| 研究課題/領域番号 |
23560919
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
反応工学・プロセスシステム
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| 研究機関 | 静岡大学 |
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研究代表者 |
高橋 崇宏 静岡大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 (50324330)
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| 研究期間 (年度) |
2011 – 2013
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| 研究課題ステータス |
完了 (2013年度)
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| 配分額 *注記 |
4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円)
2013年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2012年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2011年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
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| キーワード | 化学気相堆積法 / CVD / 実数値遺伝的アルゴリズム / Bio-inspired algorithms / 反応機構 / モデリング / 自動化 / 微細加工 / 反応工学 / 遺伝的アルゴリズム / バイオインスパイアードアルゴリズム / 化学気相成長法 |
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| 研究概要 |
本研究では、半導体デバイスの製造等に用いられるCVDプロセスを対象とし、研究開発の高速化、省力化を目的として、CVD装置内部における反応機構の解析やモデル化を、人手を介さず自動的に行うシステムの開発を行った。システムの能力の向上のため、自動解析工程の根幹をなす最適化アルゴリズムの探索・評価を行い、実数値遺伝的アルゴリズムから有望な候補を発見することに成功した。そして、システム全体の解析精度と計算速度を向上することができた。また、実用的に用いられる複雑な構造を持つCVD反応装置をシステムに適用するためにCFDシミュレーターと本システムを連動する仕組みを考案し、実装・評価した。
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