研究課題/領域番号 |
23560922
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研究種目 |
基盤研究(C)
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配分区分 | 基金 |
応募区分 | 一般 |
研究分野 |
反応工学・プロセスシステム
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研究機関 | 大阪府立大学 |
研究代表者 |
齊藤 丈靖 大阪府立大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (70274503)
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研究期間 (年度) |
2011 – 2013
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研究課題ステータス |
完了 (2013年度)
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配分額 *注記 |
5,330千円 (直接経費: 4,100千円、間接経費: 1,230千円)
2013年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2012年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2011年度: 2,990千円 (直接経費: 2,300千円、間接経費: 690千円)
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キーワード | 銅めっき / 添加剤 / ポリエチレングリコール / 塩化物イオン / 臭化物イオン / EQCM / 吸脱着 |
研究概要 |
微小流路型反応器を用いて、めっき液の切り替え前後での電流密度変化から、有効表面被覆率(θEFF)とPEG吸着速度定数(ka)を求めた。Cl-濃度の増加に伴い、kaはわずかに上昇したが、定常状態での有効表面被覆率(θEFF,SS)は0.5で一定であった。Br-/PEG系においてはCl-/PEG系に比べてθEFF,SSは増加したが、kaは減少した。極短時間での銅めっきで抑制効果の発現にはCl-を、比較的長時間での抑制にはBr-が有効である。水晶振動マイクロバランス法の結果から、PEG濃度が大きいほどPEG吸着重量は増加した。重量変化から求めた被覆率と、電流密度変化から求めた被覆率は同等であった。
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