超伝導デバイス応用のための窒化物超伝導薄膜の最適化と物性制御

• 研究課題/領域番号: 23560431
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 電子デバイス・電子機器
• 研究機関: 独立行政法人情報通信研究機構
• 研究代表者: 牧瀬 圭正 独立行政法人情報通信研究機構, 未来ICT研究所 ナノICT研究室, 研究員 (60363321)
• 研究期間 (年度): 2011 – 2013
• 研究課題ステータス: 完了 (2013年度)
• 配分額: 5,330千円 (直接経費: 4,100千円、間接経費: 1,230千円); 2013年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円); 2012年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円); 2011年度: 3,250千円 (直接経費: 2,500千円、間接経費: 750千円)
• キーワード: 超伝導デバイス / 超伝導薄膜 / 窒化物薄膜 / 窒化物

研究概要

高品質な窒化チタンニオブ（NbTiN)薄膜を様々な基板上に作製し、超伝導エレクトロニクスの分野への応用に向けて、膜の最適化を行った。その結果、超伝導性は格子定数に依存することが分かった。次に窒化ニオブ（NbN）を用いて酸化マグネシウム基板上にNbN/AlN/NbNトンネル接合からなる単一量子磁束回路を作製し、動作実証に成功した。

研究成果

• [雑誌論文] Electron weak localization and electron-electron interaction effects on magneto-conductivity in In-Ga-Zn oxide films (2014)
  • 著者名/発表者名: B. Shinozaki, K. Hidaka, S. Ezaki, K. Makise, T. Asano, S. Tomai, K. Yano, H, Nakamura
  • 雑誌名: Thin Solid films 巻: 551 ページ: 195-199
  • DOI: 10.1016/j.tsf.2013.11.088
  • 査読あり
• [雑誌論文] Design and Fabrication of All-NbN SFQ Circuits for SSPD Signal Processing (2013)
  • 著者名/発表者名: K. Makise, H. Terai, S. Miki, T. Yamashita, Z. Wang
  • 雑誌名: IEEE Trans. Appl. Supercon. 巻: 23 (2013) 号: 3 ページ: 1100804-1100804
  • DOI: 10.1109/tasc.2012.2235504
  • 査読あり
• [雑誌論文] Higgs Amplitude Mode in the BCS Superconductors Nb1-xTixN Induced by Terahertz Pulse Excitation (2013)
  • 著者名/発表者名: R. Matsunaga, YI. Hamada, K. Makise, Y. Uzawa, Z. Wang, R. Shimano
  • 雑誌名: Physical Review Letters 巻: 111 号: 5 ページ: 57002-57002
  • DOI: 10.1103/physrevlett.111.057002
  • 査読あり
• [雑誌論文] Development and testing of Band 10 receivers for the ALMA project (2013)
  • 著者名/発表者名: Y. Uzawa, Y. Fujii, A. gonzalez, K. Kaneko, M. Kroug, T. Kojima, K. Kuroiwa, A. Miyachi, S. Saito, K. Makise, Z. Wang, S. Asayama,
  • 雑誌名: Physica C 巻: 494 ページ: 189-194
  • DOI: 10.1016/j.physc.2013.04.008
  • 査読あり
• [雑誌論文] Parallel Bias and Readout Techniques Toward Realization of Large-Scale SSPD Array With SFQ Circuit (2013)
  • 著者名/発表者名: T. Yamashita, S. Miki, H. Terai, K. Makise, Z. Wang
  • 雑誌名: IEEE TRANSACTIONS ON APPLIED SUPERCONDUCTIVITY 巻: 23 号: 3 ページ: 2500804-2500804
  • DOI: 10.1109/tasc.2012.2234199
  • 査読あり
• [雑誌論文] Crossover from weak localization to anti-weak localization in indium oxide systems with wide range of resistivity (2013)
  • 著者名/発表者名: B. Shinozaki, K. Hidaka, S. Ezaki, K. Makise, T. Asano, S. Tomai, K. Yano, H. Nakamura
  • 雑誌名: Journal of Applied Physics 巻: 113 号: 15 ページ: 153707-153707
  • DOI: 10.1063/1.4801809
  • 査読あり
• [雑誌論文] High-quality epitaxial NbN/AlN/NbN tunnel junctions with a wide range of current density (2013)
