シリコン系酸化物潤滑剤コーティング

• 研究課題/領域番号: 23560176
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 設計工学・機械機能要素・トライボロジー
• 研究機関: 独立行政法人物質・材料研究機構
• 研究代表者: 土佐 正弘 独立行政法人物質・材料研究機構, 先進高温材料ユニット, グループリーダー (20343832)
• 研究期間 (年度): 2011 – 2013
• 研究課題ステータス: 完了 (2013年度)
• 配分額: 5,460千円 (直接経費: 4,200千円、間接経費: 1,260千円); 2013年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円); 2012年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円); 2011年度: 2,340千円 (直接経費: 1,800千円、間接経費: 540千円)
• キーワード: トライボロジー / 固体潤滑 / スパッタコーティング / 真空 / 表面分析 / 高温 / 珪素系酸化物 / シリコン系酸化物

研究概要

シリコン系酸化物をはじめとする酸化物の化学組成や化学量論比を調整できるコーティングシステム、および、大気気雰囲気から真空中まで、また、室温から高温まで、摩擦試験環境を大きく可変できるトライボロジー評価装置をそれぞれ設計・試作して研究基盤を確立するとともに、化学組成や量論比を変えながらコーティング膜を高品質で作成し、さらに、雰囲気依存摩擦係数、表面化学組成、化学結合状態、および、結晶構造についてそれぞれ測定検討し、その結果、酸化物潤滑剤コーティングの化学量論比が摩擦係数に及ぼすコーティングプロセス時における雰囲気スパッタ全圧や酸素分圧等重要な基本的知見を得ることができた。

研究成果

• [雑誌論文] 水素放出に及ぼすステンレス鋼の表面加工の効果 (2014)
  • 著者名/発表者名: 板倉明子、土佐正弘、村瀬義治、鈴木真司、高木祥示、後藤哲二
  • 雑誌名: J. Vacuum Soc. Jpn 巻: 57 ページ: 23-26
  • NAID: 40019948175
  • 査読あり
• [雑誌論文] MoS2 Sputtering Coating for Ultrahigh vacuum manipulation (2013)
  • 著者名/発表者名: T,Maruyama, J,Nakagawa, K.Endo, A.Kasahara M.Goto and M.Tosa
  • 雑誌名: J. Physics, Conference Series 巻: 012048 ページ: 417-417
  • 査読あり
• [雑誌論文] 極限環境トライボロジーコーティング (2013)
  • 著者名/発表者名: 佐々木道子、土佐正弘、後藤真宏、笠原章
  • 雑誌名: セラミックス 巻: 48 ページ: 736-736
• [雑誌論文] MoS2 Sputtering Coating for Ultrahigh Vacuum Manipulation (2013)
  • 著者名/発表者名: T.Maruyama, J.Nakagawa, K.Endo, A.Kasahara, M.Goto and M.Tosa
  • 雑誌名: J. Physics 巻: Conference Series 012048 ページ: 417-417
  • 査読あり
• [雑誌論文] Molybdenum Disulfide Coatings for Vacuum Lubrication (2013)
  • 著者名/発表者名: M.Tosa, T.Maruyama, K.Endo, J.Nakagawa, A.Kasahara and M.Goto
  • 雑誌名: Proceedings CD of 19th International Vacuum Congress 巻: TF/SE-1-Or-9 ページ: 31-31
• [雑誌論文] Reduction of Friction by Light (2012)
  • 著者名/発表者名: M.Goto, M.Sasaki, A.Kasahara and M.Tosa
  • 雑誌名: Applied Physics Express 巻: 6 ページ: 472021-472021
  • 査読あり
• [雑誌論文] ハードコーティング用セラミック材料の開発 (2012)
  • 著者名/発表者名: 佐々木道子、土佐正弘、後藤真宏、笠原章
  • 雑誌名: 応用物理 巻: 81 ページ: 769-769
• [雑誌論文] ハードコーティング用セラミックス材料の開発― コンビナトリアルシステムによる酸化物固体潤滑剤被覆 / (2012)
  • 著者名/発表者名: 佐々木道子,後藤真宏,笠原章,土佐正弘
  • 雑誌名: OYO BUTURI 巻: 81 ページ: 769-773
