研究課題/領域番号 |
23560399
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研究種目 |
基盤研究(C)
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配分区分 | 基金 |
応募区分 | 一般 |
研究分野 |
電子デバイス・電子機器
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研究機関 | 広島大学 |
研究代表者 |
田部井 哲夫 広島大学, ナノデバイス・バイオ融合科学研究所, 特任助教 (40536124)
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研究分担者 |
横山 新 広島大学, ナノデバイスバイオ融合科学研究所, 教授 (80144880)
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研究期間 (年度) |
2011 – 2013
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研究課題ステータス |
完了 (2013年度)
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配分額 *注記 |
5,200千円 (直接経費: 4,000千円、間接経費: 1,200千円)
2013年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2012年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
2011年度: 2,340千円 (直接経費: 1,800千円、間接経費: 540千円)
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キーワード | 光変調器 / シリコンフォトニクス / 表面プラズモン |
研究概要 |
小型,高消光比,低消費電力であるLSI上光配線用シリコン光変調器の開発を目標として,金属-酸化膜-半導体(MOS)構造を有し,度を制御するシリコン光変調器の実現可能性を理論,実験の両面から検討した。表面プラズモンとは金属-誘電体界面に生じる電子の集団運動と電磁波の連成波である。数値解析から提案する素子は数十umのサイズで高い消光比が得られることが分かった。また実際に素子を試作し,表面プラズモン共鳴によるものと思われる光変調を確認した。
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