  • 著者名/発表者名: Z. Wang, H. Terai, W. Qiu, K. Makise, Y. Uzawa, K. Kimoto, Y. Nakamura
  • 雑誌名: Applied Physics Letters 巻: 102 号: 14 ページ: 142604-142604
  • DOI: 10.1063/1.4801972
  • 査読あり
• [雑誌論文] Technologies for superconducting nanowire single-photon detector array system (2013)
  • 著者名/発表者名: S. Miki, T. Yamashita, H. Terai, T. Yamashita, K. Makise, Z. Wang
  • 雑誌名: ADVANCED PHOTON COUNTING TECHNIQUES VII 巻: 8727 ページ: 872708-872708
  • DOI: 10.1117/12.2016750
• [雑誌論文] The First Six ALMA Band 10 Receivers (2013)
  • 著者名/発表者名: Y. Fujii, A. Gonzalez, M. Kroug, K. Kaneko, A. Miyachi, T. Yokoshima, K. Kuroiwa, H. Ogawa, K. Makise, Z. Wang, Y. Uzawa
  • 雑誌名: IEEE TRANSACTIONS ON TERAHERTZ SCIENCE AND TECHNOLOGY 巻: 3 号: 1 ページ: 39-49
  • DOI: 10.1109/tthz.2012.2236147
  • 査読あり
• [雑誌論文] (2012)
  • 著者名/発表者名: S. Ezaki, K. Makise, B. Shinozaki, T. Odou, T. Asano, H. Terai, T. Yamashita, S. Miki, Z. Wang
  • 雑誌名: J. Phys. Condens. Matter 巻: 24 号: 47 ページ: 475702-475702
  • DOI: 10.1088/0953-8984/24/47/475702
  • 査読あり
• [雑誌論文] Resistively shunted NbN/AlN/NbN tunnel junctions for single flux quantum circuits (2012)
  • 著者名/発表者名: K. Makise, H. Terai, Z. Wang
  • 雑誌名: Physics Proceed 巻: 36 (2012) ページ: 116-120
  • DOI: 10.1016/j.phpro.2012.06.056
  • 査読あり
• [雑誌論文] Fluctuation conductance and the Berezinskii-Kosterlitz-Thouless transition in two dimensional epitaxial NbTiN ultra-thin films (2012)
  • 著者名/発表者名: K. Makise, H. Terai, T. Yamashita, S. Miki, Z. Wang, Y. Uzawa, S. Ezaki, T. Odou, B. Shinozaki
  • 雑誌名: JOURNAL OF PHYSICS：Conference Series 巻: 400 号: 2 ページ: 22064-22064
  • DOI: 10.1088/1742-6596/400/2/022064
  • 査読あり
• [雑誌論文] Depression of positive magneto-conductance due to anti-weak localization effect in annealed In2O3-ZnO thick films (2012)
  • 著者名/発表者名: B. Shinozaki, S. Ezaki, K. Hidaka, K. Makise, T. Asano, N. Kokubo, K. Yamada, K. Yano, H. Nakamura
  • 雑誌名: JOURNAL OF PHYSICS：Conference Series 巻: 400 号: 4 ページ: 42052-42052
  • DOI: 10.1088/1742-6596/400/4/042052
  • 査読あり
• [雑誌論文] Activation like behaviour on the temperature dependence of the carrier density in In2O3-ZnO films (2012)
  • 著者名/発表者名: K. Makise, B. Shinozaki, T. Asano, K. Yano, H. Nakamura
  • 雑誌名: JOURNAL OF PHYSICS：Conference Series 巻: 400 号: 4 ページ: 42043-42043
  • DOI: 10.1088/1742-6596/400/4/042043
  • 査読あり
• [雑誌論文] Characteristics of Tc and ρ(T) of polycrystalline (In2O3)-(ZnO) films with low carrier density (2012)
  • 著者名/発表者名: B. Shinozaki, S. Takada, N. Kokubo, K. Makise, T. Asano, K. Yamada, K. Yano, H. Nakamura
  • 雑誌名: JOURNAL OF PHYSICS：Conference Series 巻: 400 号: 2 ページ: 22107-22107
  • DOI: 10.1088/1742-6596/400/2/022107
  • 査読あり