  • NAID: 10031006359
• [雑誌論文] Change in vacuum friction of lubricative coatings effected by orbit environmental test (2012)
  • 著者名/発表者名: 土佐正弘,佐々木道子,後藤真宏,笠原章
  • 雑誌名: Abstracts CD of IACIS 2012 巻: 1
• [雑誌論文] グリーントライボロジーにおける新素材・材料創製と応用 / グリーントライボロジーにおける新素材・材料創製と応用 (2012)
  • 著者名/発表者名: 土佐正弘,辻井敬亘,佐藤貴哉
  • 雑誌名: 月刊トライボロジー 巻: 297 ページ: 58-60
• [雑誌論文] 研究室紹介 物質･材料研究機構 先進高温材料ユニット極限トライボロジーグループ (2012)
  • 著者名/発表者名: 土佐正弘,
  • 雑誌名: 応用物理学会 薄膜･表面物理分科会 NewsLetter 巻: 145 ページ: 47-48
• [雑誌論文] Lubricative Coatings Effected by Environmental Exposure Test in Orbit (2012)
  • 著者名/発表者名: 土佐正弘,佐々木道子,後藤真宏,笠原章
  • 雑誌名: Abstracts CD of IUMRS-ICEM 2012 巻: 1
• [雑誌論文] 真空用二硫化モリブデンコーティング (2012)
  • 著者名/発表者名: 土佐正弘,丸山敏征,中川潤,遠藤克己,後藤真宏,笠原章
  • 雑誌名: 日本トライボロジー学会トライボロジー会議2012秋講演予稿集 巻: 1 ページ: 405-406
• [雑誌論文] 表面析出現象を利用した材料開発 (2012)
  • 著者名/発表者名: 土佐正弘,佐々木道子,後藤真宏,笠原章
  • 雑誌名: 日本真空学会第53回真空に関する連合講演会講演予稿集 巻: 1 ページ: 19-19
• [雑誌論文] 酸化亜鉛コーティングの摩擦特性 (2012)
  • 著者名/発表者名: 土佐正弘,佐々木道子,後藤真宏,笠原章
  • 雑誌名: 第32回表面科学学術講演会講演予稿集 巻: 1 ページ: 229-229
  • NAID: 130005456618
• [雑誌論文] Advanced Solid Lubricative Zinc Oxide Coating (2012)
  • 著者名/発表者名: 土佐正弘,佐々木道子,後藤真宏,笠原章
  • 雑誌名: Abstracts book of TICS 2012 巻: 1 ページ: 33-34
• [雑誌論文] Reduction of Friction Force by Light (2012)
  • 著者名/発表者名: 後藤真宏,佐々木道子,笠原章,土佐正弘
  • 雑誌名: Applied Physics Express 巻: 6 ページ: 472021-472022
  • NAID: 10031166444
  • 査読あり
• [雑誌論文] Low Friction Coating of Zinc Oxide Synthesized by Optimization of Crystal Preffered Orientaion (2011)
  • 著者名/発表者名: M.Goto, M.Sasaki, A.Kasahara and M.Tosa
  • 雑誌名: Tribology Letters 巻: 43 ページ: 155-155
  • 査読あり
• [雑誌論文] Low-Friction Coatings of Zinc Oxide Synthesized by Optimization of Crystal Preferred Orientation (2011)
  • 著者名/発表者名: 後藤真宏,笠原章,土佐正弘
  • 雑誌名: TRIBOLOGY LETTERS 巻: 43 ページ: 155-162
  • 査読あり
• [雑誌論文] Effect of Exposure Test on Transmittance of Molecular Contaminant (2011)
  • 著者名/発表者名: 浦山文隆,小澤清,土佐正弘,木村秀夫,古川睦久
  • 雑誌名: TRANSACTIONS OF THE JAPAN SOCIETY FOR AERONAUTICAL AND SPACE SCIENCES, AEROSPACE TECHNOLOGY JAPAN 巻: 8
  • NAID: 130000917196
  • 査読あり
• [雑誌論文] Optical near-field induced visible response photoelectrochemical water splitting on nanorod TiO2 (2011)
  • 著者名/発表者名: レ・ハク・ホンテ,馬渡和真,ユゥリ・ピホッシュ,川添忠,八井崇,大津元一,土佐正弘,北森武彦
