| 研究課題/領域番号 |
23560324
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
電力工学・電力変換・電気機器
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| 研究機関 | 名古屋工業大学 |
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研究代表者 |
木村 高志 名古屋工業大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (60225042)
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| 研究期間 (年度) |
2011 – 2013
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| 研究課題ステータス |
完了 (2013年度)
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| 配分額 *注記 |
5,330千円 (直接経費: 4,100千円、間接経費: 1,230千円)
2013年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2012年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2011年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)
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| キーワード | アモルファスカ－ボン / パルスプラズマ / 反応性プラズマ / パルスパワー / アモルファスカーボン / 化学反応性プラズマ / マグネトロンスパッタ / ダイヤモンドライクカーボン / 誘導性結合プラズマ |
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| 研究概要 |
様々な産業分野でコ－ティング材料として需要が拡大しつつあるアモルファスカーボン膜の作製を行った。高密度パルスマグネトロンスパッタプラズマを用いてアモルファスカーボン膜を作製した結果、従来の方式に比べ硬度が改善され、最大硬度は18GPaに達した。さらに、膜質の改善や機能性付加を実現するために、各種の反応性ガスを混入し成膜を行った。数%程度の窒素ガスを混入して作製した窒化炭素膜の硬度は20GPaを超え、純アルゴンで作製したアモルファスカーボン膜に比べ30％程度の改善が実現できた。一方、メタンを混入した場合，スパッタによる物理蒸着と化学蒸着が混在した状態で成膜が行われ、その成膜速度は急激に増加した。
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