１５ｎｍゲートパターンのラインエッジラフネス（ＬＥＲ）抑制技術の開発

• 研究課題/領域番号: 23360150
• 研究種目: 基盤研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 電子デバイス・電子機器
• 研究機関: 長岡技術科学大学
• 研究代表者: 河合 晃 長岡技術科学大学, 工学部, 教授 (00251851)
• 研究期間 (年度): 2011-04-01 – 2014-03-31
• 研究課題ステータス: 完了 (2013年度)
• 配分額: 20,150千円 (直接経費: 15,500千円、間接経費: 4,650千円); 2013年度: 2,860千円 (直接経費: 2,200千円、間接経費: 660千円); 2012年度: 5,070千円 (直接経費: 3,900千円、間接経費: 1,170千円); 2011年度: 12,220千円 (直接経費: 9,400千円、間接経費: 2,820千円)
• キーワード: レジストパターン / 付着力 / 原子間力顕微鏡 / 半導体集積回路 / 高分子集合体 / リソグラフィ / ナノバブル / リソグラフィー / ナノ固体 / 表面エネルギー / 分子間力 / 付着性 / 微細加工 / ラインエッジラフネス / 集積回路 / 感光性樹脂 / マニピュレーション / インデンテーション / フォトレジスト / ナノパターン / ゲートパターン

研究概要

本研究では15nm以下のクラスのレジストパターンのLER凝集性の抑制について、原子間力顕微鏡(AFM)を中心に実験的実証を行った。パターン内のLER制御には、パターンを構成する高分子集合体の凝集制御が必要となる。DPAT法によるはパターン剥離実験から、パターン底部の高分子集合体の凝集モードが大きく影響すること確認した。これらは、基板界面への溶液の浸透実験からも確認している。さらに、溶液中のゼータ電位に起因する帯電性も、高分子集合体の凝集性に影響することを示している。以上のように、レジストパターンのLER制御において、高分子集合体のサイズおよび凝集分布の設計への寄与が可能となる。

研究成果

• [雑誌論文] Electrification on Condensation Surface of Micro Particles with Atomic Force Microscope (AFM) (2013)
  • 著者名/発表者名: Akira Kawai
  • 雑誌名: J. Photopolymer Science and Technology 巻: 26(6) ページ: 705-706
  • NAID: 130004833540
• [雑誌論文] Local Heating System Integrated with Platinum Micro Heater and Photopolymer Microfluidic Channel (2013)
  • 著者名/発表者名: Yuta Noguchi, Akira Kawai
  • 雑誌名: J. Photopolymer Science and Technology 巻: 26(6) ページ: 713-716
  • NAID: 130004833542
• [雑誌論文] Fabrication of Micro Tube Array by Combining Positive with Negative Type Photoresists due to Solubility Difference in Developer (2013)
  • 著者名/発表者名: Kazutoshi Otsuka, Kenta Takahashi, Akira Kawai
  • 雑誌名: J. Photopolymer Science and Technology 巻: 26(6) ページ: 717-720
  • NAID: 130004833543
• [雑誌論文] Liquid Penetration Control of Photoresist/Perfluorosulfonic Acid (PFSA) Double Layer Structure by Hydrophobic Treatment (2013)
  • 著者名/発表者名: Yosuke Sakurai, Kenta Takahashi, Akira Kawai
  • 雑誌名: J. Photopolymer Science and Technology 巻: 26(6) ページ: 727-732
  • NAID: 130004833545
• [雑誌論文] Micro Pinhole Formation in Photoresist Multilayer Structure controlled with Hydrophilic Treatment (2013)
  • 著者名/発表者名: Yuta Noguchi, Kenta Takahashi, Akira Kawai
  • 雑誌名: J. Photopolymer Science and Technology 巻: 26(6) ページ: 739-744
  • NAID: 130004833547