• [雑誌論文] Development of fiber-coupled four-element superconducting nanowire single-photon detectors (2012)
  • 著者名/発表者名: S. Miki, T. Yamashita, H. Terai, K. Makise, M. Fujiwara, M. Sasaki, Z. wang
  • 雑誌名: Physics Procedia 巻: 36 ページ: 77-81
  • DOI: 10.1016/j.phpro.2012.06.216
  • 査読あり
• [雑誌論文] Developing superconducting flux qubit by using epitaxial NbN/AlN/NbN junction (2012)
  • 著者名/発表者名: W. Qiu, K. Makise, H. Terai, Z. Wang
  • 雑誌名: Physics Procedia 巻: 36 ページ: 360-364
  • DOI: 10.1016/j.phpro.2012.06.245
  • 査読あり
• [雑誌論文] Low-jitter single flux quantum signal readout from superconducting single photon detector (2012)
  • 著者名/発表者名: H. Terai, T. Yamashita, S. Miki, K. Makise, Z. Wang
  • 雑誌名: OPTICS EXPRESS 巻: 18 号: 18 ページ: 20115-20123
  • DOI: 10.1364/oe.20.020115
  • 査読あり
• [雑誌論文] Relationship between variable range hopping transport and carrier density of amorphous In2O3-10 wt.% ZnO thin films (2012)
  • 著者名/発表者名: K. Makise, B. Shinozaki, T. Asano, K. Mitsuishi, K. Yano, K. Inoue, H. Nakamura
  • 雑誌名: JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 巻: 112 号: 3 ページ: 33716-33716
  • DOI: 10.1063/1.4745055
  • 査読あり
• [雑誌論文] Crosstalk-free operation of multielement superconducting nanowire single-photon detector array integrated with single-flux-quantum circuit in a 0.1 W Gifford-McMahon cryocooler (2012)
  • 著者名/発表者名: T. Yamashita, S. Miki, H.Terai, K. Makise, Z. Wang
  • 雑誌名: OPTICS LETTERS 巻: 37 号: 14 ページ: 2982-2984
  • DOI: 10.1364/ol.37.002982
  • 査読あり
• [雑誌論文] Characterization of NbTiN Thin Films Deposited on Various Substrates (2011)
  • 著者名/発表者名: K. Makise, H. Terai, M. Takeda, Y. Uzawa, Z. Wang
  • 雑誌名: IEEE Trans. Appl. Supercon. 巻: 21 (2011) 号: 3 ページ: 139-142
  • DOI: 10.1109/tasc.2010.2088350
  • 査読あり
• [雑誌論文] Performance of the ALMA Band 10 SIS Receiver Prototype Model (2011)
  • 著者名/発表者名: Y.Fujii, M.Kroug, K.Kaneko. A.Gonzalez, Y.Uzawa, T.Kojima, K.Kuroiwa, A.MIyachi, K.Makise, Z.Wang W.Shan
  • 雑誌名: IEEE Transactions on Applied Superconductivity 巻: 21 号: 3 ページ: 606-611
  • DOI: 10.1109/tasc.2010.2093861
  • 査読あり
• [雑誌論文] An Optical Input Module With Superconducting Single-Flux-Quantum Circuit Operating at 1550 nm (2011)
  • 著者名/発表者名: H.Terai, S.Shinada, K.Makise, Z.Wang, N.Wada
  • 雑誌名: IEEE Transactions on Applied Superconductivity 巻: 21 号: 3 ページ: 896-899
  • DOI: 10.1109/tasc.2010.2103911
  • 査読あり
• [雑誌論文] Superconducting single photon detectors integrated with single flux quantum readout circuits in a cryocooler (2011)
  • 著者名/発表者名: S.Miki, H.Terai, T.Yamashita, K.Makise, M.Fujiwara, M.Sasaki, Z.Wang
  • 雑誌名: Applied Physics Letters 巻: 99 号: 11 ページ: 1111081-3
  • DOI: 10.1063/1.3640503
