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熱アシストUVインプリントプロセスにおける熱流体挙動のデジタルホログラム計測

研究課題

研究課題/領域番号 23560243
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 熱工学
研究機関東京理科大学

研究代表者

佐竹 信一  東京理科大学, 基礎工学部, 教授 (90286667)

研究期間 (年度) 2011 – 2013
研究課題ステータス 完了 (2013年度)
配分額 *注記
5,460千円 (直接経費: 4,200千円、間接経費: 1,260千円)
2013年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2012年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2011年度: 3,770千円 (直接経費: 2,900千円、間接経費: 870千円)
キーワード流体計測 / ホログラム / インプリント / 光硬化樹脂
研究概要

熱アシストUV-NIL のプレス工程の間でのUV 硬化樹脂層の薄膜における高解像度4次元樹脂流動計測を行う為に、マイクロDHPTV 法を用いた。UV-NILのプレス工程や流動中にUV 硬化樹脂の厚さが減少したとき、その厚みの内部の速度分布を計測した。その結果、ナノインプリントモールド上のUV-NILプレス工程で、基板温度が変化した場合のモールド基板近くの樹脂の流れに影響を考察した。温度に依存する内部速度分布が得られた。

報告書

(4件)
  • 2013 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2012 実施状況報告書
  • 2011 実施状況報告書
  • 研究成果

    (16件)

すべて 2014 2013 2012 2011

すべて 雑誌論文 (8件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (8件)

  • [雑誌論文] ナノインプリント圧着過程中のUV硬化性樹脂流動に対する基板温度の影響2014

    • 著者名/発表者名
      浅野元晴,海野徳幸,佐竹信一,谷口淳
    • 雑誌名

      第51回日本伝熱シンポジウム講演論文集

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Flow distribution measurements of a thin resin layer at UV-NIL process by using digital-holographic-PTV2013

    • 著者名/発表者名
      Noriyuki Unno, Shin-ichi Satake and Jun Taniguchi
    • 雑誌名

      Proc. of the 39th International Conference on Micro and Nano Engineering

      ページ: 528-528

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書 2013 研究成果報告書
  • [雑誌論文] ナノインプリント圧着過程におけるUV硬化性樹脂の4次元流動計測2013

    • 著者名/発表者名
      海野徳幸,筒田剛,佐竹信一,谷口淳
    • 雑誌名

      第50回日本伝熱シンポジウム講演論文集

      巻: vol.II+III ページ: 346-347

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [雑誌論文] ナノインプリント圧着過程におけるUV硬化性樹脂の4次元流動計測2013

    • 著者名/発表者名
      海野 徳幸, 筒田 剛, 佐竹 信一, 谷口 淳
    • 雑誌名

      第50 回日本伝熱シンポジウム講演 論文集

      巻: II+III ページ: 346-347

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [雑誌論文] Three-dimensional measurements of UV-imprint process by micro-digital holographic-PTV2012

    • 著者名/発表者名
      S. Satake, J. Taniguchi, T. Kanai, N. Unno
    • 雑誌名

      Microelectron. Eng.

      巻: 97 ページ: 51-54

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Three-dimensional measurements of UV-imprint process by micro- digital Holographic-PTV2012

    • 著者名/発表者名
      Shin-ichi Satake, Jun Taniguchi, Takahiro Kanai, Noriyuki Unno
    • 雑誌名

      Microelectronic Engineering

      巻: 97 ページ: 51-54

    • DOI

      10.1016/j.mee.2012.04.010

    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] マイクロデジタルホログラフィックPTVによるUVインプリントプロセスの計測2011

    • 著者名/発表者名
      佐竹信一,谷口淳,金井高弘,海野徳幸
    • 雑誌名

      日本機械学会熱工学コンファレンス2011講演論文集

      巻: 29-30 ページ: 345-346

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [雑誌論文] マイクロ デジタルホログラフィックPTV によるUV インプリン トプロセスの計測2011

    • 著者名/発表者名
      佐竹 信一, 谷口淳, 金井高弘, 海野徳幸
    • 雑誌名

      日本機械学会熱工学コンファレ ンス2011講演論文集

      巻: 1 ページ: 345-346

    • 関連する報告書
      2011 実施状況報告書
  • [学会発表] ナノインプリント圧着過程中のUV硬化性樹脂流動に対する基板温度の影響2014

    • 著者名/発表者名
      浅野元晴,海野徳幸,佐竹信一,谷口淳
    • 学会等名
      第51回日本伝熱シンポジウム2014
    • 発表場所
      アクトシティ浜松・コングレスセンター、浜松
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] ナノインプリント圧着過程中のUV 硬化性樹脂流動に対する基板温度の影響2014

    • 著者名/発表者名
      浅野元晴,海野徳幸,佐竹 信一,谷口 淳
    • 学会等名
      第51回日本伝熱シンポジウム
    • 発表場所
      アクトシティ浜松・コングレスセンター
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Flow distribution measurements of a thin resin layer at UV-NIL process by using digital-holographic-PTV2013

    • 著者名/発表者名
      Noriyuki Unno, Shin-ichi Satake and Jun Taniguchi
    • 学会等名
      Proc. of the 39th International Conference on Micro and Nano Engineering
    • 発表場所
      London, UK
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] ナノインプリント圧着過程におけるUV硬化性樹脂の4次元流動計測2013

    • 著者名/発表者名
      海野徳幸,筒田剛,佐竹信一,谷口淳
    • 学会等名
      第50回日本伝熱シンポジウム2013
    • 発表場所
      ウェスティンホテル仙台および仙台トラストシティ,仙台
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] ナノインプリント圧着過程におけるUV硬化性樹脂の4次元流動計測2013

    • 著者名/発表者名
      海野 徳幸, 筒田 剛, 佐竹 信一, 谷口 淳
    • 学会等名
      第50回日本伝熱シンポジウム
    • 発表場所
      ウェスティンホテル仙台
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Flow distribution measurements of a thin resin layer at UV-NIL process by using digital-holographic-PTV2013

    • 著者名/発表者名
      Noriyuki Unno, Shin-ichi Satake and Jun Taniguchi
    • 学会等名
      the 39th International Conference on Micro and Nano Engineering
    • 発表場所
      London, UK
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] マイクロデジタルホログラフィックPTVによるUVインプリントプロセスの計測2011

    • 著者名/発表者名
      佐竹信一,谷口淳,金井高弘,海野徳幸
    • 学会等名
      日本機械学会熱工学コンファレンス2011
    • 発表場所
      静岡大学、浜松
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] マイクロ デジタルホログラフィックPTV によるUV インプリン トプロセスの計測2011

    • 著者名/発表者名
      佐竹 信一, 谷口淳, 金井高弘, 海野徳幸
    • 学会等名
      日本機械学会熱工学コンファレ ンス2011
    • 発表場所
      静岡大学
    • 関連する報告書
      2011 実施状況報告書

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公開日: 2011-08-05   更新日: 2019-07-29  

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