  • 雑誌名: APPLIED PHYSICS LETTERS 巻: 99
  • 査読あり
• [雑誌論文] コンビナトリアルスパッタ成膜装置とZnO膜の摩擦特性制御,後藤真宏,笠原章,土佐正弘 (2011)
  • 著者名/発表者名: 後藤真宏,笠原章,土佐正弘
  • 雑誌名: JOURNAL OF THE VACUUM SOCIETY OF JAPAN 巻: 54 ページ: 565-570
  • 査読あり
• [雑誌論文] Change in Friction of Coatings by Orbit Exposure (2011)
  • 著者名/発表者名: 土佐正弘,笠原章,後藤真宏
  • 雑誌名: PROCEEDINGS FOR REMT 2011 巻: CD ROM
• [雑誌論文] Effect of Exposure Test in Orbit on Vacuum Friction of Solid Lubricative Coatings (2011)
  • 著者名/発表者名: 土佐正弘,笠原章,後藤真宏
  • 雑誌名: ABSTRACTS OF 15TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON THIN FILMS 巻: CD ROM
• [雑誌論文] 軌道暴露により生成された酸化珪素膜 (2011)
  • 著者名/発表者名: 土佐正弘,笠原章,後藤真宏
  • 雑誌名: 第52回真空に関する連合講演会講演予稿集 巻: 1 ページ: 24-24
• [雑誌論文] Reduction of friction force by a piezoelectric material coatings (2011)
  • 著者名/発表者名: 土佐正弘,笠原章,後藤真宏
  • 雑誌名: ABSTRACTS of MRS-J 2011 巻: CD ROM
• [学会発表] Supra-lubrication of Zinc Oxide Coatings (2014)
  • 著者名/発表者名: M.Tosa, M.Sasaki, M.Goto and A.Kasahara
  • 学会等名: CIMTEC 2014
  • 発表場所: Palazzo dei Congressi,Montecatini Terme, Italy
  • 年月日: 2014-06-12
  • 招待講演
• [学会発表] 低摩擦酸化物トライボコーティング (2014)
  • 著者名/発表者名: 土佐正弘、佐々木道子、後藤真宏、笠原章
  • 学会等名: 日本材料科学会
  • 発表場所: 工学院大学
  • 年月日: 2014-06-06
• [学会発表] 酸化物系潤滑コーティングの創製 (2013)
  • 著者名/発表者名: 土佐正弘、佐々木道子、後藤真宏、笠原章
  • 学会等名: 岩手表面技術談話会第29回表面技術セミナー
  • 発表場所: 岩手大学
  • 年月日: 2013-11-29
  • 招待講演
• [学会発表] 高温トライボロジー材料の開発 (2013)
  • 著者名/発表者名: 土佐正弘、佐々木道子、本田博史、鈴木裕、後藤真宏、笠原章
  • 学会等名: 2013年真空・表面科学合同講演会
  • 発表場所: つくば国際会議場
  • 年月日: 2013-11-27
• [学会発表] Molybdenum Disulfide Coatings for Vacuum Lubrication (2013)
  • 著者名/発表者名: M.Tosa, M.Sasaki, M.Goto and A.Kasahara
  • 学会等名: 19th International Vacuum Congress, Paris Internatl
  • 発表場所: Congress Center, Paris, France
  • 年月日: 2013-09-12
• [学会発表] 真空中の摩擦を低減するコーティングの開発 (2013)
  • 著者名/発表者名: 土佐正弘、佐々木道子、後藤真宏、笠原章、丸山敏征、中川潤、遠藤克己
  • 学会等名: 日本材料科学会
  • 発表場所: 工学院大学
  • 年月日: 2013-06-08
• [学会発表] 真空中の摩擦を低減するコーティングの開発 (2013)
  • 著者名/発表者名: 土佐正弘、佐々木道子、 後藤真宏、 笠原章、丸山敏征、 中川潤、遠藤敬介
  • 学会等名: 日本材料科学会主催平成25年度学術講演大会
  • 発表場所: 工学院大学
• [学会発表] Molybdenum Disulfide Coatings for Vacuum Lubrication (2013)
  • 著者名/発表者名: M.Tosa, T.Maruyama, K.Endo, J.Nakagawa, A.Kasahara and M.Goto
  • 学会等名: 19th International Vacuum Congress
