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高精度複合型ダイヤモンドツールの開発と微細構造デバイスへの応用に関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 23360067
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 生産工学・加工学
研究機関千葉大学

研究代表者

森田 昇  千葉大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (30239660)

研究分担者 松坂 壮太  千葉大学, 大学院・工学研究科, 助教 (30334171)
比田井 洋史  千葉大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (60313334)
研究期間 (年度) 2011-04-01 – 2014-03-31
研究課題ステータス 完了 (2013年度)
配分額 *注記
18,460千円 (直接経費: 14,200千円、間接経費: 4,260千円)
2013年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
2012年度: 6,760千円 (直接経費: 5,200千円、間接経費: 1,560千円)
2011年度: 9,750千円 (直接経費: 7,500千円、間接経費: 2,250千円)
キーワード微細加工 / AFM / FIB / カンチレバー / 精密部品加工 / 工具 / CVD / ダイヤモンド / ナノ加工
研究概要

本研究は、各種極微細加工用の高精度複合型ダイヤモンドツールの開発と微細構造デバイスへの応用を目的としている。各種形状のシリコンモールド作製技術と、高緻密高速成膜可能なダイヤモンドCVD 技術を駆使して、高精細のアレイ状ダイヤモンド薄膜から形状精度よく切れ刃(ダイヤモンドチップ)を抽出し、それを工具シャンクに高強度で装着する手法を確立し、ダイヤモンドチップとシャンクとを高精度で位置決め可能なステージやセンサを具備した工具作製装置を構築した.各種の微細加工機能を具備するダイヤモンドツールを開発するとともに、高アスペクト比の微細V 溝加工を実現するツールを開発した。

報告書

(4件)
  • 2013 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2012 実績報告書
  • 2011 実績報告書
  • 研究成果

    (7件)

すべて 2014 2013

すべて 雑誌論文 (4件) (うち査読あり 4件) 学会発表 (3件)

  • [雑誌論文] ダイヤモンドアレイ工具を用いたマイクロ加工に関する研究 第3報 : FIB により先鋭化した加工用 AFM カンチレバーを用いた微細 V 溝加工2014

    • 著者名/発表者名
      高野登, 清水大志, 山田茂, 森田昇
    • 雑誌名

      砥粒加工学会誌

      巻: (掲載決定)

    • NAID

      130004835718

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] ダイヤモンドアレイ工具を用いたマイクロ加工に関する研究 第4報 : 加工用 AFMカンチレバーを用いた高能率微細加工2014

    • 著者名/発表者名
      高野登, 園部修也, 山田茂, 森田昇
    • 雑誌名

      砥粒加工学会誌

      巻: (掲載決定)

    • NAID

      130004835722

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Improving machining performance of single-crystal diamond toolsirradiated by a focused ion beam2013

    • 著者名/発表者名
      Noritaka Kawasegi, Tomoyuki Niwata, Noboru Morita, Kazuhito Nishimura, Hideki Sasaoka
    • 雑誌名

      Precis. Engin

      巻: 38巻,1号 ページ: 174-182

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Improving machining performance of single-crystal diamond toolsirradiated by a focused ion beam2013

    • 著者名/発表者名
      Noritaka Kawasegi, Tomoyuki Niwata, Noboru Morita, Kazuhito Nishimura,Hideki Sasaoka
    • 雑誌名

      Precis. Engin.

      巻: 38 号: 1 ページ: 174-182

    • DOI

      10.1016/j.precisioneng.2013.09.001

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 集束イオンビーム (FIB) を用いたダイヤモンド切削工具の作製とその切削加工特性2013

    • 著者名/発表者名
      庭田智行, 川堰宣隆, 森田昇, 西村一仁,笹岡秀紀
    • 学会等名
      2013年度精密工学会春期大会学術講演論文集
    • 発表場所
      東京都目黒区
    • 年月日
      2013-03-13
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] 加工用AFMカンチレバーを用いた高能率微細加工に関する研究2013

    • 著者名/発表者名
      園部修也, 高野登, 山田茂, 森田昇
    • 学会等名
      2013年度精密工学会春期大会学術講演論文集
    • 発表場所
      東京都目黒区
    • 年月日
      2013-03-13
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] 旋削加工における背分力制御に関する研究2013

    • 著者名/発表者名
      山崎行浩,森田昇,比田井洋史,松坂壮太
    • 学会等名
      2013年度精密工学会卒業研究発表会発表論文集
    • 発表場所
      東京工業大学
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書

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公開日: 2011-04-06   更新日: 2019-07-29  

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