| 研究課題/領域番号 |
23560387
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
電子デバイス・電子機器
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| 研究機関 | 千葉大学 |
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研究代表者 |
藤井 知 千葉大学, 産学連携・知的財産機構, 特任教授 (30598933)
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| 連携研究者 |
橋本 研也 千葉大学, 工学研究科, 教授 (90134353)
大森 達也 千葉大学, 工学研究科, 助教 (60302527)
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| 研究期間 (年度) |
2011 – 2013
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| 研究課題ステータス |
完了 (2013年度)
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| 配分額 *注記 |
5,200千円 (直接経費: 4,000千円、間接経費: 1,200千円)
2013年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2012年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
2011年度: 2,600千円 (直接経費: 2,000千円、間接経費: 600千円)
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| キーワード | 弾性表面波 / ダイヤモンド / 弾性表面波素子 / 共振子 / RF-SAW / SAW共振子 / 伝搬損失 |
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| 研究概要 |
ダイヤモンドはその物質的な性質からGHz領域における高周波SAWが実現出来る材料として知られる。しかしながら、多結晶ダイヤモンド薄膜を使ったSAWフィルタでは、水晶やLiNbO3の材料に比べ、ダイヤモンドSAWの伝搬損失が大きく、RF-SAWフィルタでは大きな問題となる。そこで、単結晶ダイヤモンドを用い１ポートSAW共振子の試作を続けたところ、5GHzにてQが8346と極めて大きな値を得ることが出来、伝搬損失も波長当たり0.004dBとすることが出来た。また、fQ 積も10＾13と十分大きな値を示した。これらの値はSHF帯におけるRF-SAWフィルタの実現の可能性を示している。
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