| 研究課題/領域番号 |
23560808
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
無機材料・物性
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| 研究機関 | 近畿大学 |
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研究代表者 |
松谷 貴臣 近畿大学, 理工学部, 准教授 (00411413)
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| 連携研究者 |
川﨑 忠寛 名古屋大学, 工学部, 助教 (10372533)
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| 研究期間 (年度) |
2011 – 2013
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| 研究課題ステータス |
完了 (2013年度)
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| 配分額 *注記 |
5,590千円 (直接経費: 4,300千円、間接経費: 1,290千円)
2013年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2012年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2011年度: 4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
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| キーワード | 化学気相成長法 / 隔膜 / 環境セル / 透過型電子顕微鏡 / プラズマ / 触媒反応 / アモルファス / 金ナノ粒子 / 電子顕微鏡 / 炭窒化ケイ素 / プラズマCVD / 質量分析 / ヘキサメチルジシラザン / 環境セル型透過電子顕微鏡 / パルスプラズマ援用CVD / a-BCN薄膜 / a-SiCN薄膜 |
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| 研究概要 |
近年、透過電子顕微鏡を使用し、金属酸化物に担持された金ナノ粒子の触媒の反応機構や生体試料等を各雰囲気化で観察する試みがなされている。この方法は、試料ホルダーに環境セルと呼ばれる容器を取り付けで行われる。電子線の発生は、高真空で行われるため、電子顕微鏡鏡筒内と環境セルの間には、電子線を透過し、かつ雰囲気圧力に耐えうる隔膜が必要となる。本研究では、電子散乱が少なく、化学的安定で機械的強度が高いアモルファスの窒素炭化ホウ素や窒素炭化ケイ素を環境セル用隔膜として使用することを試み、パルスプラズマ化学気相成長法により作製した．その結果，耐圧性に富み，電子線に対して透明なアモルファス膜の開発に成功した．
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