化合物半導体のヘテロ成長及びナノ構造の作製に関する研究

• 研究課題/領域番号: 23560369
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 電子・電気材料工学
• 研究機関: 佐賀大学
• 研究代表者: 郭 其新 佐賀大学, シンクロトロン光応用研究センター, 教授 (60243995)
• 研究期間 (年度): 2011 – 2013
• 研究課題ステータス: 完了 (2013年度)
• 配分額: 5,330千円 (直接経費: 4,100千円、間接経費: 1,230千円); 2013年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円); 2012年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円); 2011年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)
• キーワード: 化合物 / 半導体 / ヘテロ成長 / 光学特性 / 電気特性 / バンドオフセット

研究概要

ZnTeは優れた高輝度純緑色発光ダイオード用の材料として期待されている。本研究では、p型ZnTe/ n型ZnOのヘテロエピタキシャル成長特性の解明を目的とした。n型ZnO基板上に有機金属気相成長法を用いて、ZnTeの薄膜成長を行い、X線回折法、ラマン分光法、フォトルミネッセンス法等により評価した結果、p型のZnTe(111)のエピタキシャル膜が得られていることが明らかとなった。また、ヘテロ接合ダイオードの電圧電流特性を測定し、ダイオードの整流特性が観測された。これらの研究成果は、Applied Physics Letters等の国際学術論文誌に公表した。