  • 査読あり
• [雑誌論文] Origin of intrinsic dark count in superconducting nanowire single-photon detectors (2011)
  • 著者名/発表者名: T.Yamashita, S.Miki, K.Makise, W.Qiu, H.Terai, M.Fujiwara, M.Sasaki, Z.Wang,
  • 雑誌名: Applied Physics Letters 巻: 99 号: 16
  • DOI: 10.1063/1.3652908
  • 査読あり
• [雑誌論文] Superconducting characteristics and microstructure of polycrystalline Zn-doped In2O3 films (2011)
  • 著者名/発表者名: B.Shinozaki, S.Takada, N.Kokubo, K.Makise, K.Mitsuishi, K.Yamada, K.Yano, H. Nakamura
  • 雑誌名: Physica C 巻: 471 号: 21-22 ページ: 717-720
  • DOI: 10.1016/j.physc.2011.05.036
  • 査読あり
• [雑誌論文] 1/f noise in NbN/AlN/NbN Josephson junction with a low critical current density (2011)
  • 著者名/発表者名: W.Qiu, K.Makise, H.Terai, Z.Wang,
  • 雑誌名: Physica C 巻: 471 号: 21-22 ページ: 1196-1198
  • DOI: 10.1016/j.physc.2011.05.157
  • 査読あり
• [学会発表] 窒化物超伝導ナノワイヤの超伝導-絶縁体転移 (2014)
  • 著者名/発表者名: 牧瀬圭正
  • 学会等名: 日本物理学会第69回年次大会
  • 発表場所: 東海大学, 神奈川県, 平塚市
• [学会発表] TiN/AlN/TiNトンネル接合の作製と評価 (2014)
  • 著者名/発表者名: 牧瀬圭正
  • 学会等名: 第61回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 東海大学, 神奈川県, 平塚市
• [学会発表] 窒化物超伝導ナノワイヤの超伝導 絶縁体転移 (2014)
  • 著者名/発表者名: 牧瀬 圭正、丘 偉、 寺井 弘高、 富成 征弘、 田中 秀吉、 篠崎 文重
  • 学会等名: 日本物理学会 第69回年次大会
  • 発表場所: 東海大学 神奈川県 日本
• [学会発表] TiN/AlN/TiNトンネル接合の作製と評価 (2014)
  • 著者名/発表者名: 牧瀬 圭正、孫 鋭、寺井 弘高、王 鎮
  • 学会等名: 第61回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 青山学院大学 神奈川県 日本
• [学会発表] 64ピクセルSSPDアレイ用SFQ信号処理回路の設計と動作 (2014)
  • 著者名/発表者名: 寺井 弘高、牧瀬 圭正、山下 太郎、三木 茂人、王 鎮
  • 学会等名: 第61回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 青山学院大学 神奈川県 日本
• [学会発表] Epitaxial Growth of TiN films on Single-crystal Si(100) Substrates with High Vacuum Magnetron Sputtering Method (2014)
  • 著者名/発表者名: 孫 鋭、牧瀬 圭正、丘 偉、寺井 弘高、王 鎮
  • 学会等名: 第61回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 青山学院大学 神奈川県 日本
• [学会発表] アタカマ大型ミリ波サブミリ波干渉計用バンド10受信機全73台の性能 (2014)
  • 著者名/発表者名: 鵜澤 佳徳、藤井 泰範、マティアス クロッグ、金子 慶子、小嶋 崇文、アルバロ ゴンザレス、黒岩 宏一、宮地 晃平、牧瀬 圭正、王 鎮
  • 学会等名: 第61回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 青山学院大学 神奈川県 日本
• [学会発表] Investigation of losses in eptaxially grown superconducting microwave resonator on MgO substrate (2014)
  • 著者名/発表者名: 丘 偉、牧瀬 圭正、孫 鋭、寺井 弘高、王 鎮
  • 学会等名: 第61回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 青山学院大学 神奈川県 日本
• [学会発表] エピタキシャルNbN超伝導ナノ細線における負の磁気抵抗 (2013)
  • 著者名/発表者名: 牧瀬圭正
  • 学会等名: 日本物理学会2013年秋季大会
  • 発表場所: 徳島大学, 徳島県, 徳島市
• [学会発表] Operating of SFQ logic circuits consisting of NbN/AlN/NbN tunnel junctions (2013)
  • 著者名/発表者名: 牧瀬圭正
  • 学会等名: European Conference on Applied Superconductivity
  • 発表場所: Magazzini del Contone conference centerジェノバ, イタリア
• [学会発表] エピタキシャルNbN超伝導ナノ細線における負の磁気抵抗 (2013)
