| 研究課題/領域番号 |
23560036
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
応用光学・量子光工学
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| 研究機関 | 福井大学 |
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研究代表者 |
勝山 俊夫 福井大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (90467134)
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| 研究分担者 |
和田 恭雄 東洋大学, 大学院学際・融合科学研究科, 教授 (50386736)
青木 画奈 神戸大学, 自然科学系先端融合研究環重点研究部, 助教 (90332254)
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| 研究期間 (年度) |
2011-04-28 – 2015-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2014年度)
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| 配分額 *注記 |
5,330千円 (直接経費: 4,100千円、間接経費: 1,230千円)
2013年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2012年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
2011年度: 2,340千円 (直接経費: 1,800千円、間接経費: 540千円)
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| キーワード | シリコンフォトニクス / アモルファス・シリコン / Si細線導波路 / フォトニック結晶 / ベータ鉄シリサイド / シリコン細線導波路 |
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| 研究成果の概要 |
シリコンをベースとする光回路として、新規な大面積立体構造の実現を目的に、アモルファス・シリコン(a-Si)を基本とした光素子の検討を行った。その結果、（１）20μm角の大面積エア・ブリッジ型スラブ構造を、a-Si膜を用いて実現することができた。（２）a-Siからなる細線導波路の上にSiO2層を介し、a-Siからなるグレーティング層を形成して、2層構造の立体光回路を実現した。（３）β-FeSi2発光層の上に、SiO2層を介して、a-Siからなる細線導波路を形成し、方向性結合器型の立体構造発光デバイスを実現した。この結果、a-Si膜を基本として、多様な立体光回路が実現できることを明らかにした。
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