  • 発表場所: パリ国際会議場
• [学会発表] 酸化物系潤滑剤コーティングの創製 (2013)
  • 著者名/発表者名: 土佐正弘
  • 学会等名: 岩手表面技術懇話会第29回表面技術セミナー
  • 発表場所: 岩手大学
  • 招待講演
• [学会発表] 酸化物系潤滑コーティングの開発 (2012)
  • 著者名/発表者名: 土佐正弘、佐々木道子、後藤真宏、笠原章
  • 学会等名: 日本真空学会産学連携院回例会セミナー
  • 発表場所: 機械振興会館
  • 年月日: 2012-12-12
  • 招待講演
• [学会発表] Advanced Solid Luburicative coating (2012)
  • 著者名/発表者名: M.Tosa, M.Sasaki, M.Goto and A.Kasahara
  • 学会等名: 5th Tsukuba International Coating Symposium 2012
  • 発表場所: AIST
  • 年月日: 2012-11-29
  • 招待講演
• [学会発表] 酸化亜鉛コーティングの摩擦特性 (2012)
  • 著者名/発表者名: 土佐正弘、佐々木道子、後藤真宏、笠原章
  • 学会等名: 表面科学会
  • 発表場所: 東北大学
  • 年月日: 2012-11-22
  • 招待講演
• [学会発表] 表面析出現象を利用した材料開発 (2012)
  • 著者名/発表者名: 土佐正弘、佐々木道子、本田博史、鈴木裕、後藤真宏、笠原章
  • 学会等名: 日本真空学会
  • 発表場所: 甲南大学、神戸
  • 年月日: 2012-11-14
• [学会発表] Change in vacuum friction of lubricative coatings effected by orbit environmental test (2012)
  • 著者名/発表者名: 土佐正弘,佐々木道子,後藤真宏,笠原章
  • 学会等名: 日本化学会
  • 発表場所: 仙台国際センター
• [学会発表] 真空用二硫化モリブデンコーティング (2012)
  • 著者名/発表者名: 土佐正弘,丸山敏征,中川潤,遠藤克己,後藤真宏,笠原章
  • 学会等名: 日本トライボロジー学会
  • 発表場所: 室蘭工業大学
• [学会発表] Lubricative Coatings Effected by Environmental Exposure Test in Orbit (2012)
  • 著者名/発表者名: 土佐正弘,佐々木道子,後藤真宏,笠原章
  • 学会等名: IUMRS-ICEM 2012
  • 発表場所: パシフィコ横浜
• [学会発表] 表面析出現象を利用した材料開発 (2012)
  • 著者名/発表者名: 土佐正弘,佐々木道子,後藤真宏,笠原章
  • 学会等名: 日本真空学会
  • 発表場所: 甲南大学
• [学会発表] 酸化亜鉛コーティングの摩擦特性 (2012)
  • 著者名/発表者名: 土佐正弘,佐々木道子,後藤真宏,笠原章
  • 学会等名: 日本表面科学会
  • 発表場所: 東北大学
  • 招待講演
• [学会発表] Advanced Solid Lubricative Zinc Oxide Coating (2012)
  • 著者名/発表者名: 土佐正弘,佐々木道子,後藤真宏,笠原章
  • 学会等名: 5th Tsukuba international Coating Symposium 2012
  • 発表場所: 産総研
  • 招待講演
• [学会発表] 酸化物固体潤滑剤コーティングの開発 (2012)
  • 著者名/発表者名: 土佐正弘,佐々木道子,後藤真宏,笠原章
  • 学会等名: 日本真空学会産学連携委員会平成24年12月例会(第262回)
  • 発表場所: 機械振興会館
  • 招待講演
• [学会発表] Change in Friction of Coatings by Orbit Exposure (2011)
  • 著者名/発表者名: 土佐正弘,笠原章,後藤真宏
  • 学会等名: International Symposium on Renewable Energy and Materials Tailoring
  • 発表場所: 京都大学吉田キャンパス
• [学会発表] Effect of Exposure Test in Orbit on Vacuum Friction of Solid Lubricative Coatings (2011)
  • 著者名/発表者名: 土佐正弘,笠原章,後藤真宏
  • 学会等名: 15th International Conference on Thin Films
  • 発表場所: 京都テルサ
• [学会発表] 軌道暴露により生成された酸化珪素膜 (2011)
  • 著者名/発表者名: 土佐正弘,笠原章,後藤真宏
