| 研究課題/領域番号 |
23360021
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
薄膜・表面界面物性
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| 研究機関 | 三重大学 |
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研究代表者 |
畑 浩一 三重大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (30228465)
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| 研究分担者 |
永井 滋一 三重大学, 大学院工学研究科, 助教 (40577970)
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| 連携研究者 |
岡田 知幸 浜松ホトニクス株式会社, 電子管事業部, 専任部員 (50394151)
藪下 綾介 浜松ホトニクス株式会社, 電子管事業部, 部員 (80573005)
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| 研究期間 (年度) |
2011-04-01 – 2014-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2013年度)
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| 配分額 *注記 |
19,370千円 (直接経費: 14,900千円、間接経費: 4,470千円)
2013年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
2012年度: 4,810千円 (直接経費: 3,700千円、間接経費: 1,110千円)
2011年度: 12,090千円 (直接経費: 9,300千円、間接経費: 2,790千円)
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| キーワード | Taylorコーン / Ｘ線顕微鏡 / リチウム / 液体金属電子源 / 超高真空走査型電子顕微鏡 / 電界放射型陰極 / 電界放射陰極 / X線顕微鏡 / 電界放出 |
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| 研究概要 |
本研究は，ナノテクノロジーの進歩に伴って要求される高分解能Ｘ線源の励起一次電子ビーム源として，液体金属電子源(Li-LMES)の諸特性の有効性を検討するものである．Ｘ線源評価装置を新規作製し，これにLi-LMESを搭載して検証実験を行った．加速電圧7kVの同一条件下で，Li-LMESで得られるターゲット電流は14nAであり，既存の電界放射陰極と比較して３桁改善された．この結果は，Li-LMESの高い放射角電流密度による結果であり，Li-LMESが高輝度特性を有していることを実証している． Li-LMESの性能を最大限発揮させるために，高効率輸送できる電子光学系を再検討している．
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