作製することができた。この光学系と組み合わせて使用する真空チャンバを準備することで、半導体結晶表面状態の変化をその場観察できることを確認した。
|
