ＭＥＭＳ構造材料への展開を目指したバルク金属ガラス薄膜の材料探索

• 研究課題/領域番号: 23560095
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 機械材料・材料力学
• 研究機関: 兵庫県立大学
• 研究代表者: 井上 尚三 兵庫県立大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (50193587)
• 研究期間 (年度): 2011 – 2013
• 研究課題ステータス: 完了 (2013年度)
• 配分額: 5,200千円 (直接経費: 4,000千円、間接経費: 1,200千円); 2013年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円); 2012年度: 3,120千円 (直接経費: 2,400千円、間接経費: 720千円); 2011年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
• キーワード: 金属ガラス / 薄膜 / スパッタリング / コンビナトリアル / Zr基金属ガラス

研究概要

MEMS分野で利用できるZr-Al-TM（TM: 遷移金属）金属ガラス材料を開発することを目的とし、優れた特性を持つ材料組成を探索するとともに、将来この材料を実用化する際に必要となる合金母材から直接薄膜を作製する技術を検討した。その結果、Zr-Ni-Al合金薄膜ではAlが30%付近に最適組成があることを示すとともに、単一ターゲットからZr-Cu-Ni-Al薄膜を作製する条件と機械特性の関係を明らかにした。また、この材料によるマイクロ３次元構造体の作製も実現した。

研究成果

• [学会発表] 合金ターゲットのスパッタリングによって作製したZrCuNiAl金属ガラス薄膜の機械的性質の評価 (2013)
  • 著者名/発表者名: 船越政伸,西祐一,吉木啓介,生津資大,井上尚三
  • 学会等名: 精密工学会2013年度秋季学術講演会
  • 発表場所: 関西大学
  • 年月日: 2013-09-12
• [学会発表] ZrNiAl系金属ガラス薄膜の機械的性質の評価 (2013)
  • 著者名/発表者名: 清水実結,船越政伸,吉木啓介,生津資大,井上尚三
  • 学会等名: 精密工学会2013年度春季学術講演会
  • 発表場所: 東京工業大学
  • 年月日: 2013-03-13
• [学会発表] 合金ターゲットのスパッタリングによって作製したZrCuNiAl金属ガラス薄膜の機械的性質の評価 (2013)
  • 著者名/発表者名: 船越政伸
  • 学会等名: 精密工学会2013年度秋季学術講演会
  • 発表場所: 関西大学 千里山キャンパス（大阪府吹田市）
• [学会発表] 合金ターゲットを用いたスパッタ法によるZrCuNiAl金属ガラス薄膜の作製 (2012)
  • 著者名/発表者名: 船越政伸,吉木啓介,生津資大,井上尚三
  • 学会等名: 精密工学会2012年度秋季学術講演会
  • 発表場所: 九州工業大学
  • 年月日: 2012-09-14
• [学会発表] コンビナトリアルスパッタリング法によるZrNiAl金属ガラス薄膜の組成探索 (2011)
  • 著者名/発表者名: 清水実結,吉木啓介,生津資大,井上尚三
  • 学会等名: 精密工学会2011年度秋季学術講演会
  • 発表場所: 金沢大学
  • 年月日: 2011-09-21
• [学会発表] コンビナトリアルスパッタリング法によるZrNiAl金属ガラス薄膜の組成探索 (2011)
  • 著者名/発表者名: 清水実結
  • 学会等名: 精密工学会2011年度秋季学術講演会
  • 発表場所: 金沢大学 角間キャンパス（石川県）
• [学会発表] 合金ターゲットを用いたスパッタ法によるZrCuNiAl金属ガラス薄膜の作製
  • 著者名/発表者名: 船越政伸
  • 学会等名: 精密工学会2012年度秋季学術講演会
  • 発表場所: 九州工業大学 戸畑キャンパス（福岡県）
• [学会発表] ZrNiAl系金属ガラス薄膜の機械的性質の評価
  • 著者名/発表者名: 清水実結
  • 学会等名: 精密工学会2013年度秋季学術講演会
  • 発表場所: 東京工業大学 大岡山キャンパス（東京都）