| 研究課題/領域番号 |
23360149
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
電子デバイス・電子機器
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| 研究機関 | 東京工業大学 |
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研究代表者 |
町田 克之 東京工業大学, 総合理工学研究科(研究院), 連携教授 (90597676)
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| 連携研究者 |
年吉 洋 東京大学, 先端科学技術センター, 教授 (50282603)
益 一哉 東京工業大学, ソリューション研究機構, 教授 (20157192)
石原 昇 東京工業大学, ソリューション研究機構, 特任教授 (20396641)
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| 研究期間 (年度) |
2011-04-01 – 2014-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2013年度)
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| 配分額 *注記 |
17,290千円 (直接経費: 13,300千円、間接経費: 3,990千円)
2013年度: 5,590千円 (直接経費: 4,300千円、間接経費: 1,290千円)
2012年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)
2011年度: 8,970千円 (直接経費: 6,900千円、間接経費: 2,070千円)
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| キーワード | 統合設計 / CMOS / MEMS / 加速度センサ / センサ回路 / CMOS-MEMS / 異種機能集積 / 人体検知 / 異種機能集積化 |
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| 研究概要 |
本研究は新しい人体検知用CMOS-MEMSを提案・実施した。成果は、i)回路シミュレータ上でMEMSとLSIを同時にシミュレーションしかつレイアウト可能な方法を世界で初めて構築,ii)新たなMEMSを提案し、設計・試作実証,iii)アレイ型MEMS加速度センサの検討を行い、1Gから20Gまでの検出実現,iv) Sub-1Gの加速度センサを検討し1mm角でセンサ感度0.78μｇ/Hz1/2を実現,v)汎用センサ回路を提案検討し、試作実証,vi)振動発電デバイスを提案し、2x4mm角、周波数88Hz、電力0.43μWの設計値取得、である。以上から、CMOS-MEMSの基本技術構築をできたと考える。
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