研究課題
基盤研究(C)
走査位相計測電子顕微鏡法を開発した。高感度CCDカメラを用いて、バイプリズムを用いて形成された干渉縞の1次元強度プロファイルを、その垂直方向への1回の試料走査と連動させて取得し、コンピュータ構築処理することで、2次元位相マップを高速に得ることが出来た。縞走査法と同様に干渉縞間隔以下の空間分解能(超解像度)の位相像取得が可能となった。
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Japanese Journal of Applied Physics
巻: 53 号: 2S ページ: 02BC23-02BC23
10.7567/jjap.53.02bc23
210000143371
Microscopy
巻: 62巻 ページ: 563-570