研究成果

• [雑誌論文] Fabrication of ZnO/ZnTe heterojunction by using a room temperature direct bonding technology (2014)
  • 著者名/発表者名: Hajime Akiyama, Katsuhiko Saito, Tooru Tanaka, Mitsuhiro Nishio, and Qixin Guo
  • 雑誌名: Phys. Status Solidi C 巻: 未定 号: 7-8 ページ: 1-3
  • DOI: 10.1002/pssc.201300642
  • 査読あり / オープンアクセス
• [雑誌論文] SHULAI HUANG, ZIWU JI, LEI ZHANG, MINGSHENG XU, SHUANG QU, XIANGANG XU, QIXIN GUO (2013)
  • 著者名/発表者名: Effect of reactor pressure upon photoluminescence properties of ZnTe homoepitaxial layer
  • 雑誌名: OPTOELECTRONICS AND ADVANCED MATERIALS–RAPID COMMUNICATIONS 巻: Vol. 7
  • 査読あり
• [雑誌論文] Effect of substrate temperature on optical properties and strain distribution of ZnTe epilayer on (100) GaAs substrates (2013)
  • 著者名/発表者名: Lei Zhang, Ziwu Ji, Shulai Huang, Huining Wang, Hongdi Xiao, Yujun Zheng, Xiangang Xu, Yun Lu, Qixin Guo
  • 雑誌名: Thin Solid Films 巻: 536 ページ: 240-243
  • 査読あり
• [雑誌論文] Hajime AKIYAMA, Hiroyuki HIRANO, Katsuhiko SAITO, Tooru TANAKA, Mitsuhiro NISHIO, and Qixin GUO (2013)
  • 著者名/発表者名: Epitaxial Growth of ZnTe Layers on ZnO Bulk Substrates by Metalorganic Vapor Phase Epitaxy
  • 雑誌名: Japanese Journal of Applied Physics 巻: 52 ページ: 40206-40206
  • 査読あり
• [雑誌論文] Qixin Guo, Kazutoshi Takahashi, Katsuhiko Saito, Hajime Akiyama, Tooru Tanaka, and Mitsuhiro Nishio (2013)
  • 著者名/発表者名: Band alignment of ZnTe/GaAs heterointerface investigated by synchrotron radiation photoemission spectroscopy
  • 雑誌名: Applied Physics Letters 巻: 102 ページ: 92107-92107
  • 査読あり
• [雑誌論文] Effect of reactor pressure upon photoluminescence properties of ZnTe homoepitaxial layer (2013)
  • 著者名/発表者名: SHULAI HUANG, ZIWU JI, LEI ZHANG, MINGSHENG XU, SHUANG QU, XIANGANG XU, QIXIN GUO
  • 雑誌名: OPTOELECTRONICS AND ADVANCED MATERIALS – RAPID COMMUNICATIONS 巻: 7 ページ: 730-733
  • 査読あり
• [雑誌論文] Band alignment of ZnTe/GaAs heterointerface investigated by synchrotron radiation photoemission spectroscopy (2013)
  • 著者名/発表者名: Guo, Q., Takahashi, K., Saito, K., Akiyama, H., Tanaka, T., Nishio, M.
  • 雑誌名: Applied Physics Letters 巻: 102 号: 9
  • DOI: 10.1063/1.4794950
  • 査読あり
• [雑誌論文] Epitaxial Growth of ZnTe Layers on ZnO Bulk Substrates by Metalorganic Vapor Phase Epitaxy (2013)
  • 著者名/発表者名: Hajime Akiyama
  • 雑誌名: Japanese Journal of Applied Physics 巻: 52 号: 4R ページ: 40206-40206
  • DOI: 10.7567/jjap.52.040206
  • 査読あり
• [雑誌論文] Growth of ZnTe layers on (111) GaAs substrates by metalorganic vapor phase epitaxy (2012)
  • 著者名/発表者名: Qixin Guo, Hajime Akiyama, Yuta Mikuriya, Katsuhiko Saito, Tooru Tanaka, and Mitsuhiro Nishio
  • 雑誌名: Journal of Crystal Growth 巻: 341
  • 査読あり
• [雑誌論文] Epitaxial growth of ZnO layers on (111) GaAs substrates by laser molecular beam epitaxy (2012)
  • 著者名/発表者名: Jian Ding; Di Zhang; Takaharu Konomi; Katsuhiko Saito; Qixin Guo*
  • 雑誌名: Thin Solid Films 巻: 520 ページ: 2663-2666
  • 査読あり
• [学会発表] Growth and characterization of ZnTe thin films (2013)
  • 著者名/発表者名: Qixin Guo, Hajime Akiyama, Katsuhiko Saito, Tooru Tanaka, and Mitsuhiro Nishio
  • 学会等名: The 8th International Conference on THIN FILM PHYSICS AND APPLICATIONS
  • 発表場所: Shanghai, China
  • 招待講演
• [学会発表] Fabrication of ZnO/ZnTe Heterojunction by Using a Room Temperature Direct Bonding Technology (2013)
  • 著者名/発表者名: Hajime Akiyama, Katsuhiko Saito, Tooru Tanaka, Mitsuhiro Nishio, and Qixin Guo
  • 学会等名: The 16th International Conference on II-VI Compounds and Related Materials
  • 発表場所: Nagahama Royal Hotel, Nagahama, Japan(We-P10)
• [学会発表] Characterization of ZnTe layers on (0001) ZnO substrates by metalorganic vapor phase epitaxy (2013)
  • 著者名/発表者名: Hajime Akiyama, Tooru Idekoba, Katsuhiko Saito, Tooru Tanaka, Mitsuhiro Nishio, and Qixin Guo
  • 学会等名: The 40th International Symposium on Compound Semiconductors
  • 発表場所: Kobe Convention Center, Kobe, Japan(MoPC-01-09)