• [雑誌論文] Fabrication and Durability of Single Chip Micro Direct Methanol Fuel Cell (SC-μDMFC) by Photolithography Process (2013)
  • 著者名/発表者名: Yosuke Sakurai, Daisuke Tanaka, Shunsuke Ohata, Akira Kawai
  • 雑誌名: J. Photopolymer Science and Technology 巻: 26(6) ページ: 751-756
  • NAID: 130004833549
• [雑誌論文] Effect of Low Surface Tension Developer on Micro Bubble Removal from Resist Square Window Pattern (2013)
  • 著者名/発表者名: Kenta Takahashi, Akira Kawai
  • 雑誌名: J. Photopolymer Science and Technology 巻: 26(6) ページ: 765-768
  • NAID: 130004833551
• [雑誌論文] Surface Stability of SU-8 film for Accurate Biopotential Detection (2012)
  • 著者名/発表者名: Yuta Noguchi, Akira Kawai
  • 雑誌名: J. Photopolymer Science and Technology 巻: 25(6) ページ: 719-722
  • NAID: 130004833506
• [雑誌論文] Mechanical Stress Effect on Ionic Conductivity of Perfluorosulfonic Acid (PFSA) Film by Photolithography (2012)
  • 著者名/発表者名: Yosuke Sakurai, Akira Kawai
  • 雑誌名: J. Photopolymer Science and Technology 巻: 25(6) ページ: 723-727
• [雑誌論文] Micro Cantilever Motion in Micro Pattern Peeling by DPAT Method (2012)
  • 著者名/発表者名: Takashi Aiba, Akira Kawai
  • 雑誌名: J. Photopolymer Science and Technology 巻: 25(6) ページ: 729-733
  • NAID: 130004833508
• [雑誌論文] Interfacial Microstructure of a Double-layer Cu Film Consisting of an Under-layer Deposited on SiO2 Substrate in Ar-10 vol% O2 and an Upper-layer Deposited in Pure Ar (2012)
  • 著者名/発表者名: Satoru Mori, Akira Kawai
  • 雑誌名: J. Adhesion Soc. Japan 巻: 48(1) ページ: 10-16
  • NAID: 130004568093
• [雑誌論文] Surface Stability of SU-8 for Accurate Biopotential Detection (2012)
  • 著者名/発表者名: Yuta Noguchi
  • 雑誌名: J. Photopolymer Sci. Technol. 巻: 25 ページ: 719-722
  • 査読あり
• [雑誌論文] Mechanical Stress on Ionic Conductivity of Perfluorosulfonic Acid (PFSA) Film by Photolithography (2012)
  • 著者名/発表者名: Yosuke Sakurai
  • 雑誌名: J. Photopolymer Sci. Technol. 巻: 25 ページ: 723-726
  • 査読あり
• [雑誌論文] Micro Cantilever Motion in Micro Pattern Peeling by DPAT Method (2012)
  • 著者名/発表者名: Takashi Aiba
  • 雑誌名: J. Photopolymer Sci. Technol. 巻: 25 ページ: 727-731
  • 査読あり
• [雑誌論文] Enhanced Adhesive Strength of a Double-layer Cu Film Consisting of an Under-layer Deposited in 10 vol% O2 in Ar and an Upper-layer Deposited in Pure Ar (2012)
  • 著者名/発表者名: Satoru Mori
  • 雑誌名: J. Adhesion Soc. Japan 巻: 48 ページ: 10-16