  • 学会等名: 第52回真空に関する連合講演会
  • 発表場所: 学習院大学
• [学会発表] Environmental Effect of Orbit Exposure Test on Vacuum Friction of Lubricative Coatings (2011)
  • 著者名/発表者名: 土佐正弘,笠原章,後藤真宏
  • 学会等名: 第21回日本MRS学術シンポジウム
  • 発表場所: 横浜万国橋会議センター
• [図書] 真空ポンプと排気曲線とベーキング、問題と解説で学ぶ表面科学6 (2013)
  • 著者名/発表者名: 土佐正弘
  • 出版者: 現代表面科学シリーズ
• [図書] 真空ポンプと排気速度とベーキング / 問題と解説で学ぶ表面科学 (現代表面科学シリーズ 6) (2013)
  • 著者名/発表者名: 土佐正弘他
  • 出版者: 日本表面科学会
• [備考]
  • URL: http://www.nims.go.jp/group/g_tribology/index.html
• [産業財産権] 結晶配向が位置により変化する表面領域を形成する方法、摩擦係数最適化方法、及び表面結晶配向の制御方法 (2013)
  • 発明者名: 後藤真宏、佐々木道子、笠原章、土佐正弘
  • 権利者名: 物質・材料研究機構
  • 産業財産権種類: 特許
  • 出願年月日: 2013-04-11
  • 外国
• [産業財産権] 結晶配向、結晶構造及び組成のうちの少なくとも一つが位置により変化する表面領域を形成する方法、摩擦係数最適化方法、及び表面の結晶配向、結晶構造及び組成のうちの少なくとも一つの制御方法 (2013)
  • 発明者名: 後藤真宏、佐々木道子、笠原章、土佐正弘
  • 権利者名: 後藤真宏、佐々木道子、笠原章、土佐正弘
  • 産業財産権種類: 特許
  • 出願年月日: 2013-04-11
• [産業財産権] スパッタガン (2012)
  • 発明者名: 後藤真宏、笠原章、土佐正弘
  • 権利者名: 物質・材料研究機構
  • 産業財産権種類: 特許
  • 出願年月日: 2012-11-12
  • 外国
• [産業財産権] 摩擦摩耗測定用試料加熱装置 (2012)
  • 発明者名: 笠原章,佐々木道子,後藤真宏,土佐正弘
  • 権利者名: 笠原章,佐々木道子,後藤真宏,土佐正弘
  • 産業財産権種類: 特許
  • 出願年月日: 2012-10-02
• [産業財産権] スパッタガン (2012)
  • 発明者名: 後藤真宏,佐々木道子,笠原章,土佐正弘
  • 権利者名: 後藤真宏,佐々木道子,笠原章,土佐正弘
  • 産業財産権種類: 特許
  • 出願年月日: 2012-11-12
• [産業財産権] 真空超高速シャッター (2012)
  • 発明者名: 後藤真宏,佐々木道子,笠原章,土佐正弘
  • 権利者名: 後藤真宏,佐々木道子,笠原章,土佐正弘
  • 産業財産権種類: 特許
  • 出願年月日: 2012-11-20
• [産業財産権] 真空超高速シャッター (2011)
  • 発明者名: 後藤真宏、笠原章、土佐正弘
  • 権利者名: 物質・材料研究機構
  • 産業財産権種類: 特許
  • 出願年月日: 2011-11-28
  • 外国
• [産業財産権] スパッタガン (2011)
  • 発明者名: 後藤真宏、笠原章、土佐正弘
  • 権利者名: 物質・材料研究機構
  • 産業財産権種類: 特許
  • 出願年月日: 2011-11-28
  • 外国
• [産業財産権] 摩擦摩耗測定用試料加熱装置 (2011)
  • 発明者名: 後藤真宏、笠原章、土佐正弘
  • 権利者名: 物質・材料研究機構
  • 産業財産権種類: 特許
  • 出願年月日: 2011-10-11
  • 外国
• [産業財産権] 低摩擦ZnOコーティングおよびその作製方法 (2011)
  • 発明者名: 後藤真宏、笠原章、土佐正弘
  • 権利者名: 物質・材料研究機構
  • 産業財産権種類: 特許
  • 出願年月日: 2011-09-02
  • 外国
• [産業財産権] 摩擦摩耗測定用試料加熱装置 (2011)
  • 発明者名: 後藤真宏、笠原章、土佐正弘
  • 権利者名: 後藤真宏、笠原章、土佐正弘
  • 出願年月日: 2011
• [産業財産権] 真空超高速シャッター (2011)
  • 発明者名: 後藤真宏、笠原章、土佐正弘
  • 権利者名: 後藤真宏、笠原章、土佐正弘
  • 出願年月日: 2011
• [産業財産権] スパッタガン (2011)
  • 発明者名: 後藤真宏、笠原章、土佐正弘
  • 権利者名: 後藤真宏、笠原章、土佐正弘
  • 出願年月日: 2011
• [産業財産権] 低摩擦ＺｎＯコーティング及びその作製方法 (2011)
  • 発明者名: 後藤真宏、笠原章、土佐正弘
  • 権利者名: 後藤真宏、笠原章、土佐正弘
  • 出願年月日: 2011
  • 外国