  • 著者名/発表者名: 牧瀬 圭正、寺井弘高、山下 太郎、三木 茂人、王 鎮、富成 征弘、田中 秀吉、篠崎 文重
  • 学会等名: 日本物理学会 2013年秋季大会
  • 発表場所: 徳島大学 徳島県 日本
• [学会発表] 非断熱的テラヘルツパルス励起によるBCS超伝導体Nb1-xTixNにおけるヒッグスモードの観測 (2013)
  • 著者名/発表者名: 松永 隆佑、浜田 裕紀、牧瀬 圭正、鵜澤 佳徳、寺井 弘高、王 鎮、島野 亮
  • 学会等名: 日本物理学会 2013年秋季大会
  • 発表場所: 徳島大学 徳島県 日本
• [学会発表] クロミック化合物CuMoO4の磁性と結晶粒径の相関 (2013)
  • 著者名/発表者名: 浅野 貴行、福井 博章、久保 克隆、三田 稔、松尾 晶、金道 浩一、牧瀬 圭正、伊藤 利充
  • 学会等名: 日本物理学会 2013年秋季大会
  • 発表場所: 徳島大学 徳島県 日本
• [学会発表] Operation of SFQ logic circuits consisting of NbN/AlN/NbN tunnel junctions (2013)
  • 著者名/発表者名: K. Makise, H. Terai, T. Yamashita, S. Miki, Z wang
  • 学会等名: European Conference on Applied Superconductivity (EUCAS2013)
  • 発表場所: Magazzini del Cotone Conference Center ジェノバ イタリア
• [学会発表] 64 pixel NbTiN superconducting nanowire single photon detectors with SFQ readout circuit (2013)
  • 著者名/発表者名: S. Miki, T. Yamashita, H. Terai, K. Makise, Z wang
  • 学会等名: European Conference on Applied Superconductivity (EUCAS2013)
  • 発表場所: Magazzini del Cotone Conference Center ジェノバ イタリア
• [学会発表] Advanced NbN circuit fabrication process for superconducting qubit applications (2013)
  • 著者名/発表者名: H. Terai, K. Makise, W. Qiu , Z. Wang, J. Kimura, T. Ishikawa, R. Yamazaki, Y. Nakamura
  • 学会等名: European Conference on Applied Superconductivity (EUCAS2013)
  • 発表場所: Magazzini del Cotone Conference Center ジェノバ イタリア
• [学会発表] Proximity effects of quench-condensed Ga films overcoated with Ni (2013)
  • 著者名/発表者名: K. Makise, S. Maeda, F. Ichikawa, B. Shinozaki
  • 学会等名: The 12th Asia Pacific Physics Conference of AAPPS(APPC12)
  • 発表場所: 幕張メッセ国際会議場 千葉県 日本
• [学会発表] Design and fabrication of all-NbN SFQ circuits for SSPD signal processing (2012)
  • 著者名/発表者名: 牧瀬圭正
  • 学会等名: Applied Superconductivity Conference
  • 発表場所: Oregon convention center, ポートランド, アメリカ
• [学会発表] NbN超薄膜の超伝導揺らぎと転移温度抑制機構 (2012)
  • 著者名/発表者名: 牧瀬圭正
  • 学会等名: 日本物理学会2012年秋季大会
  • 発表場所: 横浜国立大学, 神奈川県, 横浜市
• [学会発表] グラニュラーNbN超薄膜の輸送特性と超伝導特性 (2012)
  • 著者名/発表者名: 牧瀬圭正
  • 学会等名: 第73回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 愛媛大学・松山大学, 愛媛県, 松山市
• [学会発表] Operation and readout techniques toward realization of large-scale SSPD array with SFQ circuit (2012)
  • 著者名/発表者名: T. Yamashita, S. Miki, H. Terai, K. Makise, Z wang
  • 学会等名: Applied Superconductivity Conference
  • 発表場所: Oregon Convention Center ポートランド アメリカ
• [学会発表] Design and fabrication of all-NbN SFQ circuits for SSPD signal processing (2012)
  • 著者名/発表者名: K. Makise, H. Terai, S. Miki, T. Yamashita, Z. Wang
  • 学会等名: Applied Superconductivity Conference
  • 発表場所: Oregon Convention Center ポートランド アメリカ
• [学会発表] Improvement of input current sensitivity and timing jitter of SFQ readout circuit operating with SSPD (2012)