  • 査読あり
• [雑誌論文] Fluid Control MEMS constructed with Polymer Materials (2011)
  • 著者名/発表者名: Akira Kawai
  • 雑誌名: J. Photopolymer Science and Technology 巻: 24(5) ページ: 587-593
  • NAID: 130004833420
• [雑誌論文] Micro Polymer Capsule Constructed with Micro Pillars Formed by Multi Laminating Method (2011)
  • 著者名/発表者名: Masayoshi Yamada, Akira Kawai
  • 雑誌名: J. Photopolymer Science and Technology 巻: 24(6) ページ: 647-650
  • NAID: 130004464934
• [雑誌論文] Fluid Control MEMS constructed with Polymer Materials (2011)
  • 著者名/発表者名: Akira Kawai
  • 雑誌名: J.Photopolymer Science and Technology 巻: 24 ページ: 573-598
  • NAID: 130004833420
  • 査読あり
• [雑誌論文] Micro Polymer Capsule Constructed with Micro Pillars Formed by Multi Laminating Method (2011)
  • 著者名/発表者名: Masayoshi Yamada, Akira Kawai
  • 雑誌名: J.Photopolymer Science and Technology 巻: 24 ページ: 647-650
  • NAID: 130004464934
  • 査読あり
• [学会発表] Effect of Mechanical Stress on Electrolyte Film for Flexible Sheet Type Direct Methanol Fuel Cell (2013)
  • 著者名/発表者名: Yosuke Sakurai, Akira Kawai
  • 学会等名: The 2nd International GIGAKU Conference in Nagaoka
  • 発表場所: Nagaoka University of Technology
• [学会発表] Micro Pattern Fabrication of Perflurosulfonic Acid (PFSA) Film by CF4 RIE Process (2013)
  • 著者名/発表者名: Yosuke Sakurai, Kenta Takahashi, Akira Kawai
  • 学会等名: 26th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2013)
  • 発表場所: Hotel Roiton(Sapporo)
• [学会発表] Photoresist/Pt Electrode/Perflurosulfonic Acid (PFSA) Multilayer Structure for Single Chip Micro Direct Methanol Fuel Cell (SC-μDMFC) (2013)
  • 著者名/発表者名: Yosuke Sakurai, Daisuke Tanaka, Shunsuke Ohata, Akira Kawai
  • 学会等名: 26th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2013)
  • 発表場所: Hotel Roiton(Sapporo)
• [学会発表] Single chip micro direct methanol fuel cell (SC-μDMFC) fabricated by MEMS Process (2013)
  • 著者名/発表者名: Yosuke Sakurai, Daisuke Tanaka, Shunsuke Ohata, Akira Kawai
  • 学会等名: IEEEポスターセッション平成25年度電気学会東京支部新潟支所研究発表会
  • 発表場所: 新潟大学
• [学会発表] Surface energy analysis of Indium Tin Oxide (ITO) thin films on annealing treatment (2013)
  • 著者名/発表者名: Shun Kamada，Akira Kawai
  • 学会等名: IEEEポスターセッション平成25年度電気学会東京支部新潟支所研究発表会
  • 発表場所: 新潟大学
• [学会発表] A SU-8 Photoresist Film as Electrical Stable Layer in Liquid Environment (2013)