• [学会発表] Fabrication of ZnO/ZnTe Heterojunction by Using a Room Temperature Direct Bonding Technology (2013)
  • 著者名/発表者名: Hajime Akiyama, Katsuhiko Saito, Tooru Tanaka, Mitsuhiro Nishio, and Qixin Guo
  • 学会等名: The 16th International Conference on II-VI Compounds and Related Materials
  • 発表場所: Nagahama Royal Hotel, Nagahama, Japan
• [学会発表] Characterization of ZnTe layers on (0001) ZnO substrates by metalorganic vapor phase epitaxy (2013)
  • 著者名/発表者名: Hajime Akiyama, Tooru Idekoba, Katsuhiko Saito, Tooru Tanaka, Mitsuhiro Nishio, and Qixin Guo
  • 学会等名: The 40th International Symposium on Compound Semiconductors
  • 発表場所: Kobe Convention Center, Kobe, Japan
• [学会発表] Heteroepitaxial growth of ZnTe layers by MOVPE (2012)
  • 著者名/発表者名: Qixin Guo, Katsuhiko Saito, Tooru Tanaka, and Mitsuhiro Nishio
  • 学会等名: The Collaborative Conference on Crystal Growth 2012
  • 発表場所: Hilton Orlando at SeaWorld, Orlando, FL, USA(A23)
  • 年月日: 2012-12-12
  • 招待講演
• [学会発表] Growth of ZnTe layers on (0001) ZnO substrates by metalorganic vapor phase epitaxy (2012)
  • 著者名/発表者名: H. Akiyama, H. Hirano, T. Konomi, K. Saito, T. Tanaka, M. Nishio, and Q.X. Guo
  • 学会等名: The 8th International Forum on Advanced Materials Science and Technology
  • 発表場所: Fukuoka, Japan(3A-OS01-06)
• [学会発表] Synchrotron Light Applications for Characterizing Advanced Thin Films (2012)
  • 著者名/発表者名: Qixin Guo
  • 学会等名: The 6th International Conference on Technological Advances of Thin Films & Surface Coatings
  • 発表場所: Singapore Management University, Singapore(FPT 2060)
  • 招待講演
• [学会発表] Characterization of ZnTe Epilayers on GaAs (111) Substrates by Metalorganic Vapor Phase Epitaxy (2012)
  • 著者名/発表者名: Qixin Guo, Hajime Akiyama, Hiroyuki Hirano, Katsuhiko Saito, Tooru Tanaka, and Mitsuhiro Nishio
  • 学会等名: The Sixteenth International Conference on Metal Organic Vapor Phase Epitaxy
  • 発表場所: Paradise Hotel Busan, Busan, Korea(TuP-59)
• [学会発表] Heteroepitaxial growth of ZnTe layers by MOVPE (2012)
  • 著者名/発表者名: Qixin Guo, Katsuhiko Saito, Tooru Tanaka, and Mitsuhiro Nishio
  • 学会等名: The Collaborative Conference on Crystal Growth 2012
  • 発表場所: Doubletree by Hilton Orlando at SeaWorld, Orlando, FL, USA.
  • 招待講演
• [学会発表] Synchrotron Light Applications for Characterizing Advanced Thin Films (2012)
  • 著者名/発表者名: Qixin Guo
  • 学会等名: The 6th International Conference on Technological Advances of Thin Films & Surface Coatings
  • 発表場所: Singapore Management University, Singapore
  • 招待講演
• [学会発表] Characterization of ZnTe Epilayers on GaAs (111) Substrates by Metalorganic Vapor Phase Epitaxy (2012)
  • 著者名/発表者名: Qixin Guo, Hajime Akiyama, Hiroyuki Hirano, Katsuhiko Saito, Tooru Tanaka, and Mitsuhiro Nishio
  • 学会等名: The Sixteenth International Conference on Metal Organic Vapor Phase Epitaxy
  • 発表場所: Paradise Hotel Busan, Busan, Korea
• [学会発表] Synchrotron light applications for characterizing novel photonic materials (2011)
  • 著者名/発表者名: Qixin Guo
  • 学会等名: International Photonics Conference 2011
  • 発表場所: Tainan(E-SA-V6)
  • 招待講演
• [学会発表] Synchrotron light applications for characterizing novel photonic materials (2011)
  • 著者名/発表者名: Qixin Guo
  • 学会等名: International Photonics Conference 2011(招待講演)
  • 発表場所: Tainan
• [学会発表] Synchrotron light application for characterizing novel energy materials (2011)
  • 著者名/発表者名: Qixin Guo
  • 学会等名: 10th International conferrence on Ecomaterials(招待講演)
  • 発表場所: Shanghai
• [学会発表] Synchrotron Light Applications for Characterizing Novel Functional Materials
  • 著者名/発表者名: Qixin GUO
  • 学会等名: The 1st Annual World Congress of Nano-S& T, Tract 3-16
  • 発表場所: World EXPO Center, Dalian, China
  • 招待講演
• [備考]
  • URL: http://www.slc.saga-u.ac.jp/
• [備考] 佐賀大学シンクロトロン光応用研究センター
  • URL: http://www.slc.saga-u.ac.jp/
• [備考] http://www.slc.saga-u.ac.jp/
• [備考]
  • URL: http://www.slc.saga-u.ac.jp/