| 研究課題/領域番号 |
23651097
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
ナノ構造科学
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| 研究機関 | 九州大学 |
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研究代表者 |
伊田 進太郎 九州大学, 大学院・工学研究院, 准教授 (70404324)
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| 研究期間 (年度) |
2011 – 2012
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| 研究課題ステータス |
完了 (2012年度)
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| 配分額 *注記 |
3,770千円 (直接経費: 2,900千円、間接経費: 870千円)
2012年度: 3,120千円 (直接経費: 2,400千円、間接経費: 720千円)
2011年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
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| キーワード | 二次元ナノ結晶 / 誘電特性 / 誘電体 / ナノシート / 酸化物 / 二次元結晶 / 誘電率 / 超薄膜 / サイズ効果 |
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| 研究概要 |
本研究では酸化物ナノシート1 枚の誘電率評価を試みた。その結果、ナノシート1枚の比誘電率は出発の層状体よりも高い可能性があるデータは得られた。しかしながら、酸化物ナノシート1枚を誘電体層とする容量素子を再現性よく作製することや評価することが難しく、メカニズムを考察するために必要な十分なデータを究期間内で得ることはできなかった。明らかになった課題としては、プローブ針と上部電極との高い接触抵抗を低減させる必要があることが示された。
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