| 研究課題/領域番号 |
23540577
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
プラズマ科学
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| 研究機関 | 佐賀大学 |
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研究代表者 |
大津 康徳 佐賀大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (50233169)
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| 研究期間 (年度) |
2011 – 2013
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| 研究課題ステータス |
完了 (2013年度)
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| 配分額 *注記 |
5,070千円 (直接経費: 3,900千円、間接経費: 1,170千円)
2013年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2012年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2011年度: 2,600千円 (直接経費: 2,000千円、間接経費: 600千円)
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| キーワード | ハイブリッドリングホロー放電 / ホロー陰極効果 / 容量結合放電 / 2次電子放出係数 / 多重リング状ホロー電極 / ２次電子放出係数 / ガンマ作用 / 容量結合プラズマ / 粒子シミュレーション / ハイブリッドリングﾎﾛ-放電 |
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| 研究概要 |
太陽電池パネルや液晶ディスプレイなどの機器の一部に使用されている機能性薄膜は、高周波容量結合放電プラズマにより広く製造されている。しかしながら、生産性に課題があり、高効率なプラズマ装置が産業界から要求されている。本研究では、従来にない新しい放電方式を提案し、同電力下で高密度かつ均一なプラズマ発生方式を確立した。具体的には、リング状型の溝をプラズマを作る電極に形成し、その表面に、プラズマを容易につくると期待される2次電子放出係数の高い薄膜を塗布することにより、要求される性能を達成させている。今後は、大面積化に展開することにより、実用化が期待される。
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