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MOS構造を用いた表面プラズモン共鳴による光変調の研究

研究課題

研究課題/領域番号 23560399
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 電子デバイス・電子機器
研究機関広島大学

研究代表者

田部井 哲夫  広島大学, ナノデバイス・バイオ融合科学研究所, 特任助教 (40536124)

研究分担者 横山 新  広島大学, ナノデバイスバイオ融合科学研究所, 教授 (80144880)
研究期間 (年度) 2011 – 2013
研究課題ステータス 完了 (2013年度)
配分額 *注記
5,200千円 (直接経費: 4,000千円、間接経費: 1,200千円)
2013年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2012年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
2011年度: 2,340千円 (直接経費: 1,800千円、間接経費: 540千円)
キーワード光変調器 / シリコンフォトニクス / 表面プラズモン
研究概要

小型,高消光比,低消費電力であるLSI上光配線用シリコン光変調器の開発を目標として,金属-酸化膜-半導体(MOS)構造を有し,度を制御するシリコン光変調器の実現可能性を理論,実験の両面から検討した。表面プラズモンとは金属-誘電体界面に生じる電子の集団運動と電磁波の連成波である。数値解析から提案する素子は数十umのサイズで高い消光比が得られることが分かった。また実際に素子を試作し,表面プラズモン共鳴によるものと思われる光変調を確認した。

報告書

(4件)
  • 2013 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2012 実施状況報告書
  • 2011 実施状況報告書
  • 研究成果

    (14件)

すべて 2014 2013 2012 その他

すべて 雑誌論文 (1件) 学会発表 (13件)

  • [雑誌論文] Proposal of a silicon optical modulator based on surface plasmon resonance2012

    • 著者名/発表者名
      T. Tabei and S. Yokoyama
    • 雑誌名

      Proc. SPIEProc. SPIE 8431, Sili- con Photonics and Photonic Integrated Cir- cuits III

      巻: 8431 ページ: 84311K-84311K

    • DOI

      10.1117/12.922864

    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書 2012 実施状況報告書
  • [学会発表] テーパー構造を持つ表面プラズモン共鳴型シリコン光変調器2014

    • 著者名/発表者名
      田部井哲夫, 横山新
    • 学会等名
      第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大学相模原キャンパス
    • 年月日
      2014-03-17
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Optical modula- tion based on surface plasmon resonance us- ing metal-insulator-semiconductor struc- ture2013

    • 著者名/発表者名
      T. Tabei, S. Yokoyama
    • 学会等名
      2013 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • 発表場所
      Hilton Fukuoka Sea Hawk, Fukuoka
    • 年月日
      2013-09-26
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] 表面プラズモン共鳴をベースとした金属-絶縁膜-半導体トランジスタ型シリコン光変調器2013

    • 著者名/発表者名
      田部井哲夫, 横山新
    • 学会等名
      第74回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      同志社大学京田辺キャンパス
    • 年月日
      2013-09-19
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] 表面プラズモン共鳴型シリコン光変調器の改善2013

    • 著者名/発表者名
      田部井哲夫, 横山新
    • 学会等名
      第60回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学
    • 年月日
      2013-03-27
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] 表面プラズモン共鳴型シリコン光変調器の改善2013

    • 著者名/発表者名
      田部井 哲夫
    • 学会等名
      2013年第60回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学(神奈川県)
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [学会発表] MOS構造を用いた表面プラズモン共鳴をベースとするシリコン光変調器2012

    • 著者名/発表者名
      田部井哲夫, 横山新
    • 学会等名
      日本学術振興会光エレクトロニクス第130委員会
    • 発表場所
      東京理科大学森戸記念館
    • 年月日
      2012-12-06
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] 表面プラズモン共鳴をベースとしたシリコン光変調器の試作2012

    • 著者名/発表者名
      田部井哲夫, 横山新
    • 学会等名
      第73回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      愛媛大学・松山大学
    • 年月日
      2012-09-12
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] Proposal of a silicon optical modulator based on surface plasmon resonance2012

    • 著者名/発表者名
      T. Tabei, S. Yokoyama
    • 学会等名
      SPIE Photonics Europe 2012
    • 発表場所
      Brussels, Belgium
    • 年月日
      2012-04-19
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] 表面プラズモン共鳴をベースとしたシリコン光変調器の提案2012

    • 著者名/発表者名
      田部井哲夫, 横山新
    • 学会等名
      第59回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      早稲田大学
    • 年月日
      2012-03-18
    • 関連する報告書
      2013 研究成果報告書
  • [学会発表] 表面プラズモン共鳴をベースとしたシリコン光変調器の試作2012

    • 著者名/発表者名
      田部井 哲夫
    • 学会等名
      2012年秋季第73回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      愛媛大学・松山大学 (愛媛県)
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [学会発表] 表面プラズモン共鳴をベースとした金属-絶縁膜-半導体トランジスタ型シリコン光変調器

    • 著者名/発表者名
      田部井哲夫
    • 学会等名
      第74回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      同志社大学京田辺キャンパス(京都府)
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Optical modulation based on surface plasmon resonance using metal-insulator-semiconductor structure

    • 著者名/発表者名
      T. Tabei
    • 学会等名
      International Conference on Solid State Devices and Materials 2013
    • 発表場所
      ヒルトン福岡シーホーク(福岡県)
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] テーパー構造を持つ表面プラズモン共鳴型シリコン光変調器

    • 著者名/発表者名
      田部井哲夫
    • 学会等名
      第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大学相模原キャンパス(神奈川県)
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書

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公開日: 2011-08-05   更新日: 2019-07-29  

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