  • 著者名/発表者名: H. Terai, S. Miki, T. Yamashita, K. Makise, Z. Wang
  • 学会等名: Applied Superconductivity Conference
  • 発表場所: Oregon Convention Center ポートランド アメリカ
• [学会発表] Characterization of the superconducting gap in the electrodes of epitaxial NbN/AlN/NbN tunnel junctions (2012)
  • 著者名/発表者名: Y. Uzawa, W. Qiu, K. Makise, H. Terai, Z. Wang, K. Matthias
  • 学会等名: Applied Superconductivity Conference
  • 発表場所: Oregon Convention Center ポートランド アメリカ
• [学会発表] Interface and tunneling properties of epitaxially grown NbN/AlN/NbN tunnel junctions (2012)
  • 著者名/発表者名: Z. Wang, H. Terai, K. Makise, W. Qiu, Y. Uzawa
  • 学会等名: Applied Superconductivity Conference
  • 発表場所: Oregon Convention Center ポートランド アメリカ
• [学会発表] NbN超薄膜の超伝導揺らぎと転移温度抑制機構 (2012)
  • 著者名/発表者名: 牧瀬 圭正、尾堂 智隆、江崎 翔平、浅野貴行、篠崎 文重、寺井 弘高、山下 太郎、 三木 茂人、王 鎮
  • 学会等名: 日本物理学会 2012年秋季大会
  • 発表場所: 横浜国立大学 神奈川 日本
• [学会発表] NbN超伝導薄膜のTc近傍における非弾性散乱時間 (2012)
  • 著者名/発表者名: 尾堂 智隆、江崎 翔平、浅野貴行、篠崎 文重、牧瀬 圭正、寺井 弘高、山下 太郎、 三木 茂人、王 鎮
  • 学会等名: 日本物理学会 秋季大会
  • 発表場所: 横浜国立大学 神奈川 日本
• [学会発表] SFQ 信号処理回路を用いたアレイ型SSPD の性能評価 (2012)
  • 著者名/発表者名: 山下 太郎、三木 茂人、寺井 弘高、牧瀬 圭正、王 鎮
  • 学会等名: 応用物理学会 第73回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 愛媛大学・松山大学 愛媛 日本
• [学会発表] グラニュラーNbN 超薄膜の輸送特性と超伝導特性 (2012)
  • 著者名/発表者名: 牧瀬 圭正、寺井 弘高、山下 太郎、三木 茂人、王 鎮、富成 征弘、尾堂 智隆、浅野 貴行、篠崎 文重
  • 学会等名: 応用物理学会 秋季応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 愛媛大学・松山大学 愛媛 日本
• [学会発表] SFQ 回路を用いたSSPD からの低ジッタ信号読み出し (2012)
  • 著者名/発表者名: 寺井 弘高、山下 太郎、三木 茂人、牧瀬 圭正、王 鎮
  • 学会等名: 応用物理学会 第73回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 愛媛大学・松山大学 愛媛 日本
• [学会発表] エピタキシャルNbN/AlN/NbN 接合電極の超伝導ギャップ特性 (2012)
  • 著者名/発表者名: 鵜澤 佳徳、丘 偉、牧瀬 圭正、寺井 弘高、黒岩 宏一、Matthias Kroug、藤井 泰範、王 鎮
  • 学会等名: 応用物理学会 第73回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 愛媛大学・松山大学 愛媛 日本
• [学会発表] Indium系酸化物薄膜の金属絶縁体転移 (2012)
  • 著者名/発表者名: 日高 和也、江崎 翔平、牧瀬 圭正、山田 和正、浅野 貴行、篠崎 文重、苫井 重和、矢野 公規、中村 浩昭
  • 学会等名: 応用物理学会 第73回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 愛媛大学・松山大学 愛媛 日本
• [学会発表] 超伝導ナノワイヤ単一光子検出器におけるダークカウントの物理的起源 (2012)
  • 著者名/発表者名: 山下 太郎、三木 茂人、牧瀬 圭正、丘 偉、寺井 弘高、藤原 幹生、佐々木 雅英、王 鎮
  • 学会等名: 応用物理学会 第59回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 早稲田大学 東京 日本
• [学会発表] NbN薄膜における超伝導転移温度の抑制 (2012)
  • 著者名/発表者名: 江崎 翔平、尾堂 智隆、浅野貴行、篠崎 文重、牧瀬 圭正、寺井 弘高、山下 太郎、 三木 茂人、王 鎮
  • 学会等名: 応用物理学会 第59回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 早稲田大学 東京 日本
• [学会発表] SSPD信号処理のためのNbN-SFQ回路の作製2 (2012)
  • 著者名/発表者名: 牧瀬 圭正、寺井 弘高、山下 太郎、三木 茂人、王 鎮
  • 学会等名: 応用物理学会 第59回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 早稲田大学 東京 日本
• [学会発表] テラヘルツ時間領域分光法による窒化ニオブチタン薄膜の特性評価 (2012)
  • 著者名/発表者名: 鵜澤 佳徳、齋藤 伸吾、牧瀬 圭正、武田 正典、黒岩 宏一、Matthias Kroug、藤井 泰範、王 鎮、寳迫 巌
