研究課題
基盤研究(C)
本研究は,エレクトロスピニング(ES)ナノファイバによるインプリント(NFI)樹脂型の製造法を提案し,得られたNFI樹脂型にナノサイズの粉末からなるペーストを充填し,脱脂・焼結を経て数ミクロン程度の高アスペクト比のマイクロ構造体を得る新規のプロセスを開発した.最小幅1μm,高さ10μmの微細構造(ラインアンドスペース,円柱,円孔)を有するNFI樹脂型の作製に成功した.そのNFI樹脂型に,サブミクロン級のニッケル粉末や酸化チタン粉末と水溶性バインダを混練したペーストをコンタクト印刷し,溶媒脱脂後に健全な脱脂体を得て,それを高温焼成して微細構造を有する焼結体を得る過程での形状変化について調査した.
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