| 研究課題/領域番号 |
23560147
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工 |
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研究代表者 |
由井 明紀 防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工, その他部局等, 教授 (70532000)
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| 研究分担者 |
北嶋 孝之 防衛大学校, システム工学群, 講師 (50546174)
岡畑 豪 防衛大学校, システム工学群, 助教 (80546169)
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| 研究期間 (年度) |
2011 – 2013
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| 研究課題ステータス |
完了 (2013年度)
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| 配分額 *注記 |
5,200千円 (直接経費: 4,000千円、間接経費: 1,200千円)
2013年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2012年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
2011年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
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| キーワード | 静圧軸受 / リニアアクチュエータ / 大口径シリコンウエハ / 研削盤 / 静電容量式センサ / 水静圧軸受 / 切込み機構 / スピンドル / 静剛性 / 回転精度 / 表面粗さ / 国際情報交換 / 水静圧 / 切込み / 環境 |
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| 研究概要 |
切込み機構内蔵水静圧砥石スピンドルを試作した．切込み方向の位置は，静電容量式センサでモニタし，磁気アクチュエータにフィードバックする．静圧軸受の作動媒体には水を用いることにより，環境対応型システムとした．試作スピンドルの回転精度は0.23μm，スラスト方向の静剛性1060N/μmを実現した．試作したスピンドルを立軸ロータリー研削盤に搭載し，#3000のダイヤモンド砥石で450mmシリコンウエハ研削を行い，2nmRaの面粗さを実現した．
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