生産性と光学特性に秀でたチューナブル波長選択フィルタチップの開発

• 研究課題/領域番号: 23560385
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 電子デバイス・電子機器
• 研究機関: 宇都宮大学
• 研究代表者: 依田 秀彦 宇都宮大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (30312862)
• 研究期間 (年度): 2011-04-28 – 2015-03-31
• 研究課題ステータス: 完了 (2014年度)
• 配分額: 5,330千円 (直接経費: 4,100千円、間接経費: 1,230千円); 2013年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円); 2012年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円); 2011年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
• キーワード: 光波長フィルタ / 光デバイス / 透明ヒータ膜

研究成果の概要

次世代光アクセス網の高速大容量技術方式WDM-PONにおけるキーデバイス，チューナブル波長選択フィルタの開発を行った．光学薄膜を利用した２種類のフィルタ（温度制御型TO-BPF、電圧制御型EO-BPF）の作製技術とデバイス性能向上を進め，得られた成果は以下の9項目：①a-Si:D/SiOx TO-BPFによる生産性改善　②TO-BPFの耐熱性改善　③NIR波長域用ITiO透明ヒータ膜の実証　④TO-BPFの小型化/薄型化による省電力化　⑤省スペースTO-BPFモジュール試作；　⑥EO-BPF用PLZT用シード層兼透明電極の開発　⑦EO-BPF構成要素の検討　⑨1キャビティ型EO-BPFの試作．

研究成果

• [雑誌論文] Infrared polarizer employing multiple metal-film subwavelength gratings (2013)
  • 著者名/発表者名: K. Shiraishi and H. Yoda
  • 雑誌名: Optics Express 巻: vol. 21, Iss. 12 ページ: 13998-14007
  • 査読あり
• [雑誌論文] A two-port polarization-insensitive coupler module between single-mode fiber and silicon-wire waveguide (2012)
  • 著者名/発表者名: K. Shiraishi, H. Yoda and Chen S. Tsai
  • 雑誌名: Optics Express 巻: vol. 20, no 22 ページ: 24370-24375
  • 査読あり
• [雑誌論文] High Focusing Power Lensed Fibers Employing Graded-Index Fiber With Eigen-Beam Diameter (2011)
  • 著者名/発表者名: K. Shiraishi, H. Yoda, Y. Kogami, and C. S. Tsai
  • 雑誌名: IEEE Photonics Technology Letters 巻: 23 ページ: 1376-1378
  • 査読あり
• [学会発表] Si/SiNチューナブル波長フィルタの作製と評価に関する研究 (2015)
  • 著者名/発表者名: 田島正彦, 依田秀彦
  • 学会等名: 第5回電気学会東京支部栃木･群馬支所合同研究発表会
  • 発表場所: 宇都宮大学工学部
  • 年月日: 2015-03-02 – 2015-03-03
• [学会発表] EOチューナブル波長フィルタ用PLZT薄膜の電気及光学特性評価に関する研究 (2015)
  • 著者名/発表者名: 飯富真, 依田秀彦
  • 学会等名: 第5回電気学会東京支部栃木･群馬支所合同研究発表会
  • 発表場所: 宇都宮大学工学部
  • 年月日: 2015-03-02 – 2015-03-03
• [学会発表] Robust lensed fibers having high focusing effects in resin bond (2014)
  • 著者名/発表者名: K. Shiraishi, M. Horiuchi, H. Yoda, and C. S. Tsai
  • 学会等名: International Conference on Electronics Packaging (ICEP 2014)
  • 発表場所: Toyama, Japan
  • 年月日: 2014-04-23 – 2014-04-25
• [学会発表] A spot-size converter with vertical down taper for the coupling between single-mode fiber and silicon-wire waveguide (2014)
  • 著者名/発表者名: K. Shiraishi, R. Takasaki, H. Yoda, H. Oshikiri, and C. S. Tsai
  • 学会等名: International Conference on Electronics Packaging (ICEP 2014)
  • 発表場所: Toyama, Japan
  • 年月日: 2014-04-23 – 2014-04-25
• [学会発表] Si/SiN多層膜フィルタの作製と評価 (2013)
  • 著者名/発表者名: 川崎将人, 依田秀彦
  • 学会等名: 第3回電気学会東京支部栃木･群馬支所合同研究発表会
  • 発表場所: 宇都宮大学
• [学会発表] TOチューナブル波長フィルタ省電力化のための局部薄型加工 (2013)
  • 著者名/発表者名: 水沼秀聡, 依田秀彦
  • 学会等名: 第3回電気学会東京支部栃木･群馬支所合同研究発表会
  • 発表場所: 宇都宮大学
• [学会発表] EOチューナブル波長フィルタ用PLZT薄膜の作製 (2013)
  • 著者名/発表者名: 佐藤慶, 豊田篤志, 依田秀彦
  • 学会等名: 第3回電気学会東京支部栃木･群馬支所合同研究発表会
  • 発表場所: 宇都宮大学
• [学会発表] Response Evaluation of Tunable Optical Bandpass Filter Using a-Si:D/SiO2 Multilayer (2011)
  • 著者名/発表者名: H. Yoda, T. Tashiro, K. Shiraishi, and C. S. Tsai
  • 学会等名: the Asia-Pacific Interdisciplinary Research Conference 2011 (AP-IRC 2011)
  • 発表場所: Toyohashi, Japan
• [学会発表] 温度制御型波長選択フィルタ用透明ヒータ膜の作製
  • 著者名/発表者名: 小檜山知弘, 依田秀彦
  • 学会等名: 第4回電気学会東京支部栃木･群馬支所合同研究発表会
  • 発表場所: 群馬大学工学部
• [学会発表] マルチキャビティ型Si/SiOx多層膜フィルタの作製
  • 著者名/発表者名: サナテムウォンビライ, 依田秀彦
  • 学会等名: 第4回電気学会東京支部栃木･群馬支所合同研究発表会
  • 発表場所: 群馬大学工学部
• [学会発表] PLZTを用いたEOチューナブル波長フィルタの作製要素技術の開発
  • 著者名/発表者名: 豊田篤志, 依田秀彦
  • 学会等名: 第4回電気学会東京支部栃木･群馬支所合同研究発表会
  • 発表場所: 群馬大学工学部
• [学会発表] 温度制御型チューナブル波長フィルタチップの局所加工による省電力化
  • 著者名/発表者名: 水沼秀聡, 依田秀彦
  • 学会等名: 第4回電気学会東京支部栃木･群馬支所合同研究発表会
  • 発表場所: 群馬大学工学部