  • 著者名/発表者名: Yuta Noguchi, Akira Kawai
  • 学会等名: The 2nd International GIGAKU Conference in Nagaoka
  • 発表場所: 新潟大学
• [学会発表] リソグラフィプロセスを用いた燃料電池用電解質のマイクロパターン形成 (2013)
  • 著者名/発表者名: 桜井、河合
  • 学会等名: 平成２５年度電気学会東京支部新潟支所研究発表会
  • 発表場所: 新潟大学
• [学会発表] Micro local heating system integrated with surround microfluidic channel (2013)
  • 著者名/発表者名: Yuta Noguchi, Akira Kawai
  • 学会等名: 電気学会センサ・マイクロマシン部門 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
  • 発表場所: 仙台国際会議場
• [学会発表] マイクロヒータ／チャネルデバイスの局所加熱特性 (2013)
  • 著者名/発表者名: 野口悠太、河合 晃
  • 学会等名: 平成25年度（第23回）電気学会東京支部新潟支所研究発表会
  • 発表場所: 新潟大学
• [学会発表] ポジ型およびネガ型フォトレジストの溶解度の差を用いたマイクロチューブの作製 (2013)
  • 著者名/発表者名: 大塚、高橋、河合
  • 学会等名: 平成２５年度電気学会東京支部新潟支所研究発表会
  • 発表場所: 新潟大学
• [学会発表] Fabrication of Micro Tube Array by Combining Positive with Negative Photoresist due to Solubility Difference in Developer (2013)
  • 著者名/発表者名: Kazutoshi Otsuka, Kenta Takahashi, Akira Kawai
  • 学会等名: 電気学会センサ・マイクロマシン部門, 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
  • 発表場所: 仙台国際会議場
• [学会発表] Bio-plant power collecting system by functional electrode (2013)
  • 著者名/発表者名: 大谷翔吾、河合 晃
  • 学会等名: 電気学会センサ・マイクロマシン部門大会 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
  • 発表場所: 仙台国際会議場
• [学会発表] 紫外線照射により活性化された二酸化チタン膜における表面エネルギーの解析 (2013)
  • 著者名/発表者名: 鎌田 隼，河合 晃
  • 学会等名: 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」
  • 発表場所: 仙台国際会議場
• [学会発表] 紫外線照射による酸化チタン膜表面の活性化 (2013)
  • 著者名/発表者名: 鎌田 隼，河合 晃
  • 学会等名: 平成25年度電気学会東京支部新潟支所研究発表会
  • 発表場所: 新潟大学
• [学会発表] C-V測定を用いた誘電膜の特性評価 (2013)
  • 著者名/発表者名: 篠崎雅也、河合 晃
  • 学会等名: 平成25年度電気学会東京支部新潟支所研究発表会
  • 発表場所: 新潟大学
• [学会発表] Condensation control of Nanoscale Polymer Aggregates by using atomic force microscope tip (2012)
  • 著者名/発表者名: Akira Kawai
  • 学会等名: 1st International GIGAKU Conference in Nagaoka (IGCN2012)
  • 発表場所: Nagaoka, Japan
• [学会発表] Monitoring and Modeling for Response Time of Biopotential in Plant Cells (2012)
  • 著者名/発表者名: Akira Kawai
  • 学会等名: The Electrochemical Society
  • 発表場所: Honolulu, Hawaii
• [学会発表] Peeling Force of Polymer Micro Pattern by Direct Peelingby using AFM Tip (DPAT) (2012)
  • 著者名/発表者名: Akira Kawai
  • 学会等名: The Electrochemical Society
  • 発表場所: Honolulu, Hawaii
• [学会発表] Stress Durability of Electrolyte Structure in Flexible Sheet type Direct Methanol Fuel Cell (FS-DMFC) (2012)
