| 研究課題/領域番号 |
23540354
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
素粒子・原子核・宇宙線・宇宙物理
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| 研究機関 | 大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構 |
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研究代表者 |
中村 誠一 大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構, 加速器科学支援センター, シニアフェロー (70391729)
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| 研究分担者 |
幅 淳二 大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構, 素粒子原子核研究所, 教授 (60180923)
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| 研究協力者 |
上原 秀雄 レイテック株式会社, R&Dチーフ, アドバイザー
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| 研究期間 (年度) |
2011-04-28 – 2015-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2014年度)
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| 配分額 *注記 |
1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2013年度: 260千円 (直接経費: 200千円、間接経費: 60千円)
2012年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2011年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
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| キーワード | RE-GEM / 短絡抑制 / 導電性高分子 / ウェットエッチング / 銀ナノ粒子焼結膜 / レーザエッチング / KrFレーザ / REGEM / PEDOT/PSS / メラミン樹脂 / 微細加工 / 密着性 / 銀ナノ粒子 / エキシマレーザ加工 / 表面改質 / 硫酸 / DEPOT/PSS / ポリイミドフィルム |
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| 研究成果の概要 |
PEDOTフィルムは，GEMの壊滅的な損傷を抑制するために，高抵抗値材料としてチオフェン系導電性高分子PEDOT/PSSを用い，これをポリイミドフィルムに固定することに成功した．フィルム表面にジグリコールアミンを化学修飾させることによって可能とした．
この素材には特有の課題(難接着性や１５０℃以下の低温加工)があった．ウェットエッチング法では銀ナノ粒子焼結膜をベースとする金属エッチングマスクに目処ができた．また，レーザエッチングでは波長２４８nmの紫外レーザが熱問題を解決できることが判った．ともに，RE-GEMの完成には至ってないが，PEDOT/PSSという電極材料の課題は解決の見込みを得た．
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