研究課題
基盤研究(C)
本研究では，最大1mm程度のストローク（ミリストローク）にわたってナノメートルレベルの直動分解能を持つ直動アクチュエータを，同軸二重型差動ボールねじとステッピングモータを一体化することにより設計製作した．また製作したアクチュエータの性能を実験的に評価するとともに誤差の補正方法を検討し，補正システムを実装した．その結果，５nmの駆動分解能と，１ｍｍの全ストロークにわたる累積送り誤差が0.06μm（RMS値）以下のリニアステッピングアクチュエータを実現することができた．
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すべて 雑誌論文 (7件) (うち査読あり 2件) 学会発表 (3件) (うち招待講演 3件)
Proceedings of the 14th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology
巻: vol.1 ページ: 347-350
130005486418
日本機械学会第14回機素潤滑設計部門講演会講演論文集
巻: (招待講演) ページ: 1-4
Proceedings of the 14th euspen International Conference
巻: 印刷中
2012年度精密工学会北陸信越支部学術講演会講演論文集
ページ: 35-36
2012年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
ページ: 263-264
130005031150
巻: １ ページ: 35-36
巻: 全1巻 ページ: 263-264