  • 著者名/発表者名: Akira Kawai
  • 学会等名: The Electrochemical Society
  • 発表場所: Honolulu, Hawaii
• [学会発表] Condensation control of Nanoscale Polymer Aggregates by using atomic force microscope tip (2012)
  • 著者名/発表者名: Akira Kawai
  • 学会等名: The Electrochemical Society
  • 発表場所: Honolulu, Hawaii
• [学会発表] SU-8フォトレジストの人工皮膚材料としての検討 (2012)
  • 著者名/発表者名: 河合 晃
  • 学会等名: 平成２４年度電気学会東京支部新潟支所研究発表会
  • 発表場所: 長岡技術科学大学
• [学会発表] 植物電位と表面温度の多点測定による緑葉植物の育成観察 (2012)
  • 著者名/発表者名: 河合 晃
  • 学会等名: 平成２４年度電気学会東京支部新潟支所研究発表会
  • 発表場所: 長岡技術科学大学
• [学会発表] 摩擦蓄電エネルギーの民生機器の実用化の検討 (2012)
  • 著者名/発表者名: 河合 晃
  • 学会等名: 平成２４年度電気学会東京支部新潟支所研究発表会
  • 発表場所: 長岡技術科学大学
• [学会発表] Condensation control of nanoscale polymer aggregates by using atomic force microscope (AFM) tip (2012)
  • 著者名/発表者名: Akira Kawai
  • 学会等名: 1st International GIGAKU Conference in Nagaoka
  • 発表場所: Nagaoka, Japan(招待講演)
• [学会発表] Fluid Control MEMS constructed with Polymer Materials (2011)
  • 著者名/発表者名: Akira Kawai
  • 学会等名: International symposium on materials & processes for advanced giga-bit-scale lithography 2011
  • 発表場所: Chiba, Japan
  • 年月日: 2011-06-24
• [学会発表] Fluid Control MEMS constructed with Polymer Materials (2011)
  • 著者名/発表者名: Akira Kawai
  • 学会等名: International symposium on materials & processes for advanced giga-bit-scale lithography 2011
  • 発表場所: Chiba, Japan(招待講演)
  • 年月日: 2011-06-24
• [学会発表] Nano- Porous Structure in Polymer Micro Pattern Analyzed by Atomic (2011)
  • 著者名/発表者名: Akira Kawai
  • 学会等名: Force Microscopy(AFM) Nano S&T 2011
  • 発表場所: Dalian, China
  • 招待講演
• [学会発表] Nanoscale Topography of Polymer Film Surface in Dry/Wet Conditions (2011)
  • 著者名/発表者名: Akira Kawai
  • 学会等名: Nano S&T 2011
  • 発表場所: Dalian, China
• [学会発表] 植物の細胞間電位の測定とモニタリング (2011)
  • 著者名/発表者名: 野口悠太, 河合 晃
  • 学会等名: 電気学会C 部門大会
  • 発表場所: 富山大
• [学会発表] X 線光電子分光法(XPS)によるSi 基板上のシランカップリング処理層の再生評価と制御 (2011)
  • 著者名/発表者名: 相場 崇, 河合 晃
  • 学会等名: 電気学会C 部門大会講演
  • 発表場所: 富山大
• [学会発表] メタノール水溶液中でのワイヤー電極の電位検出 (2011)
  • 著者名/発表者名: 森永和也, 河合 晃
  • 学会等名: 電気学会C部門大会講演
  • 発表場所: 富山大学
• [学会発表] シート型直接メタノール燃料電池(DMFC)の外部荷重による発電基礎特性 (2011)
  • 著者名/発表者名: 桜井 洋輔, 河合 晃
  • 学会等名: 電気学会A 部門大会講演
  • 発表場所: 東京工業大学
• [学会発表] 緑葉植物の0～ 700mV の局所電位測定と解析 (2011)
  • 著者名/発表者名: 大谷 翔吾, 河合 晃
  • 学会等名: 電気学会A 部門大会講演
  • 発表場所: 東工大
• [学会発表] メタノール水溶液中での高分子膜内の微小電流解析 (2011)
