| 研究課題/領域番号 |
23560511
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
計測工学
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| 研究機関 | 東洋大学 |
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研究代表者 |
井内 徹 東洋大学, 工業技術研究所, 客員研究員 (20232142)
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| 研究期間 (年度) |
2011 – 2013
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| 研究課題ステータス |
完了 (2013年度)
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| 配分額 *注記 |
5,070千円 (直接経費: 3,900千円、間接経費: 1,170千円)
2013年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2012年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2011年度: 3,380千円 (直接経費: 2,600千円、間接経費: 780千円)
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| キーワード | 放射測温 / 放射率 / 背光放射 / 半導体 / 偏光 / 非平衡温度場 / 反射率 / 透過率 / 放射輝度 / シリコンウエハ / 背光放射雑音 |
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| 研究概要 |
光を利用して、非接触で物体の温度を正確に測定する手法（放射測温法）は、様々な分野で有効に活用できるものであるが、測定物体とそれを加熱処理するランプなど強烈な加熱源の間に極端な温度差がある場合、高い温度の加熱源からの雑音（これを背光放射という）のために、放射測温法は実質的に適用不可能となる。本研究は、ノイズ係数と名付けたパラメータを導入して、背光放射を定量的に見積もる手法を提案した。
この手法によって、研究代表者らによってすでに開発された放射率補正放射測温法を導入した総合的な放射測温システムを構築する設計手法を確立した。
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