ガウシアン形状振動子を用いた単一細胞レベル極限センシング

• 研究課題/領域番号: 23510126
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: ナノ材料・ナノバイオサイエンス
• 研究機関: 新潟大学
• 研究代表者: 安部 隆 新潟大学, 自然科学系, 教授 (00333857)
• 研究期間 (年度): 2011 – 2013
• 研究課題ステータス: 完了 (2013年度)
• 配分額: 5,460千円 (直接経費: 4,200千円、間接経費: 1,260千円); 2013年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円); 2012年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円); 2011年度: 2,340千円 (直接経費: 1,800千円、間接経費: 540千円)
• キーワード: 水晶振動子微小天秤 / 単一細胞 / ナノ計測 / MEMS / 単一微粒子 / 極限センシング / 水晶振動子 / QCMセンサ / 微粒子

研究概要

単一細胞レベルのセンシングを目指して微小質量を検出可能な水晶センサの高感度化を目指した。シミュレーションを参考にした振動子の微細加工で振動分布を増幅し質量検出の増幅に成功した。質量への応答の線形性もあり、単一細胞よりもはるかに微小な質量検出が可能になった。本研究成果は、細胞機能の研究のみならず、微小材料の評価への使用が期待される。

研究成果

• [雑誌論文] A fabrication method of high-Q quartz crystal resonator using double-layered etching mask for DRIE (2012)
  • 著者名/発表者名: Takashi Abe 、Yousuke Itasaka
  • 雑誌名: Sensors and Actuators A 巻: vol. 188 ページ: 503-506
  • 査読あり
• [雑誌論文] A fabrication method of high-Q quartz crystal resonator using double-layered etching mask for DRIE (2012)
  • 著者名/発表者名: Takashi Abe, Yousuke Itasaka
  • 雑誌名: SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL 巻: 188 ページ: 503-506
  • DOI: 10.1016/j.sna.2012.02.006
  • 査読あり
• [学会発表] 楕円形状AT カット水晶振動子の形状最適化 (2013)
  • 著者名/発表者名: 渡邊 将、気谷裕樹、寒川雅之、安部隆
  • 学会等名: 第30回「センサ・マイクロマシン応用システム」シンポジウム
  • 発表場所: 仙台
• [学会発表] 微細加工 QCM を用いた単一微粒子計測技術の開発 (2013)
  • 著者名/発表者名: 気谷裕樹、渡邊 将、寒川雅之、安部隆
  • 学会等名: 第30回「センサ・マイクロマシン応用システム」シンポジウム
  • 発表場所: 仙台
• [学会発表] 楕円形状ATカット水晶振動子の形状最適化 (2013)
  • 著者名/発表者名: 渡邉 将，気谷 裕樹，寒川 雅之，安部 隆
  • 学会等名: 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
  • 発表場所: 仙台国際センター
• [学会発表] 微細加工QCMを用いた単一微粒子計測技術の開発 (2013)
  • 著者名/発表者名: 気谷 裕樹，渡邉 将，寒川 雅之，安部 隆
  • 学会等名: 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
  • 発表場所: 仙台国際センター
• [学会発表] A simple method to fabricate 3D microstructures using gray-scale lithography and dry etching (2011)
  • 著者名/発表者名: Yuuki Yamada、Takashi Abe
  • 発表場所: 京都
  • 年月日: 2011-11-11
• [学会発表] 結晶異方性を考慮した水晶振動子の形状最適化 (2011)
  • 著者名/発表者名: 柳澤真規、安部 隆
  • 学会等名: 第28回「センサ・マイクロマシン応用システム」シンポジウム
  • 発表場所: 東京
• [学会発表] 立体モデルを縮小可能なグレイスケールリソグラフィ法 (2011)
  • 著者名/発表者名: 山田悠貴、安部 隆
  • 学会等名: 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
  • 発表場所: 東京
• [学会発表] A DRY ETCHING METHOD USING DOUBLE-LAYERED MASK FOR MODULATING SHAPE OF DEEP-ETCHED QUARTZ SURFACE (2011)
  • 著者名/発表者名: Takashi Abe、Yousuke Itasaka
  • 学会等名: Tech. Digest of Transducers
  • 発表場所: 北京
• [学会発表] A DRY ETCHING METHOD USING DOUBLE-LAYERED ETCHING MASK FOR MODULATING SHAPE OF DEEP-ETCHED QUARTZ SURFACE (2011)
  • 著者名/発表者名: Takashi Abe, Yousuke Itasaka
  • 学会等名: Transducers 11
  • 発表場所: 北京
• [学会発表] A simple method to fabricate 3D microstructures using gray-scale lithography and dry etching (2011)
  • 著者名/発表者名: Yuuki Yamada, Takashi Abe
  • 学会等名: DPS 2011
  • 発表場所: 京都
• [学会発表] 結晶異方性を考慮した水晶振動子の形状最適化 (2011)
  • 著者名/発表者名: 柳澤真規、安部 隆
  • 学会等名: 第２８回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
  • 発表場所: 東京
• [学会発表] 立体モデルを縮小可能なグレイスケールリソグラフィ法 (2011)
  • 著者名/発表者名: 山田悠貴、安部 隆
  • 学会等名: 第２８回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
  • 発表場所: 東京