  • 著者名/発表者名: 森田 直也, 河合 晃
  • 学会等名: 電気学会A 部門大会講演
  • 発表場所: 東京工業大学
• [学会発表] Nano-Porous Structure in Polymer Micro Pattern Analyzed by Atomic Force Microscopy (AFM) (2011)
  • 著者名/発表者名: Akira Kawai
  • 学会等名: Nano S&T 2011
  • 発表場所: Dalian, China(招待講演)
• [学会発表] Nanoscale Topography of Polymer Film Surface in Dry/Wet Conditions (2011)
  • 著者名/発表者名: Akira Kawai
  • 学会等名: Nano S&T 2011
  • 発表場所: Dalian, China(招待講演)
• [学会発表] 植物の細胞間電位の測定とモニタリング (2011)
  • 著者名/発表者名: 野口悠太、河合晃
  • 学会等名: 電気学会C部門大会
  • 発表場所: 富山大学
• [学会発表] X線光電子分光法(XPS)によるSi基板上のシランカップリング処理層の再生評価と制御 (2011)
  • 著者名/発表者名: 相場崇、河合晃
  • 学会等名: 電気学会C部門大会
  • 発表場所: 富山大学
• [学会発表] メタノール水溶液中でのワイヤー電極の電位検出 (2011)
  • 著者名/発表者名: 森永和也、河合晃
  • 学会等名: 電気学会C部門大会
  • 発表場所: 富山大学
• [学会発表] シート型直接メタノール燃料電池(DMFC)の外部荷重による発電基礎特性 (2011)
  • 著者名/発表者名: 桜井洋輔、河合晃
  • 学会等名: 電気学会A部門大会
  • 発表場所: 東京工業大学
• [学会発表] 緑葉植物の0～700mVの局所電位測定と解析 (2011)
  • 著者名/発表者名: 大谷翔吾、河合晃
  • 学会等名: 電気学会A部門大会
  • 発表場所: 東京工業大学
• [学会発表] メタノール水溶液中での高分子膜内の微小電流解析 (2011)
  • 著者名/発表者名: 森田直也、河合晃
  • 学会等名: 電気学会A部門大会
  • 発表場所: 東京工業大学
• [学会発表] Effect of Mechanical Stress on Electrolyte Film for Flexible Sheet Type Direct Methanol Fuel Cell
  • 著者名/発表者名: Yosuke Sakurai, Akira Kawai
  • 学会等名: The 2ndInternational GIGAKU Conference in Nagaoka (2nd IGCN)
• [学会発表] Micro Pattern Fabrication of Perflurosulfonic Acid (PFSA) Film by CF4 RIE Process
  • 著者名/発表者名: Yosuke Sakurai, Kenta Takahashi, Akira Kawai
  • 学会等名: 26thInternational Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2013)
• [学会発表] Photoresist/Pt Electrode/Perflurosulfonic Acid (PFSA) Multilayer Structure for Single Chip Micro Direct Methanol Fuel Cell (SC- μ DMFC)
  • 著者名/発表者名: Yosuke Sakurai, Daisuke Tanaka, Shunsuke Ohata, Akira Kawai
  • 学会等名: 26th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2013)
• [学会発表] Single chip micro direct methanol fuel cell (SC-μDMFC) fabricated by MEMS Process
  • 著者名/発表者名: Yosuke Sakurai, Daisuke Tanaka, Shunsuke Ohata, Akira Kawai
  • 学会等名: IEEE ポスターセッション平成25年度電気学会東京支部新潟支所研究発表会
• [学会発表] A SU-8 Photoresist Film as Electrical Stable Layer in Liquid Environment MP-11
  • 著者名/発表者名: Yuta Noguchi, Akira Kawai
  • 学会等名: The 2nd International GIGAKU Conference in Nagaoka
• [学会発表] Surface energy analysis of Indium Tin Oxide (ITO) thin films on annealing treatment