  • 学会等名: 応用物理学会 第59回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 早稲田大学 東京 日本
• [学会発表] 高品質NbN薄膜およびジョセフソン接合とその応用 (2012)
  • 著者名/発表者名: 寺井 弘高、三木 茂人、山下 太郎、牧瀬 圭正、丘 偉、中村 泰信、猪股 邦宏、山本 剛、王 鎮
  • 学会等名: 応用物理学会 第59回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 早稲田大学 東京 日本
• [学会発表] Resistively shunted NbN/AlN/NbN tunnel juncitionss for single flux quantum circuits (2011)
  • 著者名/発表者名: 牧瀬圭正
  • 学会等名: European Conference on Applied Superconductivity
  • 発表場所: World Forum Conference Centreハーグ, オランダ
  • 年月日: 2011-09-19
• [学会発表] SSPD信号処理のためのNbN-SFQ集積回路の開発 (2011)
  • 著者名/発表者名: 牧瀬圭正
  • 学会等名: 第72回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 山形大学, 山形県, 山形市
  • 年月日: 2011-08-31
• [学会発表] Fluctuation conductance and the Bereziskii-Kosterilitz-Thouless transition in two dimensional epitaxial NbTiN ultra-thin films (2011)
  • 著者名/発表者名: 牧瀬圭正
  • 学会等名: 26^<th> International Conference on Low Temperature Physics
  • 発表場所: China international conference center, 北京, 中国
  • 年月日: 2011-08-15
• [学会発表] Fluctuation conductance and the Berezinskii-Kosterlitz-Thouless transition in two dimensional epitaxial NbTiN ultra-thin films (2011)
  • 著者名/発表者名: K.Makise, H.Terai, T.Yamashita, S.Miki, Z.Wang, Y.Uzawa, S.Ezaki, T.Odou, B.Shinozaki
  • 学会等名: 26th International Conference on Low Temperature Physics
  • 発表場所: CHINA INTERNATIONAL CONFERENCE CENTER 中国 北京
• [学会発表] Activation like behavior on the temperature dependence of the carrier density in In2O3-ZnO films (2011)
  • 著者名/発表者名: K.Makise, B.Shinozaki, T.Asano, K.Yano, H.Nakamura
  • 学会等名: 26th International Conference on Low Temperature Physics
  • 発表場所: CHINA INTERNATIONAL CONFERENCE CENTER 中国 北京
• [学会発表] Depression of positive magneto-conductance due to anti-weak localization effect in annealed In2O3-ZnO thick films (2011)
  • 著者名/発表者名: B.Shinozaki, S.Ezaki, K.Hidaka, K.Makise, T.Asano, N.kokubo, K.Yamada, K.Yano, H.Nakamura
  • 学会等名: 26th International Conference on Low Temperature Physics
  • 発表場所: CHINA INTERNATIONAL CONFERENCE CENTER 中国 北京
• [学会発表] Characteristics of Tc and ρ(T) of polycrystalline (In2O3)-(ZnO) films with low carrier density (2011)
  • 著者名/発表者名: B.Shinozaki, S.Takada, N.Kokubo, K.Makise, T.Asano, K.Yamada, K.Yano, H.Nakamura
  • 学会等名: 26th International Conference on Low Temperature Physics
  • 発表場所: CHINA INTERNATIONAL CONFERENCE CENTER 中国 北京
• [学会発表] Readout operation using single-flux-quantum circuit implemented with superconducting nanowire single-photon detector in a same refrigerator (2011)
  • 著者名/発表者名: H.Terai, S.Miki, T.Yamashita, K.Makise, Z. Wang
  • 学会等名: Superconductivity Centennial Conference (EUCAS-ISEC-ICMC 2011)
  • 発表場所: World Forum Conference Centre ハーグ オランダ