  • 著者名/発表者名: Shun Kamada, Akira Kawai
  • 学会等名: 平成25年度電気学会東京支部新潟支所研究発表会, IEEE-07
• [学会発表] Monitoring and Modeling for Response Time of Biopotential in Plant Cells
  • 著者名/発表者名: Yuta Noguchi, Akira Kawai
  • 学会等名: The Electrochemical Society, Abstract #69, Honolulu PRiME
• [学会発表] Peeling Force of Polymer Micro Pattern by Direct Peeling by using AFM Tip (DPAT)
  • 著者名/発表者名: Takashi Aiba, Akira Kawai
  • 学会等名: The Electrochemical Society, Abstract #68, Honolulu PRiME
• [学会発表] Stress Durability of Electrolyte Structure in Flexible Sheet type Direct Methanol Fuel Cell (FS-DMFC)
  • 著者名/発表者名: Yosuke Sakurai, Akira Kawai
  • 学会等名: The Electrochemical Society, Abstract #59, Honolulu PRiME
• [学会発表] リソグラフィプロセスを用いた燃料電池用電解質のマイクロパターン形成, I-13
  • 著者名/発表者名: 桜井, 河合
  • 学会等名: 平成25年度電気学会東京支部新潟支所研究発表会
• [学会発表] Micro local heating system integrated with surround microfluidic channel
  • 著者名/発表者名: Yuta Noguchi, Akira Kawai
  • 学会等名: 電気学会センサ・マイクロマシン部門 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 6PM3-PSS-128
• [学会発表] Single Chip Micro Direct Methanol Fuel Cell (SC-μDMFC) composed with Multilayer Structure
  • 著者名/発表者名: Yosuke Sakurai, Daisuke Tanaka, Shunsuke Ohata, Akira Kawai
  • 学会等名: 電気学会センサ・マイクロマシン部門 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 5PM3-PSS-119
• [学会発表] マイクロヒータ/チャネルデバイスの局所加熱特性
  • 著者名/発表者名: 野口, 河合
  • 学会等名: (第23回)電気学会東京支部新潟支所研究発表会
• [学会発表] ポジ型およびネガ型フォトレジストの溶解度の差を用いたマイクロチューブの作製, I-14
  • 著者名/発表者名: 大塚, 高橋, 河合
  • 学会等名: 平成25年度電気学会東京支部新潟支所研究発表会
• [学会発表] Fabrication of Micro Tube Array by Combining Positive with Negative Photoresist due to Solubility Difference in Developer
  • 著者名/発表者名: Kazutoshi Otsuka, Kenta Takahashi, Akira Kawai
  • 学会等名: 電気学会センサ・マイクロマシン部門, 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
• [学会発表] Bio-plant power collecting system by functional electrode
  • 著者名/発表者名: 大谷翔吾, 河合 晃
  • 学会等名: 電気学会センサ・マイクロマシン部門大会 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
• [学会発表] 紫外線照射により活性化された二酸化チタン膜における表面エネルギーの解析
  • 著者名/発表者名: 鎌田 隼, 河合 晃
  • 学会等名: 電気学会センサ・マイクロマシン部門大会 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
• [学会発表] 紫外線照射による酸化チタン膜表面の活性化
  • 著者名/発表者名: 鎌田 隼, 河合 晃
  • 学会等名: 平成25年度電気学会東京支部新潟支所研究発表会
• [学会発表] C-V 測定を用いた誘電膜の特性評価
  • 著者名/発表者名: 篠崎雅也, 河合 晃
  • 学会等名: 平成25年度(第23回)電気学会東京支部新潟支所研究発表会
• [学会発表] SU-8 フォトレジストの人工皮膚材料としての検討
  • 著者名/発表者名: 大塚和俊, 河合 晃
  • 学会等名: 平成24年度電気学会東京支部新潟支所研究発表会
• [学会発表] 植物電位と表面温度の多点測定による緑葉植物の育成観察
  • 著者名/発表者名: 大谷翔梧, 河合 晃
  • 学会等名: 平成24年度電気学会東京支部新潟支所研究発表会
• [学会発表] 植物電位・電流シグナルにおける測定部位の検討
  • 著者名/発表者名: 大谷翔吾, 河合 晃
  • 学会等名: 平成25年度電気学会東京支部新潟支所発表会
• [学会発表] 摩擦蓄電エネルギーの民生機器の実用化の検討
  • 著者名/発表者名: 窪田直也, 河合 晃
  • 学会等名: 平成24年度電気学会東京支部新潟支所研究発表会
• [図書] 高分子における劣化・破壊現象の写真・データ事例集, 第14章第6節 塗膜の乾燥不良事例 ～クラック,密着不良～ (2014)
  • 著者名/発表者名: 河合
  • 出版者: 技術情報協会
• [図書] 気泡・ボイドの発生メカニズムと未然防止・除去技術,第1章第2節 塗るときなぜ気泡が発生するのか (2014)
  • 著者名/発表者名: 河合
  • 出版者: 技術情報協会
• [図書] 高分子における劣化・破壊現象の写真・データ事例集 (2014)
  • 著者名/発表者名: 河合 晃、分担執筆
  • 総ページ数: 729
  • 出版者: 技術情報協会
• [図書] 気泡・ボイドの発生メカニズムと未然防止・除去技術 (2014)
  • 著者名/発表者名: 河合 晃、分担執筆
  • 総ページ数: 544
  • 出版者: 技術情報協会
• [図書] 薄膜塗布技術と乾燥トラブル対策 (2014)
  • 著者名/発表者名: 河合 晃、分担執筆
  • 総ページ数: 825
  • 出版者: 技術情報協会
• [図書] 薄膜塗布技術と乾燥トラブル対策,第8章第5節 超臨界乾燥, 第10章第6節 レべリング性と乾燥速度の両立, 第10章11節 さらに高品位な膜を作るためのテクニック (2013)
  • 著者名/発表者名: 河合
  • 出版者: 技術情報協会
• [図書] 欠陥を出さない!良い塗布膜を得るためのコントロール技術 (2012)
  • 著者名/発表者名: 河合 晃
  • 総ページ数: 197
  • 出版者: サイエンス&テクノロジー
• [図書] 現場で応用できるコーティングの理論と現象-トラブルをメカニズムから考える (2012)
  • 著者名/発表者名: 河合 晃
  • 総ページ数: 184
  • 出版者: 加工技術研究会
• [図書] シランカップリング剤の効果と使用法 (2012)
  • 著者名/発表者名: 河合
  • 出版者: S&T
• [図書] 「欠陥を出さない！良い塗布膜を得るためのコントロール技術」 (2012)
  • 著者名/発表者名: 河合 晃
  • 総ページ数: 197
  • 出版者: サイエンス＆テクノロジー出版
• [図書] 現場で応用できるコーティングの理論と現象－トラブルをメカニズムから考える－ (2012)
  • 著者名/発表者名: 河合 晃
  • 総ページ数: 184
  • 出版者: 加工技術研究会
• [図書] レジストにおけるシランカップリング剤の効果と使用方法および処理装置 (2012)
  • 著者名/発表者名: 河合 晃
  • 総ページ数: 395
  • 出版者: サイエンス＆テクノロジー出版
• [図書] 塗膜・レジスト膜の乾燥・付着技術とトラブル対策 (2011)
  • 著者名/発表者名: 河合 晃
  • 総ページ数: 196
  • 出版者: 情報機構
• [図書] 粒子分散系塗布膜を中心にした高粘度スラリーの調液・塗布・乾燥技術,第5節 各種乾燥プロセスにおける装置選定技術 (2011)
  • 著者名/発表者名: 河合
  • 出版者: 技術情報協会
• [図書] バインダー(結着剤)の失敗しない選び方・使い方事例集,第6 節 乾燥時のバインダー使用の留意点と条件設定,第7 節バインダー乾燥・焼成装置の機構と条件設定,第8 節 バインダー乾燥・焼成後のトラブル事例および対策 (2011)
  • 著者名/発表者名: 河合
  • 出版者: 技術情報協会
• [図書] レジストプロセスの最適化テクニック,～微細化・トラブル解消のための工程別対策および材料技術～ (2011)
  • 著者名/発表者名: 河合
  • 出版者: 情報機構
• [備考]
  • URL: http://kawai.nagaokaut.ac.jp
• [備考] ナノ・マイクロシステム工学研究室
  • URL: http://kawai.nagaokaut.ac.jp
• [産業財産権] 振動測定装置及び振動測定方法 (2007)
  • 発明者名: 河合 晃
  • 権利者名: 長岡技術科学大学
  • 産業財産権種類: 特許
  • 取得年月日: 2007-06-27
• [産業財産権] ナノ気泡の判別方法及びその装置 (2007)
  • 発明者名: 鈴木健太, 河合 晃
  • 権利者名: 長岡技術科学大学
  • 産業財産権種類: 特許
  • 取得年月日: 2007-11-19