• [学会発表] Resistively shunted NbN/AlN/NbN tunnel junctions for single flux quantum circuits (2011)
  • 著者名/発表者名: K. Makise, H. Terai, Z. Wang
  • 学会等名: Superconductivity Centennial Conference (EUCAS-ISEC-ICMC 2011)
  • 発表場所: World Forum Conference Centre ハーグ オランダ
• [学会発表] Vortex-induced mechanism of intrinsic dark count generated in superconducting nanowire single-photon detectors (2011)
  • 著者名/発表者名: T. Yamashita, S. Miki, K. Makise, W. Qiu, H. Terai, M. Fujiwara, M. Sasaki, Z. Wang
  • 学会等名: Superconductivity Centennial Conference (EUCAS-ISEC-ICMC 2011)
  • 発表場所: World Forum Conference Centre ハーグ オランダ
• [学会発表] Resonances in Superconducting Circuits at THz Frequencies (2011)
  • 著者名/発表者名: M. Kroug, A. Gonzales, K. Kuroiwa, A. Miyachi, Y. Uzawa, K. Makise, Z. Wang
  • 学会等名: Superconductivity Centennial Conference (EUCAS-ISEC-ICMC 2011)
  • 発表場所: World Forum Conference Centre ハーグ オランダ
• [学会発表] Direct Observation of Superconducting Gap Broadening in a Niobium Nitride film by Terahertz Time Domain Spectroscopy (2011)
  • 著者名/発表者名: Y. Uzawa, S. Saito, K. Kuroiwa, M. Kroug, Y. Fujii, M. Takeda, K. Makise, Z. Wang, I. Hosako
  • 学会等名: Superconductivity Centennial Conference (EUCAS-ISEC-ICMC 2011)
  • 発表場所: World Forum Conference Centre ハーグ オランダ
• [学会発表] Recent Progress in a SFQ Readout System for Large-Scale SNSPD Arrays (2011)
  • 著者名/発表者名: H.Terai, S.Miki, T.Yamashita, K.Makise, Z.Wang
  • 学会等名: The 7th FLUXONICS RSFQ Design Workshop 2011
  • 発表場所: Ilmenau University of Technology Institute of Information Technology イルミナウ ドイツ
• [学会発表] Fabrication of NbN-based SFQ Circuits (2011)
  • 著者名/発表者名: K.Makise, H.Terai, S.Miki, T.Yamashita, Z.Wang
  • 学会等名: The 7th FLUXONICS RSFQ Design Workshop 2011
  • 発表場所: Ilmenau University of Technology Institute of Information Technology イルミナウ ドイツ
• [学会発表] SSPD信号処理のためのNbN-SFQ集積回路の開発I (2011)
  • 著者名/発表者名: 牧瀬 圭正、寺井 弘高、山下 太郎、三木 茂人、王 鎮
  • 学会等名: 第72回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 山形大学 山形 日本
• [学会発表] 超伝導単一光子検出器における揺らぎとダークカウント起源 (2011)
  • 著者名/発表者名: 山下 太郎、三木 茂人、牧瀬 圭正、丘 偉、藤原 幹生、佐々木 雅英、王 鎮
  • 学会等名: 第72回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 山形大学 山形 日本
• [学会発表] SSPDアレイシステム構築に向けたSFQ 信号処理回路実装技術の開発 (2011)
  • 著者名/発表者名: 三木 茂人、寺井 弘高、山下 太郎、牧瀬 圭正、王 鎮
  • 学会等名: 第72回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 山形大学 山形 日本
• [学会発表] NbTiNおよびNbN薄膜における揺らぎ効果 (2011)
  • 著者名/発表者名: 江崎翔平，尾堂智隆，浅野貴行，篠崎文重，牧瀬圭正，寺井弘高，山下太郎，三木茂人，王鎮
  • 学会等名: 第72回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 山形大学 山形 日本
• [学会発表] SSPD信号処理のためのNbN-SFQ回路の作製2
  • 著者名/発表者名: 牧瀬圭正
  • 学会等名: 応用物理学会第59回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 早稲田大学, 東京都, 新宿区